一种新型晶圆搬运用机械手的制作方法

技术特征：
1.一种新型晶圆搬运用机械手，其特征在于，包括：固定支架(1)；升降机构(2)，所述升降机构(2)固定安装在固定支架(1)上；旋转机构(3)，所述旋转机构(3)与升降机构(2)传动连接，并由升降机构(2)驱动旋转机构(3)做垂直升降运动；机械臂机构(4)，所述机械臂机构(4)与旋转机构(3)传动连接，并由旋转机构(3)驱动机械臂机构(4)以连接处为支点做水平旋转活动；末端执行器(5)，所述末端执行器(5)固定安装在机械臂机构(4)上远离旋转机构(3)的一端；所述升降机构(2)包括直线模组(21)、升降电机(22)和升降平台(23)，所述直线模组(21)固定安装在固定支架(1)上，所述升降平台(23)与直线模组(21)活动连接，并由升降电机(22)驱动其做垂直升降运动，所述旋转机构(3)固定安装在升降平台(23)上。2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆搬运用机械手，其特征在于：所述机械臂机构(4)为两组，所述两组机械臂机构(4)均与旋转机构(3)传动连接，且两组机械臂机构(4)远离旋转机构(3)的一端均设置有末端执行器(5)，所述两组末端执行器(5)上下设置。3.根据权利要求1至2任一项所述的一种新型晶圆搬运用机械手，其特征在于：旋转机构(3)包括旋转平台(31)、旋转电机(32)和机械臂驱动组件(33)，所述旋转平台(31)固定安装在升降平台(23)上，所述旋转电机(32)与旋转平台(31)传动连接，并驱动旋转平台(31)以连接处为支点做旋转活动，所述机械臂驱动组件(33)固定安装在旋转平台(31)内，且机械臂驱动组件(33)与机械臂机构(4)传动连接，并驱动机械臂机构(4)以连接处为支点做旋转活动。4.根据权利要求3所述的一种新型晶圆搬运用机械手，其特征在于：所述机械臂驱动组件(33)包括机械臂驱动电机(331)、机械臂驱动同步带(332)和机械臂驱动同步轮(333)，所述机械臂驱动电机(331)固定安装在旋转平台(31)内，且机械臂驱动电机(331)通过机械臂驱动同步带(332)与机械臂驱动同步轮(333)传动连接，所述机械臂驱动同步轮(333)与机械臂机构(4)传动连接。5.根据权利要求1至2任一项所述的一种新型晶圆搬运用机械手，其特征在于：所述机械臂机构(4)包括一级机械臂(41)、二级机械臂(43)和三级机械臂(45)，所述末端执行器(5)固定安装在三级机械臂(45)上，所述一级机械臂(41)内设置有第一传动组件(42)、所述二级机械臂(43)内设置有第二传动组件(44)，所述第一传动组件(42)分别与旋转机构(3)和第二传动组件(44)传动连接，所述第二传动组件(44)分别与第一传动组件(42)和三级机械臂(45)传动连接。6.根据权利要求5所述的一种新型晶圆搬运用机械手，其特征在于：所述第一传动组件(42)包括第一传动同步带(421)和两个第一传动同步轮(422)，所述第一传动同步带(421)分别与两个第一传动同步轮(422)传动连接，两个所述第一传动同步轮(422)分别与旋转机构(3)和第二传动组件(44)传动连接。7.根据权利要求5所述的一种新型晶圆搬运用机械手，其特征在于：所述第二传动组件(44)包括第二传动同步带(441)和两个第二传动同步轮(442)，所述第二传动同步带(441)分别与两个第二传动同步轮(442)传动连接，两个所述第二传动同步轮(442)分别与第一传
动组件(42)和三级机械臂(45)传动连接。8.根据权利要求1至2任一项所述的一种新型晶圆搬运用机械手，其特征在于：所述末端执行器(5)上开设有若干个气孔(51)，且末端执行器(5)内设置有气路(52)，所述若干个气孔(51)均与气路(52)相连通，所述气路(52)依次过机械臂机构(4)、旋转机构(3)、升降机构(2)和固定支架(1)。9.根据权利要求1至2任一项所述的一种新型晶圆搬运用机械手，其特征在于：所述升降机构(2)还包括升降同步带(24)和若干个升降同步轮(25)，所述直线模组(21)的数量为三个，所述三个直线模组(21)均与升降平台(23)传动连接，且三个直线模组(21)分别与若干个升降同步轮(25)传动连接，所述升降电机(22)通过升降同步带(24)分别与若干个升降同步轮(25)传动连接。

技术总结
本实用新型公开了一种新型晶圆搬运用机械手，包括：固定支架；升降机构，所述升降机构固定安装在固定支架上；旋转机构，所述旋转机构与升降机构传动连接，并由升降机构驱动旋转机构做垂直升降运动；机械臂机构，所述机械臂机构与旋转机构传动连接，并由旋转机构驱动机械臂机构以连接处为支点做水平旋转活动；末端执行器，所述末端执行器固定安装在机械臂机构上远离旋转机构的一端；所述升降机构包括直线模组、升降电机和升降平台，所述直线模组固定安装在固定支架上，所述升降平台与直线模组活动连接，并由升降电机驱动其做垂直升降运动，所述旋转机构固定安装在升降平台上。本实用新型具有结构紧凑、加工精度高、加工效率高的优点。点。点。


技术研发人员：张凯
受保护的技术使用者：韦森特(东莞)科技技术有限公司
技术研发日：2021.08.09
技术公布日：2022/1/7