基于聚合物薄膜和聚合物微腔的光纤传感器的制作方法

技术特征：
1.基于聚合物薄膜和聚合物微腔的光纤传感器，其特征在于，包括：聚合物支架以及用于传输信号的石英光纤，所述聚合物支架具有空腔，所述聚合物支架的一端通过聚合物胶黏剂与所述石英光纤的一端连接，形成一个聚合物微腔，在所述聚合物微腔内靠近于所述聚合物支架的另一端设有聚合物薄膜；所述石英光纤的一个端面上镀有第一反射膜，所述聚合物薄膜表面镀有第二反射膜，所述第一反射膜与所述第二反射膜相对设置构成所述聚合物微腔的两个发射面。2.根据权利要求1所述的基于聚合物薄膜和聚合物微腔的光纤传感器，其特征在于：所述聚合物薄膜通过聚合物粘合剂夹合于所述聚合物支架上。3.根据权利要求1所述的基于聚合物薄膜和聚合物微腔的光纤传感器，其特征在于：所述聚合物支架的厚度为大于1mm。4.根据权利要求1所述的基于聚合物薄膜和聚合物微腔的光纤传感器，其特征在于：所述聚合物薄膜的厚度为30
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80um。5.根据权利要求4所述的基于聚合物薄膜和聚合物微腔的光纤传感器，其特征在于：所述聚合物薄膜的厚度为50um。6.根据权利要求1至5任一项所述的基于聚合物薄膜和聚合物微腔的光纤传感器，其特征在于：所述第一反射膜的反射率为4％
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50％。7.根据权利要求1至5任一项所述的基于聚合物薄膜和聚合物微腔的光纤传感器，其特征在于：所述第二反射膜的反射率为大于70％，厚度为大于200nm。8.根据权利要求1至5任一项所述的基于聚合物薄膜和聚合物微腔的光纤传感器，其特征在于：所述聚合物微腔的尺寸为长325um，内直径为1.25mm。

技术总结
本实用新型提供一种基于聚合物薄膜和聚合物微腔的光纤传感器，该传感器包括聚合物支架以及用于传输信号的石英光纤，聚合物支架具有空腔，聚合物支架的一端通过聚合物胶黏剂与石英光纤的一端连接，形成一个聚合物微腔，在聚合物微腔内靠近于聚合物支架的另一端设有聚合物薄膜；石英光纤的一个端面上镀有第一反射膜，聚合物薄膜表面镀有第二反射膜，第一反射膜与第二反射膜相对设置构成聚合物微腔的两个发射面。本实用新型基于聚合物材料设计的薄膜和微腔，具有较低的杨氏模量，对外界的超声信号具有超高的灵敏度。声信号具有超高的灵敏度。声信号具有超高的灵敏度。


技术研发人员：董波 陈宗渝 黄沃彬 衣云骥
受保护的技术使用者：深圳技术大学
技术研发日：2021.07.16
技术公布日：2022/1/4