一种桨和炉门调整装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造及太阳能光伏电池制造领域，特别是涉及一种桨和炉门调整装置。


背景技术：

2.目前的光伏电池片制造设备，比如扩散炉、退火炉、氧化炉、lpcvd、pecvd等大多是采用卧式多管设备，多管设备共用一个净化台和上下料设备，上述的设备都对应各自的工艺。其中退火设备主要是用于激活掺杂元素、改变应力、改变晶态等用途；氧化炉用于在硅片表面制备氧化层；lpcvd设备用于生长隧穿氧化层、本征非晶硅、掺杂非晶硅和二氧化硅薄膜；pecvd设备具有镀氮化硅、碳化硅、氧化硅等功能。上述的设备通常需要结合桨将载有硅片的舟推进炉管，或者从炉管中取出。随着硅片尺寸的变大和数量的增加，桨的承重也越来越大，因此仅靠一根桨难以满足承重的需求，相比之下，采用双桨在空间利用和单桨受力上都更具有优势。但是常规的双桨的固定和调整机构比较复杂，结合炉门连接桨的连接结构，使得桨的连接固定工序步骤多、耗时长，而且设备不方便维护。因此需要一种便捷的桨和炉门的固定调节装置。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种桨和炉门调整装置，结构简单，使用方便。
4.一种桨和炉门调整装置，包括固定板以及调节结构；所述调节结构固定设置于固定板上；调节结构包括前调节座、后调节座以及炉门调节装置；调节结构与桨和炉门安装连接时，前调节座与后调节座设置于桨与固定板之间；炉门调节装置设置于固定板与炉门之间，炉门调节装置能够调节固定板和炉门之间的距离。
5.进一步的，所述前调节座和后调节座套接于桨的外周，前调节座位于后调节座与炉门之间。
6.进一步的，所述后调节座包括吊杆、活动块一、限位框、调节螺柱一以及调节螺柱二；吊杆以及调节螺柱二固定设置于限位框上，调节螺柱一活动设置于限位框；活动块一设置于调节螺柱一上，活动块一位于限位框内；限位框呈贯通的直四棱柱形。
7.进一步的，所述限位框的上表面固定设置有吊杆以及调节螺柱二；吊杆共两根，两根吊杆的远离限位框的一端设置有连接头；吊杆穿过固定板，并通过连接头卡于固定板上；调节螺柱二穿过固定板，并通过螺母卡于固定板上；限位框两个侧面均设置有通孔，用于设置调节螺柱一；调节螺柱一共两根，分别设置于限位框的两个侧面上；调节螺柱一穿过限位框侧面的通孔与活动块一固定连接。
8.进一步的，所述前调节座包括支架、支撑底板、活动块二、调节螺柱三以及调节螺柱四；支架固定设置于固定板，调节螺柱三以及调节螺柱四设置于支架上；支撑底板以及活动块二设置于支架的内部；支撑板与调节螺柱三固定连接，活动块二与调节螺柱四固定连
接；支架呈贯通的直四棱柱形，支架的中间贯通用于连接桨。
9.进一步的，所述支架的底部设置有通孔用于设置调节螺柱三，调节螺柱三穿过通孔与支撑板固定连接；支架的两个侧面也分别设置有通孔，支架两侧的通孔用于设置调节螺柱四，调节螺柱四共两根；调节螺柱四穿过支架侧面的通孔与活动块二固定连接。
10.进一步的，所述炉门调节装置包括调节杆、直线轴承、条形板以及万向轴承；调节杆的一端设置有万向轴承；调节杆通过万向轴承与炉门连接；直线轴承设置于调节杆上；条形板设置于直线轴承与固定板之间；调节杆上设置有设定长度的丝杆，丝杆的两端分别设置有限位环，在丝杆部位设置有直线轴承；条形板的一端轴接有条形板连接块；条形板连接块的截面呈“t”型或“l”型；条形板连接块的一面与条形板轴接，另一面与固定板固定连接；条形板连接块与条形板轴接的轴向与x方向平行。
11.进一步的，还包括密封座；密封座设置于炉门上，密封座位于前调节座与炉门之间；炉门上设置有凸起的炉门筒，炉门筒内部中空，用于穿过桨；密封座设置于炉门筒的外周；密封座包括密封环、压环、密封圈、弹簧、密封件压板、密封件、桨密封圈以及密封圈压板；密封环与炉门紧贴，压环设置于密封环内；密封件的一端抵住压环，在密封件与压环之间设置自由密封圈；密封件的外周套接有密封件压板和弹簧，其中弹簧的两端分别与密封件压板以及密封环接触；密封件远离炉门的一端设置有密封圈压板，其中在密封圈压板和密封件之间还设置有桨密封圈；密封圈压板呈圆柱状，密封圈压板一侧封闭，另一侧为开口；密封圈压板的外周套接于密封件的外侧；密封圈压板的封闭端设置有通孔用于穿过桨；前调节座的活动块二为l型板，活动块二的一面设置于支架的内部，并且贴于桨的侧面；活动块二的另一面垂直于y方向；活动块二从支架的内部延伸出一部分，使得活动块二中垂直于y方向的一面能够抵住密封圈压板。
12.进一步的，所述支架的上表面设置有凸起的连接部位，连接部位的截面呈梯形，该截面与y方向垂直；支架上设置的连接部位的上表面与固定板通过螺纹固定连接。
13.进一步的，所述炉门上设置有两只桨，炉门调节装置位于两只桨之间；条形板连接块共两块，分别设置于条形板的两侧。
14.本实用新型的有益效果为：
15.本实用新型设置有后调节座和前调节座，通过调节后调节座的调节螺柱一和调节螺柱二以及前调节座的调节螺柱三和调节螺柱四，实现对桨与固定板的固定、上下角度调节以及位置调节，连接简单，调节方便；
16.通过调节炉门调节装置，实现固定板和炉门之间的距离调节；
17.通过设置密封圈实现桨与炉门之间的密封，保证炉内的气体环境不会被漏气所影响；
18.通过设置炉门筒和密封圈压板，由于密封圈压板与炉门筒同轴，保证桨在x方向上不会偏移。
附图说明
19.图1为本实用新型实施例一结合桨和炉门时的立体图；
20.图2为本实用新型实施例一结合桨和炉门时的左视图；
21.图3为本实用新型实施例一拆下固定板的示意图；
22.图4为本实用新型实施例一的后调节座、前调节座以及密封座与桨的连接示意图；
23.图5为本实用新型实施例一的后调节座示意图；
24.图6为本实用新型实施例一的前调节座示意图；
25.图7为本实用新型实施例一的支架示意图；
26.图8为本实用新型实施例一的支架内部连接结构示意图；
27.图9为本实用新型实施例一的炉门调节装置示意图；
28.图10为本实用新型实施例一的密封座的爆炸图；
29.附图标识说明：固定板1、调节结构2、后调节座21、吊杆211、连接头212、活动块一213、限位框214、调节螺柱一215、调节螺柱二216、前调节座22、支架221、连接部位222、支撑底板223、活动块二224、调节螺柱三225、调节螺柱四226、炉门调节装置23、调节杆231、直线轴承232、条形板233、万向轴承234、丝杆235、限位环236、条形板连接块237、桨3、炉门4、炉门筒41、密封座5、密封环51、压环52、密封圈53、弹簧54、密封件压板55、密封件56、桨密封圈57、密封圈压板58。
具体实施方式
30.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
31.需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
32.实施例一：
33.如图1
‑
3所示，一种桨和炉门调整装置，包括固定板1以及调节结构2，其中调节结构2固定设置于固定板1上。调节结构2包括前调节座22、后调节座21以及炉门调节装置23；调节结构2与桨3和炉门4安装连接时，前调节座22与后调节座21设置于桨3和固定板1之间，用于将桨3与固定板1固定连接；炉门调节装置23设置于固定板1与炉门4之间，炉门调节装置23能够调节固定板1和炉门4之间的距离。其中为了保证单只桨3的不会超负荷，在本例中采用两只桨3，炉门调节装置23位于两只桨3之间。
34.如图4所示，所述前调节座22和后调节座21套接于桨3的外周，前调节座22位于后调节座21与炉门4之间。其中桨3与调节装置连接部分的截面呈矩形，该截面与y方向相垂直。
35.如图5所示，所述后调节座21包括吊杆211、活动块一213、限位框214、调节螺柱一215以及调节螺柱二216，其中吊杆211以及调节螺柱二216固定设置于限位框214上，调节螺柱一215活动设置于限位框214，活动块一213设置于调节螺柱一215上，活动块一213位于限位框214内。限位框214呈贯通的直四棱柱形，限位框214可以由四块矩形板通过螺纹连接构成。限位框214的上表面固定连接有吊杆211以及调节螺柱二216，其中调节螺柱二216设置
于限位框214上表面的中心位置，吊杆211共两根，两根吊杆211分别位于调节螺柱二216的两侧，并且两根吊杆211靠近限位框214上表面的边缘设置。两根吊杆211的远离限位框214的一端设置有连接头212，其中吊杆211穿过固定板1，并通过连接头212卡于固定板1上；调节螺柱二216穿过固定板1，并通过螺母卡于固定板1上。限位框214两个侧面均设置有通孔，用于设置调节螺柱一215，其中调节螺柱一215共两根，分别设置于限位框214的两个侧面上。调节螺柱一215穿过限位框214侧面的通孔与活动块一213固定连接。在后调节座21与桨3的连接过程中两根调节螺柱一215上连接的活动块一213分别卡于桨3的两侧，并通过调节螺柱一215实现松紧调节和固定。
36.如图6
‑
8所示，所述前调节座22包括支架221、支撑底板223、活动块二224、调节螺柱三225以及调节螺柱四226，其中支架221固定设置于固定板1，调节螺柱三225以及调节螺柱四226设置于支架221上，支撑底板223以及活动块二224设置于支架221的内部；支撑板与调节螺柱三225固定连接，活动块二224与调节螺柱四226固定连接。支架221呈贯通的直四棱柱形，支架221的中间贯通处，用于连接桨3，支架221贯通孔的径向截面面积大于桨3在该方向上的截面。其中支架221的上表面设置有凸起的连接部位222，连接部位222的截面呈梯形，该截面与y方向垂直；支架221上设置的连接部位222的上表面与固定板1通过螺纹固定连接。支撑底板223设置于支架221内侧的底部，支架221的底部设置有通孔用于设置调节螺柱三225，调节螺柱三225穿过通孔与支撑板固定连接，通过调节调节螺柱三225，实现对支撑板的位置调节；在本例中共两根调节螺柱三225，两根调节螺柱三225对称设置，目的是更好的实现对支撑板的固定。支架221的两个侧面也分别设置有通孔，支架221两侧的通孔用于设置调节螺柱四226，调节螺柱四226共两根。调节螺柱四226穿过支架221侧面的通孔与活动块二224固定连接。在实施的过程中，通过调节调节螺柱三225实现桨3的上下角度调节，通过调节调节螺柱四226实现对桨3的松紧调节。
37.如图9所示，所述炉门调节装置23包括调节杆231、直线轴承232、条形板233以及万向轴承234。调节杆231的一端设置有万向轴承234，并且调节杆231通过万向轴承234与炉门4连接；直线轴承232设置于调节杆231上；条形板233设置于直线轴承232与固定板1之间。调节杆231上设置有设定长度的丝杆235，丝杆235的两端分别设置有限位环236，在丝杆235部位设置有直线轴承232。条形板233的一端轴接有条形板连接块237，条形板连接块237的截面呈“t”型或“l”型；条形板连接块237的一面与条形板233轴接，另一面与固定板1固定连接，进而实现条形板233与固定板1的连接；需要说明的是条形板连接块237与条形板233轴接的轴向与x方向平行。在本例中条形板连接块237共两块，分别设置于条形板233的两侧。
38.如图10所示，所述桨和炉门调整装置还包括密封座5，密封座5设置于炉门4上，桨3穿过炉门4时也穿过密封座5；密封座5位于前调节座22与炉门4之间。在炉门4上设置有凸起的炉门筒41，炉门筒41内部中空，用于穿过桨3；密封座5设置于炉门筒41的外周。密封座5包括密封环51、压环52、密封圈53、弹簧54、密封件压板55、密封件56、桨密封圈57以及密封圈压板58。密封环51与炉门4紧贴，压环52设置于密封环51内；密封件56的一端抵住压环52，在密封件56与压环52之间设置自由密封圈53。密封件56的外周套接有密封件压板55和弹簧54，其中弹簧54的两端分别与密封件压板55以及密封环51接触。密封件56远离炉门4的一端设置有密封圈压板58，其中在密封圈压板58和密封件56之间还设置有桨密封圈57；在连接时桨3从密封件56的内部穿过，其中桨密封圈57套接于桨3的外周，实现密封，并通过密封圈
压板58实现固定。密封圈压板58呈圆柱状，其中一侧封闭，另一侧为开口；密封圈压板58的外周套接于密封件56的外侧；密封圈压板58的封闭端设置有通孔用于穿过桨3。前调节座22的活动块二224为l型板，其中活动块二224的一面设置于支架221的内部，并且贴于桨3的侧面；活动块二224的另一面垂直于y方向；活动块二224从支架221的内部延伸出一部分，使得活动块二224中垂直于y方向的一面能够抵住密封圈压板58，实现密封座5的固定和密封。
39.在实施的过程中通过调节后调节座21的调节螺柱一215和调节螺柱二216以及前调节座22的调节螺柱三225和调节螺柱四226，实现对桨3与固定板1的固定、上下角度调节以及位置调节；通过调节炉门调节装置23，实现固定板1和炉门4之间的距离调节；通过设置密封圈53实现桨3与炉门4之间的密封，保证炉内的气体环境不会被漏气所影响；通过设置炉门筒41和密封圈压板58，由于密封圈压板58与炉门筒41同轴，保证桨3在x方向上不会偏移。
40.以上描述仅是本实用新型的一个具体实例，不构成对本实用新型的任何限制。显然对于本领域的专业人员来说，在了解了本

技术实现要素：
和原理后，都可能在不背离本实用新型原理、结构的情况下，进行形式和细节上的各种修改和改变，但是这些基于本实用新型思想的修正和改变仍在本实用新型的权利要求保护范围之内。