一种可双面压印的纳米压印设备的制作方法

1.本发明属于纳米压印技术领域，尤其涉及一种可双面压印的纳米压印设备。


背景技术：

2.纳米压印技术，是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术。该技术通过机械转移的手段，达到了超高的分辨率，有望在未来取代传统光刻技术，成为微电子、材料领域的重要加工手段。现有的纳米压印设备只能实现单面压印，如需双面压印则需要不停的转换基片，不仅费时，且费力，增加生产成本，不利于压印行业的发展。


技术实现要素：

3.本发明针对上述的技术问题，提出一种可双面压印的纳米压印设备，能实现单面压印和双面压印，也可实现软压硬，软压软等压印模式，压印过程全自动化，提高压印效率。
4.为了达到上述目的，本发明采用的技术方案为：一种可双面压印的纳米压印设备，包括：输送装置，自所述输送装置的左侧向所述输送装置的右侧设定为输送方向，在输送装置上连接有吸附固定装置，所述吸附固定装置用于吸附固定第一模板，在所述输送装置上方，自所述输送装置的左侧向所述输送装置的右侧顺次设置有第一滴胶装置、第一压印装置、第二滴胶装置、第二压印装置以及紫外固化装置，所述第一压印装置用于固定基片，所述第二压印装置用于固定第二模板，所述输送装置沿输送方向输送吸附固定装置时，通过所述第一滴胶装置向第一模板上滴压印胶，所述第一压印装置带动基片与滴胶的第二模板相接触，完成一次压印，第一压印装置释放基片，通过第二滴胶装置向基片上方滴压印胶，并通过第二压印装置带动第二模板与基片上的压印胶接触，完成二次压印，第二压印装置释放第二模板，紫外固化装置固化压印胶。
5.在本发明的一些实施例中，还包括控制器、设置于所述吸附固定装置上的第一感应单元、设置于所述第一压印装置上的第二感应单元、以及设置于所述第二压印单元上的第三感应单元，所述控制器与所述第一感应单元、所述第二感应单元、所述第三感应单元、所述输送装置、吸附固定装置、第一滴胶装置、第一压印装置、第二滴胶装置、第二压印装置以及紫外固化装置电性连接，通过第一感应单元与第二感应单元之间的感应，调整吸附固定装置上第一模板与第一压印装置上基片的之间对应关系，进而保证一次压印的成品率，通过第一感应单元与第三感应单元之间的感应，调整吸附固定装置上基片与第二压印装置上第二模板之间的对应关系，保证了二次压印的成品率，进而保证了产品的合格率。
6.在本发明的一些实施例中，所述输送装置包括输送带以及驱动输送带转动的电机。
7.在本发明的一些实施例中，所述吸附固定装置包括吸附板，设置于所述吸附板上的支撑柱以及连接于所述支撑柱上的移动块，所述吸附板上设置有透光区，在所述吸附板上位于透光区外侧设置有真空槽，所述真空槽内设置有真空孔，所述真空孔通过真空管与真空泵连接，在所述真空槽外侧设置有定位槽。
8.在本发明的一些实施例中，所述第一滴胶装置及第二滴胶装置均包括支撑架，与支撑架连接的用于盛放胶液的胶桶，设置于胶桶内的伸缩杆以及与伸缩杆连接的胶塞，所述胶桶具有胶嘴，以使所述伸缩杆推动胶塞向胶嘴方向移动时，从胶嘴出胶。
9.在本发明的一些实施例中，所述胶桶为不透明材质。
10.在本发明的一些实施例中，所述第一压印装置包括第一旋转电机、与第一旋转电机连接的第一旋转块、与第一旋转块分别连接的两第一电机、与两第一电机分别连接的第一伸缩杆、与第一伸缩杆连接的第一连接块、与第一连接块连接的第一滑移块，与第一滑移块连接的第一滑移导轨块，以及连接于两第一滑移导轨块之间的第一真空吸板，所述第一真空吸板的下表面设有真空槽，所述真空槽内设有真空孔，所述真空孔通过真空管与真空泵连接。
11.在本发明的一些实施例中，所述第二压印装置包括第二旋转电机、与第二旋转电机连接的第二旋转块、与第二旋转块分别连接的两第二电机、与两第二电机分别连接的第二伸缩杆、与第二伸缩杆连接的第二连接块、与第二连接块连接的第二滑移块，与第二滑移块连接的第二滑移导轨块，以及连接于两第二滑移导轨块之间的第二真空吸板，所述第二真空吸板的下表面设有真空槽，所述真空槽内设有真空孔，所述真空孔通过真空管与真空泵连接。
12.在本发明的一些实施例中，所述紫外固化装置包括支撑杆，与支撑杆连接的连接部以及与连接部连接的紫外灯。
13.在本发明的一些实施例中，还包括外壳，所述第一滴胶装置、第一压印装置、第二滴胶装置、第二压印装置以及紫外固化装置位于所述外壳内的顶端，所述输送装置位于所述外壳内的底端，所述外壳的左右两端设置有开口。
14.与现有技术相比，本发明的优点和积极效果在于：
15.1、输送装置沿输送方向输送吸附固定装置时，通过第一滴胶装置向第一模板上滴压印胶，第一压印装置带动基片与滴胶的第二模板相接触，完成一次压印，第一压印装置释放基片，通过第二滴胶装置向基片上方滴压印胶，并通过第二压印装置带动第二模板与基片上的压印胶接触，完成二次压印，第二压印装置释放第二模板，紫外固化装置固化压印胶，不仅能实现单面压印，也能够实现双面压印，且可实现软压硬，软压软等压印模式，压印过程全自动化，提高压印效率，节约了产生成本。
16.2、通过第一感应单元与第二感应单元之间的感应，调整吸附固定装置上第一模板与第一压印装置上基片的之间对应关系，进而保证一次压印的成品率，通过第一感应单元与第三感应单元之间的感应，调整吸附固定装置上基片与第二压印装置上第二模板之间的对应关系，保证了二次压印的成品率，进而保证了产品的合格率。
附图说明
17.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本发明的内部结构示意图；
19.图2为本发明中吸附板的俯视结构示意图；
20.图3为图1中c部分的局部放大图；
21.图4为本发明中第一压印装置的结构示意图；
22.图5为本发明中第一压印装置的俯视结构示意图；
23.图6为本发明中第二压印装置的结构示意图；
24.图7为本发明中第二压印装置的俯视结构示意图；
25.图8为本发明的压印过程图；
26.图9为纳米压印结构的压印过程图。
27.以上各图中：1、输送装置；101、左侧；102、右侧；11、输送带；12、电机；2、吸附固定装置；21、吸附板；211、透光区；212、真空槽；213、真空孔；214、真空管；215、定位槽；22、支撑柱；23、移动块；3、第一模板；4、第一滴胶装置；41、支撑架；42、胶桶；421、胶嘴；43、伸缩杆；44、胶塞；5、第一压印装置；51、第一旋转电机；52、第一旋转块；53、第一电机；54、第一伸缩杆；55、第一连接块；56、第一滑移块；57、第一滑移导轨块；58、第一真空吸板；581、真空槽；582、真空孔；583、真空管；6、基片；7、第二滴胶装置；8、第二压印装置；81、第一旋转电机；82、第一旋转块；83、第一电机；84、第一伸缩杆；85、第一连接块；86、第一滑移块；87、第一滑移导轨块；88、第一真空吸板；881、真空槽；882、真空孔；883、真空管；884、定位槽；9、第二模板；10、紫外固化装置；111、支撑杆；112、连接部；113、紫外灯；0、外壳。
具体实施方式
28.下面，通过示例性的实施方式对本发明进行具体描述。然而应当理解，在没有进一步叙述的情况下，一个实施方式中的元件、结构和特征也可以有益地结合到其他实施方式中。
29.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
30.术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
31.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
32.一种可双面压印的纳米压印设备，参见图1至图9，包括：输送装置1，自输送装置1的左侧101向输送装置1的右侧102设定为输送方向，在输送装置1上连接有吸附固定装置2，吸附固定装置2用于吸附固定第一模板3，在输送装置1上方，自输送装置1的左侧101向输送装置1的右侧102顺次设置有第一滴胶装置4、第一压印装置5、第二滴胶装置7、第二压印装置8以及紫外固化装置10，第一压印装置5用于固定基片6，第二压印装置8用于固定第二模板9，输送装置1沿输送方向输送吸附固定装置2时，通过第一滴胶装置4向第一模板3上滴压
印胶，第一压印装置5带动基片6与滴胶的第二模板9相接触，完成一次压印，第一压印装置5释放基片6，通过第二滴胶装置7向基片6上方滴压印胶，并通过第二压印装置8带动第二模板9与基片6上的压印胶接触，完成二次压印，第二压印装置8释放第二模板9，紫外固化装置10固化压印胶。
33.为了实现压印过程中的自动化程度，进一步提高效率，还包括控制器、设置于吸附固定装置2上的第一感应单元、设置于第一压印装置5上的第二感应单元、以及设置于第二压印单元上的第三感应单元，控制器、第一感应单元、第二感应单元、以及第三感应单元在图中未给出，控制器可采用plc控制器，控制器与第一感应单元、第二感应单元、第三感应单元、输送装置1、吸附固定装置2、第一滴胶装置4、第一压印装置5、第二滴胶装置7、第二压印装置8以及紫外固化装置10电性连接，通过第一感应单元与第二感应单元之间的感应，调整吸附固定装置2上第一模板3与第一压印装置5上基片6的之间对应关系，进而保证一次压印的成品率，通过第一感应单元与第三感应单元之间的感应，调整吸附固定装置2上基片6与第二压印装置8上第二模板9之间的对应关系，保证了二次压印的成品率，进而保证了产品的合格率。
34.在本实施例中，输送装置1包括输送带11以及驱动输送带11转动的电机12。
35.在本实施例中，吸附固定装置2包括吸附板21，设置于吸附板21上的支撑柱22以及连接于支撑柱22上的移动块23，吸附板21上设置有透光区211，在吸附板21上位于透光区211外侧设置有真空槽212，真空槽212内设置有真空孔213，真空孔213通过真空管214与真空泵连接，在真空槽212外侧设置有定位槽215。
36.在本实施例中，第一滴胶装置4及第二滴胶装置7的结构相同，以第一滴胶装置4为例，包括支撑架41，与支撑架41连接的用于盛放胶液的胶桶42，设置于胶桶42内的伸缩杆43以及与伸缩杆43连接的胶塞44，胶桶42具有胶嘴421，以使伸缩杆43推动胶塞44向胶嘴421方向移动时，从胶嘴421出胶。
37.进一步的，为了避免胶桶42内的胶液被紫外固化装置10固化，胶桶42为不透明材质。
38.在本实施例中，第一压印装置5包括第一旋转电机51、与第一旋转电机51连接的第一旋转块52、与第一旋转块52连接的两第一电机53、与两第一电机53分别连接的第一伸缩杆54、与第一伸缩杆54连接的第一连接块55、与第一连接块55连接的第一滑移块56，与第一滑移块56连接的第一滑移导轨块57，以及连接于两第一滑移导轨块57之间的第一真空吸板58，第一真空吸板58的下表面设有真空槽581，真空槽581为多个同心设置的环形真空槽，真空槽581内设有真空孔582，真空孔582通过真空管583与真空泵连接。
39.在本实施例中，第二压印装置8包括第二旋转电机81、与第二旋转电机81连接的第二旋转块82、与第二旋转块82分别连接的两第二电机83、与两第二电机83分别连接的第二伸缩杆84、与第二伸缩杆84连接的第二连接块85、与第二连接块85连接的第二滑移块86，与第二滑移块86连接的第二滑移导轨块87，以及连接于两第二滑移导轨块87之间的第二真空吸板88，第二真空吸板88的下表面设有真空槽881，真空槽的形状为方形，真空槽881内设有真空孔882，真空孔882通过真空管883与真空泵连接，在真空槽881外侧设置有定位槽884。
40.在本实施例中，紫外固化装置10包括支撑杆111，与支撑杆111连接的连接部112以及与连接部112连接的紫外灯113。
41.在本实施例中，还包括外壳0，第一滴胶装置4、第一压印装置5、第二滴胶装置7、第二压印装置8以及紫外固化装置10位于外壳0内的顶端，输送装置1位于外壳0内的底端，外壳0的左右两端设置有开口a、b，并与吸附固定装置2的位置相对应。
42.以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。