一种高纯铝的区熔方法与流程

技术特征：
1.一种高纯铝的区熔方法，其特征在于，包括以下步骤：s1.石墨舟处理：将高纯氧化铝粉末和溶剂混合后均匀喷涂在石墨舟内表面，在氢气或惰性气体的氛围下加热至500~700℃进行预处理，得具有氧化铝涂层的石墨舟；s2.真空封管：将原料铝装入步骤s1所得具有氧化铝涂层的石墨舟，将石墨舟放入石英管中，抽真空并密封石英管；s3.区熔：将密封后的石英管放入加热装置中，所述加热装置设有多个可移动的加热器，所述加热器等间距套设在石英管管壁，从而将石英管中的石墨舟均匀分成与加热器相同数量的区域，每个区域包括一个熔融区和一个固态区，区熔过程中，待前一个加热器从其初始位置运行到下一个加热器的初始位置，即归位至原点位置，开始第二次区熔作业，区熔作业1~10次；s4.将步骤s3所得区熔后的铝锭去头尾后作为原料铝，重复步骤s2~s3，达到目标纯度后，取出所得铝锭，去头尾后得高纯铝。2.如权利要求1所述的高纯铝的区熔方法，其特征在于，步骤s1中，所述氧化铝涂层的厚度为50~100μm。3.如权利要求1所述的高纯铝的区熔方法，其特征在于，步骤s1中，所述溶剂为纯水、酒精或异丙醇中的一种或多种。4.如权利要求3所述的高纯铝的区熔方法，其特征在于，步骤s1中，所述高纯氧化铝粉末和溶剂的质量比为1~5:10。5.如权利要求1所述的高纯铝的区熔方法，其特征在于，步骤s1中，加热至500~700℃后保温1~5h。6.如权利要求1所述的高纯铝的区熔方法，其特征在于，步骤s2中，抽真空至0.001pa以下，将封泡与石英管焊成一体进行密封。7.如权利要求1所述的高纯铝的区熔方法，其特征在于，步骤s3中，所述加热器的个数为3~6个。8.如权利要求1所述的高纯铝的区熔方法，其特征在于，步骤s3中，所述加热器的移动速度为10~100mm/h，区域熔炼时温度设置为750~1000℃，保持石墨舟上每个熔融区的长度为6~10cm。9.如权利要求1所述的高纯铝的区熔方法，其特征在于，步骤s4中，重复3~5次步骤s2~s3后停止区熔。

技术总结
本发明属于高纯金属材料领域，具体公开了一种高纯铝的区熔方法，包括以下步骤：S1.石墨舟处理：将高纯氧化铝粉末和溶剂混合后均匀喷涂在石墨舟内表面，加热制备具有氧化铝涂层的石墨舟；S2.真空封管：原料铝装入石墨舟，将石墨舟放入石英管中，抽真空并密封石英管；S3.区熔：将石英管放入加热装置中，采用多段接力区熔方式进行区域熔炼，熔炼完毕后切开石英管，将区熔铝锭取出；S4.将步骤S3所得区熔铝锭去头尾后，再重复步骤S2和S3若干次，即得到高纯铝产品。本发明创造性地采用多段接力区熔，将区熔需要的行程缩短为常规区熔的几分之一，即区熔时间缩短为常规区熔的几分之一，可以大幅提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。


技术研发人员：李清宇 林木景 朱刘 何志达
受保护的技术使用者：广东先导微电子科技有限公司
技术研发日：2021.08.30
技术公布日：2021/12/16