一种下降法晶体制备装置的制作方法

技术特征：
1.一种下降法晶体制备装置，其特征在于，所述装置包括：炉体；温场组件，所述温场组件位于所述炉体内；冷却组件，其中，所述冷却组件至少部分位于所述温场组件内；所述冷却组件一端与所述温场组件的坩埚连接；所述冷却组件包括第一冷却通路和连接部件，所述第一冷却通路与所述连接部件连接，其中，所述连接部件包括进水通路和出水通路，通过所述进水通路、所述出水通路以及所述第一冷却通路实现冷却介质的流通；运动组件，所述运动组件与所述冷却组件的另一端传动连接，以带动所述冷却组件上下运动和/或旋转。2.根据权利要求1所述的下降法晶体制备装置，其特征在于，所述运动组件包括升降部件，其中，所述升降部件包括：立柱，所述立柱上设置有滑轨；丝杆，所述丝杆与所述滑轨平行设置；滑块，所述滑块套设于所述丝杆上，所述滑块至少一部分位于所述滑轨内，所述滑块与所述冷却组件连接，所述丝杆的转动能够带动所述滑块沿所述滑轨上下移动，以带动所述冷却组件上下移动；以及第一驱动单元，所述第一驱动单元与所述丝杆连接。3.根据权利要求2所述的下降法晶体制备装置，其特征在于，所述运动组件包括旋转部件，其中，所述旋转部件设置在所述滑块上；所述旋转部件包括：传动单元，所述传动单元与所述冷却组件连接；以及第二驱动单元，所述第二驱动单元通过所述传动单元带动所述冷却组件旋转。4.根据权利要求1所述的下降法晶体制备装置，其特征在于，所述冷却组件还包括：内管，所述内管与所述连接部件连接；以及外管，其中，所述外管套设于所述内管外部；所述外管一端密封，与所述坩埚连接；所述外管内壁与所述内管外壁之间形成冷却环空；所述内管和所述冷却环空连通形成所述第一冷却通路。5.根据权利要求4所述的下降法晶体制备装置，其特征在于，所述外管包括外管本体和外管连接件，所述冷却组件还包括至少一个密封圈和紧固部件，其中，所述至少一个密封圈位于所述连接部件与所述外管连接件之间；所述紧固部件与所述外管连接件连接，用于压紧所述至少一个密封圈。
6.根据权利要求5所述的下降法晶体制备装置，其特征在于，所述至少一个密封圈包括安装方向相同或相反的两个唇形密封圈。7.根据权利要求5所述的下降法晶体制备装置，其特征在于，所述外管连接件包括连接槽；所述运动组件的旋转部件通过连接件和所述连接槽与所述外管连接。8.根据权利要求5所述的下降法晶体制备装置，其特征在于，所述紧固部件包括：连接单元，所述连接单元与所述外管连接件连接；以及至少一个工件紧固单元，其中，所述至少一个工件紧固单元间隔排布在所述连接单元上，所述至少一个工件紧固单元用于配合工件和所述外管连接件的紧固槽以压紧所述至少一个密封圈。9.根据权利要求4所述的下降法晶体制备装置，其特征在于，所述进水通路的数量为至少一个，所述进水通路与所述冷却环空连通；以及所述出水通路与所述内管连通。10.根据权利要求1所述的下降法晶体制备装置，其特征在于，所述温场组件包括筒体，其中，所述筒体包括下密封盖，其中，所述下密封盖包括：通孔，用于所述冷却组件穿过，使所述冷却组件至少部分位于所述筒体内；以及第二冷却通路，用于通入冷却介质，以对所述下密封盖进行冷却。

技术总结
本说明书实施例提供一种下降法晶体制备装置，该装置包括：炉体、温场组件、冷却组件和运动组件。温场组件位于炉体内；冷却组件至少部分位于温场组件内；冷却组件一端与温场组件的坩埚连接；冷却组件包括第一冷却通路和连接部件，第一冷却通路与连接部件连接，连接部件包括进水通路和出水通路，通过进水通路、出水通路以及第一冷却通路实现冷却介质的流通；运动组件与冷却组件的另一端传动连接，以带动冷却组件上下运动和/或旋转。却组件上下运动和/或旋转。却组件上下运动和/或旋转。


技术研发人员：王宇 官伟明 梁振兴
受保护的技术使用者：眉山博雅新材料股份有限公司
技术研发日：2021.06.07
技术公布日：2021/12/14