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一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备的制作方法

2021-12-12 22:31:00 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及涂胶显影设备领域,特别涉及一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备。


背景技术:

2.光刻(photoetching)是通过一系列生产步骤,将晶片表面薄膜的特定部分除去的工艺,通过光刻工艺过程,最终在晶片上保留的是特征图形部分。目前的光刻工艺中,一般采用涂胶显影设备进行涂胶、显影工作,因此对涂胶显影设备的使用较多;现有的涂胶显影设备中,控制面板直接固定在设备主体上,不能进行调节,使用时存在一定的局限性,并且不使用时得不到有效地保护,极易受到外界因素干扰而损坏,使用成本较高。


技术实现要素:

3.本实用新型的主要目的在于提供一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备,可以有效解决背景技术中的问题。
4.为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
5.一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备,包括设备主体,所述设备主体上安装有活动门,所述设备主体上设置有防护结构,且防护结构包括防护盒、内腔、滚珠、第一磁铁、限位架、防护板、腰型孔、第二磁铁和固定小块,所述防护盒固定安装于设备主体上,所述防护板连接于防护盒上,所述防护结构中的防护盒中设置有可调控制器,且可调控制器包括控制面板、转轴和橡胶垫。
6.优选的,所述活动门上设有合页,且合页与设备主体之间固定连接,所述活动门通过合页转动连接于设备主体上,所述活动门上设置有方形槽,且活动门上设置有透明玻璃。
7.优选的,所述防护盒固定于设备主体上,所述内腔开设于防护盒上,所述滚珠设置于防护盒上,所述第一磁铁固定安装于防护盒的上端位置处,所述限位架连接于防护盒的下端位置处,所述腰型孔开设于防护板上,且防护板通过腰型孔套设于限位架上,所述第二磁铁固定安装于防护板的上端位置处,所述固定小块设置于防护板上靠近第二磁铁的位置处。
8.优选的,所述限位架包括固定座、螺纹孔、限位板和连接螺杆,所述螺纹孔开设于固定座上,所述限位板与连接螺杆之间固定连接,且连接螺杆与螺纹孔之间螺纹连接,所述限位板通过连接螺杆、螺纹孔固定连接于固定座上。
9.优选的,所述转轴固定安装于控制面板的端部中间位置处,所述橡胶垫设置于转轴上,所述转轴连接于防护盒上,所述控制面板通过转轴与防护盒之间转动连接。
10.与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:该高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备,通过设置的防护结构,不使用时可以有效地将控制器保护起来,保证控制器的完好性,一定程度上延长了使用寿命,采用磁铁、限位架等结构,既可以快速地打开防护板使用控制器,又可以保证防护板闭合后的稳固性,通过设置的可调控制器,控制面板上设置转
轴和橡胶垫,可以根据实际情况进行微调,并且微调后不受外力情况下控制面板不会自行转动,使用稳固性好。
附图说明
11.图1为本实用新型的整体结构示意图;
12.图2为本实用新型防护结构处的结构示意图;
13.图3为本实用新型限位架的结构示意图;
14.图4为本实用新型控制面板处的结构示意图。
15.图中:1、设备主体;2、活动门;3、防护结构;301、防护盒;302、内腔;303、滚珠;304、第一磁铁;305、限位架;3051、固定座;3052、螺纹孔;3053、限位板;3054、连接螺杆;306、防护板;307、腰型孔;308、第二磁铁;309、固定小块;4、控制面板;5、转轴;6、橡胶垫。
具体实施方式
16.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
17.如图1

4所示,一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备,包括设备主体1,设备主体1上安装有活动门2,设备主体1上设置有防护结构3,且防护结构3包括防护盒301、内腔302、滚珠303、第一磁铁304、限位架305、防护板306、腰型孔307、第二磁铁308和固定小块309,防护盒301固定安装于设备主体1上,防护板306连接于防护盒301上,防护结构3中的防护盒301中设置有可调控制器,且可调控制器包括控制面板4、转轴5和橡胶垫6。
18.通过上述实施方案,活动门2上设有合页,且合页与设备主体1之间固定连接,活动门2通过合页转动连接于设备主体1上,活动门2上设置有方形槽,且活动门2上设置有透明玻璃。
19.通过上述实施方案,防护盒301固定于设备主体1上,内腔302开设于防护盒301上,滚珠303设置于防护盒301上,第一磁铁304固定安装于防护盒301的上端位置处,限位架305连接于防护盒301的下端位置处,腰型孔307开设于防护板306上,且防护板306通过腰型孔307套设于限位架305上,第二磁铁308固定安装于防护板306的上端位置处,固定小块309设置于防护板306上靠近第二磁铁308的位置处,通过设置的防护结构3,不使用时可以有效地将控制器保护起来,保证控制器的完好性,一定程度上延长了使用寿命,采用磁铁、限位架305等结构,既可以快速地打开防护板306使用控制器,又可以保证防护板306闭合后的稳固性。
20.通过上述实施方案,限位架305包括固定座3051、螺纹孔3052、限位板3053和连接螺杆3054,螺纹孔3052开设于固定座3051上,限位板3053与连接螺杆3054之间固定连接,且连接螺杆3054与螺纹孔3052之间螺纹连接,限位板3053通过连接螺杆3054、螺纹孔3052固定连接于固定座3051上,限位架305采用螺纹连接的方式进行安装,可以快速拆卸,便于对防护板306进行拆卸,结构简单,操作方便快捷。
21.通过上述实施方案,转轴5固定安装于控制面板4的端部中间位置处,橡胶垫6设置于转轴5上,转轴5连接于防护盒301上,控制面板4通过转轴5与防护盒301之间转动连接,通过设置的可调控制器,控制面板4上设置转轴5和橡胶垫6,可以根据实际情况进行微调,并
且微调后不受外力情况下控制面板4不会自行转动,使用稳固性好。
22.需要说明的是,本实用新型为一种高洁净度液晶面板专用涂胶显影设备,设备主体1通过下表面的支腿放置于地面上,连接相关线缆之后即可开始使用设备进行涂胶显影工作,设备不运行的时候,可调控制器位于防护结构3中的防护盒301中,同时防护板306盖在防护盒301上,当需要使用设备进行涂胶显影时,工作人员打开活动门2,将需要进行涂胶显影的物品放置到设备主体1内部的放置台上,物品放置完毕之后关闭活动门2,随后通过固定小块309向防护板306施加向下的作用力,从而使得防护板306上的第二磁铁308与第一磁铁304分开,随后继续向下移动防护板306,直至防护板306通过限位架305悬挂于防护盒301的下端位置处,此时可调控制器中的控制面板4露出,工作人员利用控制面板4上的触控屏进行相应参数的设置,并通过控制面板4启动设备即可对物品进行涂胶显影工,这一过程中,在涂胶显影的过程中,工作人员可以透过活动门2上的透明玻璃实时观察涂胶显影过程,当涂胶显影工作完毕之后,停止设备,然后打开活动门2取出物品即可,在使用控制面板4的过程中,由于不同工作人员身高的不同,可以转动控制面板4使其倾斜设置,然后进行使用即可,操作时,直接转动控制面板4,控制面板4通过转轴5在防护盒301内转动,当转动到合适角度之后停止转动,此时在橡胶垫6的作用下,不受工作人员驱动力的控制面板4与防护盒301之间相对固定,控制面板4此时的角度就被固定,然后工作人员即可使用控制面板4进行设备的控制,结构简单,调节起来方便快捷,当设备使用完毕之后关闭设备电源,将控制面板4旋转至竖直放置,然后通过固定小块309上移防护板306,直至防护板306上的第二磁铁308与第一磁铁304相贴合吸附,进而完成对控制面板4的收纳防护,在防护板306的升降过程中,防护板306通过腰型孔307沿着限位架305移动,同时滚珠303保证防护板306移动时的顺畅性,若是需要拆卸防护板306时,转动限位板3053,将连接螺杆3054从固定座3051上的螺纹孔3052中旋出即可,拆卸方便快捷,使用效果优异。
23.上述内容描述了本实用新型的使用原理、特征和有益效果。本领域的相关人员根据上述内容可以了解,上述内容并未限制本实用新型,上述的实施例和说明书描述的是本实用新型的基本原理和特征,在符合本实用新型构思的前提之下,本实用新型还可进行各种变化改进,这些改进都应落入本实用新型要求保护的范围之内。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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