一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节装置的制作方法

一种直写光刻镜头dmd倾斜角度调节装置
技术领域
1.本实用新型涉及直写光刻技术领域，更具体的说是涉及一种直写光刻镜头dmd倾斜角度调节装置。


背景技术：

2.直写光刻设备例如激光直写光刻机上均设置有直写光刻镜头，有的直写光刻设备上的直写光刻镜头设置有多个，在各个镜头上均设置有数字微镜元件(dmd)。使用直写光刻设备前需要将dmd元件调节至指定角度，由于dmd安装在镜头上，因此通常通过调整镜头的角度来对dmd元件的角度进行调节。
3.现有的调节方式通常为手动直接调节镜头或者敲击镜头从而对镜头的角度进行调节，调节时若用力过猛则容易造成镜头受损。且由于dmd元件的角度精度要求高，经常需要进行微调，而手动调节时经常会用力过猛而导致调整角度过大，难以做到微调。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种直写光刻镜头dmd倾斜角度调节装置，该调节装置对镜头上的dmd元件进行角度调节时不会损伤镜头，且便于对角度进行微调。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种直写光刻镜头dmd倾斜角度调节装置，其特征在于：包括有安装法兰、安装板以及调节组件；
6.所述安装法兰上固定有安装了dmd元件的镜头，所述安装法兰上设置有通孔，所述安装板上设置有螺纹孔，所述螺纹孔与通孔对应设置且所述通孔大于螺纹孔，所述螺纹孔内螺接有锁紧件，所述锁紧件穿过所述通孔并将所述安装法兰预紧或锁紧于所述安装板上；
7.所述安装板上还设置有插孔，所述插孔供所述镜头穿过，所述插孔的孔径与所述镜头的外径相适配；
8.所述调节组件可拆卸连接于所述安装板上，在所述锁紧件预紧所述安装法兰后，所述调节组件用于推动所述安装法兰绕所述插孔的中心轴线转动。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述调节组件包括有调节板和两个调节柱，所述调节板固定于所述安装板上，所述调节柱均与所述调节板螺接，所述调节柱的一端用于与所述安装法兰抵触，所述调节柱向所述安装法兰方向旋入时，所述调节柱与所述安装法兰抵触并用于带动所述安装法兰绕所述插孔的中心轴线转动，两个所述调节柱带动所述安装法兰的旋转方向相反。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述安装法兰上设置有两个切口，所述切口上形成由抵触面，两个所述抵触台分别用于供两个调节柱抵触。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述调节板上面向所述安装板的一侧设置有定位导向槽，所述安装板上设置有用于与定位导向槽配合的端面。
12.作为本实用新型的进一步改进，所述调节板与所述安装板之间通过螺栓连接。
13.作为本实用新型的进一步改进，所述螺栓设置有至少两个，所述螺栓的长度方向与所述调节柱的长度方向垂直。
14.作为本实用新型的进一步改进，所述螺栓设置有至少两个，所述螺栓的长度方向与所述调节柱的长度方向平行。
15.作为本实用新型的进一步改进，所述锁紧件设置有多个，多个所述锁紧件绕所述镜头的中心轴线环状均匀分布。
16.本实用新型的有益效果：通过通孔大于螺纹孔的设置，使得锁紧件在预紧安装法兰后，能够通过调节组件推动安装法兰，且插孔的孔径与镜头的外径相适配，从而使得安装法兰被推动时带动镜头绕插孔的中心轴线转动，从而调节镜头上的dmd元件的角度，调节完成后再通过锁紧件将安装法兰锁紧于安装板上。调节时通过安装法兰来带动镜头转动，因此调节组件不会直接与镜头接触，不会损伤镜头。且由于安装法兰被锁紧件预紧，因此安装法兰的转动角度难以一次性调节过大，便于实现微调。
附图说明
17.图1为本发明实施例1的立体结构示意图；
18.图2为实施例1的调节组件的立体结构示意图；
19.图3为实施例1的安装法兰的立体结构示意图；
20.图4为实施例1的安装板的立体结构示意图；
21.图5为本发明实施例2的立体结构示意图；
22.图6为实施例2的调节组件的立体结构示意图。
23.附图标记：1、安装法兰；11、镜头；12、通孔；13、切口；2、安装板；21、螺纹孔；22、锁紧件；23、插孔；3、调节组件；31、调节板；311、定位导向槽；32、调节柱；33、螺栓。
具体实施方式
24.下面结合附图和实施例，对本实用新型进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
25.实施例1：
26.参照图1、图3所示，本实施例的一种直写光刻镜头11dmd倾斜角度调节装置，包括有安装法兰1、安装板2以及调节组件3；安装法兰1上固定有安装了dmd元件的镜头11，镜头11的固定方式为：安装法兰1上设置有供镜头11穿过的孔，镜头11穿过孔并与孔之间紧固连接，镜头11与安装法兰1相垂直。
27.参照图1、图3、图4所示，安装法兰1上设置有通孔12，通孔12设置有四个，四个通孔12绕镜头11的中心轴线环状均匀分布。安装板2上设置有螺纹孔21，螺纹孔21与通孔12一一对应设置且通孔12大于螺纹孔21，螺纹孔21内螺接有锁紧件22，本实施例中锁紧件22为为螺钉。通过四个锁紧件22、四个通孔12、四个螺纹孔21的设置能够使得安装法兰1被锁紧到安装板2上时能够连接紧固。
28.参照图4所示，安装板2上还设置有插孔23，插孔23供镜头11穿过，插孔23的孔径与镜头11的外径相适配，即插孔23与镜头11之间过渡配合，镜头11能够绕插孔23的中心轴线转动，且插孔23的内壁能够对镜头11的沿与插孔23的轴线方向垂直的方向的运动进行限位。
29.参照图1、图2、图3所示，调节组件3可拆卸连接在安装板2上，使得人们能够拆卸下调节组件3来安装到其他安装板2上来调节其他镜头11上dmd元件的角度，特别是适用于多镜头11排列的直写光刻设备。调节组件3包括有调节板31和两个调节柱32，调节板31固定于安装板2上，调节柱32均与调节板31螺接，调节柱32的一端用于与安装法兰1抵触，安装法兰1上设置有两个切口13，切口13上形成由抵触面，两个抵触台分别用于供两个调节柱32抵触。切口13的设置增大了调节柱32与安装法兰1之间的接触面积，使得调节柱32在推动安装法兰1时不易打滑。
30.参照图1、图2、图3所示，锁紧件22将安装法兰1预紧于安装板2上时，调节柱32向安装法兰1方向旋入时，调节柱32与安装法兰1抵触并用于带动安装法兰1绕插孔23的中心轴线转动，两个调节柱32带动安装法兰1的旋转方向相反，因此一个调节柱32向安装法兰1方向旋入时，另一个调节柱32需要预先或者同时向远离安装法兰1的方向旋出，从而使得安装法兰1能够顺利被推动。
31.参照图2所示，调节板31上面向安装板2的一侧设置有定位导向槽311，安装板2上设置有用于与定位导向槽311配合的端面，定位导向槽311的设置能够便于人们识别调节板31相对安装板2的安装方向，便于安装。调节板31与安装板2之间通过螺栓33连接。螺栓33设置有至少两个，螺栓33的长度方向与调节柱32的长度方向垂直，此时螺栓33从上往下贯穿调节板31并螺接到安装板2上端面上。
32.实施例2：
33.参照图5、图6所示，该实施例与实施例1的不同之处在于，螺栓33的长度方向与调节柱32的长度方向平行，此时螺栓33调节板31的侧面贯穿调节板31并螺接到安装板2的侧壁上。安装板2的侧面通常留有更大的空间，因此这样设置便于在旋转螺栓33时能够具有足够大的操作空间，便于人们用工具旋转螺栓33。
34.工作原理：
35.将安装有镜头11的安装法兰1通过锁紧件22预紧到安装板2上，预紧过程中，镜头11插入到插孔23内。将调节板31的定位导向槽311与安装板2贴合并通过螺栓33将调节板31固定到安装板2上，之后旋转调节板31上螺接的调节柱32，由于安装法兰1上的通孔12大于螺纹孔21，因此向安装法兰1方向旋入的调解柱能够推动安装法兰1绕插孔23的中心轴线旋转，此时镜头11跟随安装法兰1旋转，从而使得镜头11上的dmd元件同步旋转从而调整dmd元件的角度。调节柱32有两个，两个调节柱32推动安装法兰1的旋转方向相反，操作人员根据调整角度的方向需要来通过对应的调节柱32带动安装法兰1转动。调节柱32向安装法兰1的方向旋入以推动安装法兰1时，需要预先或者同步将另一调节柱32向远离安装法兰1的方向旋出，避免另一调节柱32阻挡安装法兰1的旋转。dmd元件的角度调整好后，再通过锁紧件22锁紧安装法兰1。
36.以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对
于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。