一种用于等离子体清洗设备的等离子体电源散热盒的制作方法

1.本实用新型涉及射频电源散热技术领域，尤其涉及一种用于等离子体清洗设备的等离子体电源散热盒。


背景技术：

2.等离子体清洗设备，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的，等离子体清洗设备会使用射频电源进行供电，此时就需要设置一个专门为射频电源进行散热的机构来保证射频电源的正常运行。
3.经检索，中国专利申请号为cn201320528568.1的专利，公开了一种等离子清洗设备，包括真空腔体、反应仓、真空泵装置、射频电源、匹配器、plc控制系统、手控盒和人机界面；所述反应仓和人机界面设置在机体右侧壁，但是上述技术方案由于未设置相应的能够将射频电源散发的热量快速散出的机构，因此还存在射频电源在工作时容易出现过热的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于等离子体清洗设备的等离子体电源散热盒。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种用于等离子体清洗设备的等离子体电源散热盒，包括保护框，所述保护框底部外壁四角位置固定有三个以上的支撑腿，保护框顶部外壁设置有l型顶板，l型顶板顶部外壁固定有进液阀和出液阀，进液阀和出液阀贯穿于l型顶板的顶部外壁，l型顶板一侧外壁固定有呈阵列式分布的弹性伸缩杆，呈阵列式分布的弹性伸缩杆一侧外壁固定有挤压板，挤压板一侧外壁固定有多个褶皱软管，多个褶皱软管一侧外壁固定于进液阀和出液阀的一侧外壁上，挤压板一侧外壁固定有水冷管，保护框两侧内壁固定有两个固定板，两个固定板一侧外壁固定有射频电源，保护框底部内壁固定有温度传感器和控制面板，温度传感器、进液阀和出液阀分别与控制面板电性连接。
7.作为本实用新型再进一步的方案：所述保护框两侧内壁开有三个以上的圆形通孔，三个以上的圆形通孔内壁固定有三个以上的散热风机，散热风机与控制面板电性连接。
8.作为本实用新型再进一步的方案：所述保护框两侧外壁固定有三个以上的连接框，三个以上的连接框一侧外壁固定有三个以上的过滤板。
9.作为本实用新型再进一步的方案：所述保护框底部外壁固定有三个以上的散热片。
10.作为本实用新型再进一步的方案：所述保护框两侧内壁固定有两个干燥块放置盒。
11.作为本实用新型再进一步的方案：所述保护框底部内壁固定有两个t型支撑杆，t型支撑杆的顶部外壁和支撑腿的底部外壁分别设置有一侧防滑垫。
12.作为本实用新型再进一步的方案：所述l型顶板一侧外壁固定有把手和观察窗。
13.作为本实用新型再进一步的方案：所述保护框底部外壁开有多个矩形凹槽，多个矩形凹槽内壁固定有多个导线盒，导线盒顶部外壁固定有接线盒。
14.本实用新型的有益效果为：
15.1.通过设置挤压板、水冷管、弹性伸缩杆和褶皱软管，工作人员将进液阀和出液阀与外部水泵相连接，温度传感器会将保护框内部的实时温度传输给控制面板，当温度超过设定值时，控制面板控制进液阀和出液阀打开，外部冷却水通过进液阀进入褶皱软管，然后通过褶皱软管进入水冷管内部，此时在水冷管内部流动的冷却水会快速吸收射频电源所散发的热量，吸收完热量的冷却水会通过水冷管流入另一个褶皱软管，最后通过出液阀流出，挤压板可通过弹性伸缩杆的弹力将水冷管挤压在射频电源的顶部外壁上，从而提高水冷管的吸热效果，褶皱软管可在不影响挤压板晃动的情况下对流经水冷管的冷却水进行导流。
16.2.通过设置导线盒和接线盒，将射频电源放入保护框内部并固定后，即可将需要连接的线路通过导线盒插入，然后再通过接线盒将插入导线盒的线路拽出，从而让外部线路接入到保护框内部，接线盒可对接入保护框的线路进行限位，避免线路搅在一起，同时导线盒可对接入保护框内部的线路进行有效的保护，避免线路过渡弯折而受损。
17.3.通过设置散热风机，当保护框内部的温度达到设定温度时，控制面板会控制散热风机运行，将保护框内部的热量快速散出，从而配合水冷管对射频电源进行散热，提高了散热盒对射频电源的散热效果；通过设置过滤板，过滤板可对通过散热风机的空气进行过滤，从而避免外部灰尘通过散热风机进入保护框内部。
附图说明
18.图1为本实用新型提出的一种用于等离子体清洗设备的等离子体电源散热盒的主视结构示意图；
19.图2为本实用新型提出的一种用于等离子体清洗设备的等离子体电源散热盒的底视结构示意图；
20.图3为本实用新型提出的一种用于等离子体清洗设备的等离子体电源散热盒的l型顶板打开示意图；
21.图4为本实用新型提出的一种用于等离子体清洗设备的等离子体电源散热盒的l型顶板结构示意图；
22.图5为本实用新型提出的一种用于等离子体清洗设备的等离子体电源散热盒的保护框结构示意图；
23.图6为本实用新型提出的一种用于等离子体清洗设备的等离子体电源散热盒的电路流程示意图。
24.图中：1
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保护框、2
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支撑腿、3
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导线盒、4
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观察窗、5
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把手、6
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l型顶板、7
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进液阀、8
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出液阀、9
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过滤板、10
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连接框、11
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散热片、12
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水冷管、13
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挤压板、14
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干燥块放置盒、15
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射频电源、16
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散热风机、17
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温度传感器、18
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控制面板、19
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弹性伸缩杆、20
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褶皱软管、21
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t型支撑杆、22
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固定板、23
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接线盒。
具体实施方式
25.下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
26.下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。
27.在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。
28.在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
29.实施例1
30.一种用于等离子体清洗设备的等离子体电源散热盒，如图1
‑
6所示，包括保护框1，所述保护框1底部外壁四角位置通过螺丝固定有三个以上的支撑腿2，保护框1顶部外壁通过合页连接有l型顶板6，l型顶板6顶部外壁通过螺丝固定有进液阀7和出液阀8，进液阀7和出液阀8贯穿于l型顶板6的顶部外壁，l型顶板6一侧外壁通过螺丝固定有呈阵列式分布的弹性伸缩杆19，呈阵列式分布的弹性伸缩杆19一侧外壁通过螺丝固定有挤压板13，挤压板13一侧外壁固定有多个褶皱软管20，多个褶皱软管20一侧外壁固定于进液阀7和出液阀8的一侧外壁上，挤压板13一侧外壁通过螺丝固定有水冷管12，保护框1两侧内壁通过螺丝固定有两个固定板22，两个固定板22一侧外壁通过螺丝固定有射频电源15，保护框1底部内壁通过螺丝固定有温度传感器17和控制面板18，温度传感器17、进液阀7和出液阀8分别与控制面板18电性连接，温度传感器17的型号为gx18b20。
31.工作人员将进液阀7和出液阀8与外部水泵相连接，温度传感器17会将保护框1内部的实时温度传输给控制面板18，当温度超过设定值时，控制面板18控制进液阀7和出液阀8打开，外部冷却水通过进液阀7进入褶皱软管20，然后通过褶皱软管20进入水冷管12内部，此时在水冷管12内部流动的冷却水会快速吸收射频电源15所散发的热量，吸收完热量的冷却水会通过水冷管12流入另一个褶皱软管20，最后通过出液阀8流出，挤压板13可通过弹性伸缩杆19的弹力将水冷管12挤压在射频电源15的顶部外壁上，从而提高水冷管12的吸热效果，褶皱软管20可在不影响挤压板13晃动的情况下对流经水冷管12的冷却水进行导流。
32.为了进一步提高散热盒对射频电源15的散热效果；如图3、图5所示，所述保护框1两侧内壁开有三个以上的圆形通孔，三个以上的圆形通孔内壁通过螺丝固定有三个以上的散热风机16，散热风机16与控制面板18电性连接；通过设置散热风机16，当保护框1内部的温度达到设定温度时，控制面板18会控制散热风机16运行，将保护框1内部的热量快速散出，从而配合水冷管12对射频电源15进行散热，提高了散热盒对射频电源15的散热效果。
33.为了避免外部灰尘通过散热风机16进入保护框1内部；如图1、图2、图3所示，所述保护框1两侧外壁通过螺丝固定有三个以上的连接框10，三个以上的连接框10一侧外壁通过螺丝固定有三个以上的过滤板9；通过设置过滤板9，过滤板9可对通过散热风机16的空气
进行过滤，从而避免外部灰尘通过散热风机16进入保护框1内部。
34.为了提高保护框1整体的散热效果；如图2所示，所述保护框1底部外壁通过螺丝固定有三个以上的散热片11；通过设置散热片11，可以提高保护框1底部的散热面积，从而提高保护框1整体的散热效率。
35.为了让保护框1内部时刻保持干燥；如图3、图5所示，所述保护框1两侧内壁通过螺丝固定有两个干燥块放置盒14；通过设置干燥块放置盒14，干燥块放置盒14内部的干燥块可对保护框1内部的湿气进行吸收，工作人员可定期打开l型顶板6对干燥块放置盒14内部的干燥块进行更换。
36.为了提高对射频电源15的固定效果；如图3、图5所示，所述保护框1底部内壁通过螺丝固定有两个t型支撑杆21，t型支撑杆21的顶部外壁和支撑腿2的底部外壁分别设置有一侧防滑垫；通过设置t型支撑杆21和防滑垫，t型支撑杆21可对射频电源15进行有效的支撑，配合固定板22对射频电源15进行支撑和固定，同时固定板22表面的防滑垫可提高t型支撑杆21与射频电源15底部接触面之间的摩擦力，同时支撑腿2底部的防滑垫也可提高支撑腿2与其接触面之间的摩擦力。
37.为了方便对保护框1内部进行维护；如图1所示，所述l型顶板6一侧外壁通过螺丝固定有把手5和观察窗4；通过设置把手5和观察窗4，工作人员可通过观察窗4观察保护框1内部设备运行的情况，当需要对保护框1内部的设备进行维护时，可通过l型顶板6一侧的把手5将l型顶板6整体掀起，从而方便对保护框1内部进行维护。
38.工作原理：首先通过支撑腿2将散热盒固定在等离子体清洗设备内部指定的位置，然后将射频电源15通过螺丝固定在两个固定板22一侧，随后通过合页将l型顶板6盖在保护框1的顶部，通过设置挤压板13、水冷管12、弹性伸缩杆19和褶皱软管20，工作人员将进液阀7和出液阀8与外部水泵相连接，温度传感器17会将保护框1内部的实时温度传输给控制面板18，当温度超过设定值时，控制面板18控制进液阀7和出液阀8打开，外部冷却水通过进液阀7进入褶皱软管20，然后通过褶皱软管20进入水冷管12内部，此时在水冷管12内部流动的冷却水会快速吸收射频电源15所散发的热量，吸收完热量的冷却水会通过水冷管12流入另一个褶皱软管20，最后通过出液阀8流出，挤压板13可通过弹性伸缩杆19的弹力将水冷管12挤压在射频电源15的顶部外壁上，从而提高水冷管12的吸热效果，褶皱软管20可在不影响挤压板13晃动的情况下对流经水冷管12的冷却水进行导流。
39.当保护框1内部的温度达到设定温度时，控制面板18会控制散热风机16运行，将保护框1内部的热量快速散出，从而配合水冷管12对射频电源15进行散热，过滤板9可对通过散热风机16的空气进行过滤，通过设置散热片11，可以提高保护框1底部的散热面积，干燥块放置盒14内部的干燥块可对保护框1内部的湿气进行吸收，工作人员可定期打开l型顶板6对干燥块放置盒14内部的干燥块进行更换，t型支撑杆21可对射频电源15进行有效的支撑，配合固定板22对射频电源15进行支撑和固定，同时固定板22表面的防滑垫可提高t型支撑杆21与射频电源15底部接触面之间的摩擦力，同时支撑腿2底部的防滑垫也可提高支撑腿2与其接触面之间的摩擦力，工作人员可通过观察窗4观察保护框1内部设备运行的情况，当需要对保护框1内部的设备进行维护时，可通过l型顶板6一侧的把手5将l型顶板6整体掀起，从而方便对保护框1内部进行维护。
40.实施例2
41.一种用于等离子体清洗设备的等离子体电源散热盒，如图1、图3、图5所示，为了能够有效的对接入保护框1内部设备的线路进行保护：所述保护框1底部外壁开有多个矩形凹槽，多个矩形凹槽内壁通过螺丝固定有多个导线盒3，导线盒3顶部外壁通过螺丝固定有接线盒23；通过设置导线盒3和接线盒23，将射频电源15放入保护框1内部并固定后，即可将需要连接的线路通过导线盒3插入，然后再通过接线盒23将插入导线盒3的线路拽出，从而让外部线路接入到保护框1内部，接线盒23可对接入保护框1的线路进行限位，避免线路搅在一起，同时导线盒3可对接入保护框1内部的线路进行有效的保护，避免线路过渡弯折而受损。
42.工作原理：将射频电源15放入保护框1内部并固定后，即可将需要连接的线路通过导线盒3插入，然后再通过接线盒23将插入导线盒3的线路拽出，从而让外部线路接入到保护框1内部，接线盒23可对接入保护框1的线路进行限位，避免线路搅在一起，同时导线盒3可对接入保护框1内部的线路进行有效的保护。
43.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。