保持装置、光刻装置以及物品制造方法与流程

技术特征：
1.一种保持装置，该保持装置保持物体，其特征在于，上述保持装置具有：吸附部，该吸附部用于真空吸附上述物体；多个生成部，该多个生成部分别与连接于上述吸附部的多个第1管路对应地设置，生成经由上述多个第1管路向上述吸附部供给的真空空气；泵，该泵经由分别与上述多个生成部连接的多个第2管路向上述多个生成部供给压缩空气；第3管路，该第3管路包括分别与上述多个第2管路连接的多个连接管路和汇集上述多个连接管路的汇集管路；控制阀，该控制阀设于上述汇集管路，通过开闭上述汇集管路，经由上述多个连接管路控制上述多个第2管路的大气释放；以及多个止回阀，该多个止回阀分别设于上述多个连接管路，抑制存在于上述多个第2管路之中的一个管路的上述压缩空气经由上述第3管路流入上述多个第2管路之中的其他管路。2.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述保持装置还具有多个阀门，该多个阀门设在上述多个生成部的各个生成部与上述泵之间，通过分别开闭上述多个第2管路，控制从上述泵向上述多个生成部的上述压缩空气的供给以及从上述泵向上述多个生成部的上述压缩空气的供给的停止。3.如权利要求2所述的保持装置，其特征在于，上述保持装置还具有对上述控制阀以及上述多个阀门进行控制的控制部，在由上述吸附部真空吸附上述物体的场合，上述控制部控制上述控制阀以及上述多个阀门，以便关闭上述汇集管路并打开上述多个第2管路，在解除由上述吸附部对上述物体的真空吸附的场合，上述控制部控制上述控制阀以及上述多个阀门，以便打开上述汇集管路并关闭上述多个第2管路。4.如权利要求3所述的保持装置，其特征在于，上述控制部单独地控制上述多个阀门，以便独立地控制上述多个第2管路各自的开闭。5.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述多个生成部分别包括通过将从上述泵供给的上述压缩空气排出而生成上述真空空气的喷射器。6.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述吸附部包括载置上述物体并真空吸附上述物体的吸附部件，在上述吸附部件设有分别与上述多个第1管路连接的多个吸附孔。7.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述吸附部包括分别载置上述物体并分别真空吸附上述物体的多个吸附部件，在上述多个吸附部件分别设有与上述多个第1管路之中的至少一个管路连接的吸附孔。8.一种保持装置，该保持装置保持物体，其特征在于，上述保持装置具有：吸附部，该吸附部用于真空吸附上述物体；多个生成部，该多个生成部分别与连接于上述吸附部的多个第1管路对应地设置，生成
经由上述多个第1管路向上述吸附部供给的真空空气；泵，该泵经由分别与上述多个生成部连接的多个第2管路向上述多个生成部供给压缩空气；第3管路，该第3管路包括分别与上述多个第1管路连接的多个连接管路和汇集上述多个连接管路的汇集管路；控制阀，该控制阀设于上述汇集管路，通过开闭上述汇集管路，经由上述多个连接管路控制上述多个第1管路的大气释放；以及多个止回阀，该多个止回阀分别设于上述多个连接管路，抑制存在于上述多个第1管路之中的一个管路的上述真空空气经由上述第3管路流入上述多个第1管路之中的其他管路。9.如权利要求8所述的保持装置，其特征在于，上述保持装置还具有多个阀门，该多个阀门设在上述多个生成部的各个生成部与上述泵之间，通过分别开闭上述多个第2管路，控制从上述泵向上述多个生成部的上述压缩空气的供给以及从上述泵向上述多个生成部的上述压缩空气的供给的停止。10.如权利要求9所述的保持装置，其特征在于，上述保持装置还具有对上述控制阀以及上述多个阀门进行控制的控制部，在由上述吸附部真空吸附上述物体的场合，上述控制部控制上述控制阀以及上述多个阀门，以便关闭上述汇集管路并打开上述多个第2管路，在解除由上述吸附部对上述物体的真空吸附的场合，上述控制部控制上述控制阀以及上述多个阀门，以便打开上述汇集管路并关闭上述多个第2管路。11.如权利要求10所述的保持装置，其特征在于，上述控制部单独地控制上述多个阀门，以便独立地控制上述多个第2管路各自的开闭。12.如权利要求8所述的保持装置，其特征在于，上述多个生成部分别包括通过将从上述泵供给的上述压缩空气排出而生成上述真空空气的喷射器。13.如权利要求8所述的保持装置，其特征在于，上述吸附部包括载置上述物体并真空吸附上述物体的吸附部件，在上述吸附部件设有分别与上述多个第1管路连接的多个吸附孔。14.如权利要求8所述的保持装置，其特征在于，上述吸附部包括分别载置上述物体并分别真空吸附上述物体的多个吸附部件，在上述多个吸附部件分别设有与上述多个第1管路之中的至少一个管路连接的吸附孔。15.一种保持装置，该保持装置保持物体，其特征在于，上述保持装置具有：吸附部，该吸附部用于真空吸附上述物体；泵，该泵对与上述吸附部连接的多个第1管路进行排气并生成向上述吸附部供给的真空空气；多个电磁阀，该多个电磁阀设在上述吸附部与上述泵之间，通过分别开闭上述多个第1管路，控制由上述泵对上述多个第1管路的排气以及由上述泵对上述多个第1管路的排气的停止；
第2管路，该第2管路包括分别与上述多个第1管路连接的多个连接管路和汇集上述多个连接管路的汇集管路；控制阀，该控制阀设于上述汇集管路，通过开闭上述汇集管路，经由上述多个连接管路控制上述多个第1管路的大气释放；以及多个止回阀，该多个止回阀分别设于上述多个连接管路，抑制存在于上述多个第1管路之中的一个管路的上述真空空气经由上述第2管路流入上述多个第1管路之中的其他管路，上述多个电磁阀分别是包括3个以上孔口的电磁阀。16.如权利要求15所述的保持装置，其特征在于，上述保持装置还具有对上述多个电磁阀以及上述控制阀进行控制的控制部，在由上述吸附部真空吸附上述物体的场合，上述控制部控制上述多个电磁阀以及上述控制阀，以便打开上述多个第1管路并关闭上述汇集管路，在解除由上述吸附部对上述物体的真空吸附的场合，上述控制部控制上述多个电磁阀以及上述控制阀，以便关闭上述多个第1管路并打开上述汇集管路。17.如权利要求15所述的保持装置，其特征在于，上述吸附部包括载置上述物体并真空吸附上述物体的吸附部件，在上述吸附部件设有分别与上述多个第1管路连接的多个吸附孔。18.如权利要求15所述的保持装置，其特征在于，上述吸附部包括分别载置上述物体并分别真空吸附上述物体的多个吸附部件，在上述多个吸附部件分别设有与上述多个第1管路之中的至少一个管路连接的吸附孔。19.一种光刻装置，该光刻装置在基板上形成图案，其特征在于，上述光刻装置具有权利要求1所述的保持装置，该保持装置将上述基板作为物体来保持。20.如权利要求19所述的光刻装置，其特征在于，上述光刻装置具有将原版的图案向被上述保持装置保持的上述基板投影的投影光学系统。21.一种光刻装置，该光刻装置在基板上形成图案，其特征在于，上述光刻装置具有权利要求8所述的保持装置，该保持装置将上述基板作为物体来保持。22.一种光刻装置，该光刻装置在基板上形成图案，其特征在于，上述光刻装置具有权利要求15所述的保持装置，该保持装置将上述基板作为物体来保持。23.一种物品制造方法，其特征在于，上述物品制造方法具有：使用权利要求19所述的光刻装置在基板上形成图案的工序；对在上述工序中形成有上述图案的上述基板进行处理的工序；以及从经过处理的上述基板制造物品的工序。24.一种物品制造方法，其特征在于，上述物品制造方法具有：
使用权利要求21所述的光刻装置在基板上形成图案的工序；对在上述工序中形成有上述图案的上述基板进行处理的工序；以及从经过处理的上述基板制造物品的工序。25.一种物品制造方法，其特征在于，上述物品制造方法具有：使用权利要求22所述的光刻装置在基板上形成图案的工序；对在上述工序中形成有上述图案的上述基板进行处理的工序；以及从经过处理的上述基板制造物品的工序。

技术总结
本发明提供保持装置、光刻装置以及物品制造方法。保持装置保持物体，其特征在于，保持装置具有：吸附部，用于真空吸附物体；多个生成部，分别与连接于吸附部的多个第1管路对应地设置，生成经由多个第1管路向吸附部供给的真空空气；泵，经由分别与多个生成部连接的多个第2管路向多个生成部供给压缩空气；第3管路，包括分别与多个第2管路连接的多个连接管路和汇集多个连接管路的汇集管路；控制阀，设置于汇集管路，通过开闭汇集管路而经由多个连接管路控制多个第2管路的大气释放；以及多个止回阀，分别设置于多个连接管路，抑制存在于多个第2管路之中的一个管路的压缩空气经由第3管路流入多个第2管路之中的其他管路。路流入多个第2管路之中的其他管路。路流入多个第2管路之中的其他管路。


技术研发人员：铃木健士
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：2021.06.02
技术公布日：2021/12/7