一种磁控溅射双面镀膜生产线的制作方法

技术特征：
1.一种磁控溅射双面镀膜生产线，包括磁控溅射设备（1）；其特征是还包括安装在磁控溅射设备（1）两侧的供料装置（2）和往复装置（3）；所述供料装置（2）包含自动翻转机构（4）以及处于磁控溅射设备（1）两侧的输送机构（5）；所述输送机构（5）包含输送机架（51）、安装在输送机架（51）上的若干带座轴承（52）以及活动安装在带座轴承（52）上的传动杆（53），所述传动杆（53）一侧还安装有齿轮（54），所述齿轮（54）上连接有链条（55）；所述输送机架（51）上还安装有输送电机（56），所述输送电机（56）与齿轮（54）通过链条（55）传动连接；所述磁控溅射设备（1）一侧的输送机构（5）与往复装置（3）连接，另一侧的输送机构（5）与供料装置（2）连接；所述输送机架（51）上还安装有感应器（6）；所述往复装置（3）包含升降机构（31）和往复输送机构（32）；所述升降机构（31）包含升降机架（311）、安装在升降机架（311）上的升降气缸（312）以及滑动安装在升降机架（311）上且与升降气缸（312）连接的升降架（313）；所述升降机架（311）上设有若干导向槽（314），所述升降架（313）上设有与导向槽（314）相适配的导向块（315）；所述自动翻转机构（4）包含机架（41）、安装在机架（41）上的固定架（42）、安装在固定架（42）上的磁材固定板（43）、安装在机架（41）上且与固定架（42）传动连接的动力机构（7）、安装在固定架（42）上的夹紧机构（8）以及安装在机架（41）上且与动力机构（7）和夹紧机构（8）通过线路连接的plc控制箱（9）。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射双面镀膜生产线，其特征在于：所述往复输送机构（32）包含往复底架（321）；所述往复底架（321）和升降架（313）上均设有若干带座轴承（52），所述带座轴承（52）上活动安装有传动杆（53），传动杆（53）一端安装有齿轮（54），齿轮（54）上连接有链条（55），所述往复底架（321）上安装有与链条（55）传动连接的往复电机（322），升降架（313）上安装有与升降架（313）上链条（55）传动连接的升降电机（316）；所述升降架（313）和往复底架（321）上均设有感应器（6），所述升降架（313）上还设有行程开关（317）。3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射双面镀膜生产线，其特征在于：所述动力机构（7）包含安装在机架（41）上的电机（71）以及与电机（71）传动连接的减速机（72）；所述机架（41）两侧还设有轴承固定座（49），所述固定架（42）两侧设有固定杆（44），所述固定架（42）通过固定杆（44）和轴承固定座（49）的配合活动安装在机架（41）上，其中一侧的固定杆（44）与减速机（72）传动连接；所述固定架（42）上还设有若干支撑块（45）；所述夹紧机构（8）包含安装在固定架（42）上的若干组夹紧气缸（81），所述夹紧气缸（81）包含相反设置的上气缸（82）和下气缸（83）；所述上气缸（82）和下气缸（83）上分别设有上拉块（84）和下拉块（85）；所述上拉块（84）和下拉块（85）之间活动安装有两块磁材固定板（43）；所述磁材固定板（43）两侧还安装有挡块（46）。4.根据权利要求3所述的一种磁控溅射双面镀膜生产线，其特征在于：所述机架（41）上还设有若干感应器（6）和缓冲块（47），所述固定架（42）上设有与缓冲块（47）相对应的定位块（48）。

技术总结
本实用新型公开了一种磁控溅射双面镀膜生产线，包括磁控溅射设备；其特征是还包括安装在磁控溅射设备两侧的供料装置和往复装置；所述供料装置包含自动翻转机构以及处于磁控溅射设备两侧的输送机构。该实用新型通过供料装置以及往复装置的设置，通过输送机构对磁材进行自动输入输出，通过自动翻转机构对磁材进行自动翻转，通过升降机构对磁材固定板以及磁材上下转运，通过往复输送机构对磁材固定板以及磁材进行往复转运，自动化程度高，效率高，劳动强度低，节省人工劳动力且产品镀膜质量高。节省人工劳动力且产品镀膜质量高。节省人工劳动力且产品镀膜质量高。


技术研发人员：冷长志 李启炎
受保护的技术使用者：浙江云度新材料科技有限公司
技术研发日：2021.03.19
技术公布日：2021/12/3