一种晶体生长炉磁体装置升降机的制作方法

1.本实用新型涉及一种晶体生长炉磁体装置升降机。


背景技术：

2.单晶体生长炉采用直拉法，利用多晶硅在高温下转变为单晶硅的特性，生产出高纯度、高性能的单晶硅棒。在晶体生长过程中需要根据指令对磁体装置进行升降操作，现有的磁体装置升降机运行过程不平稳，容易导致晶体加工不充分而且现有的磁体装置升降机整体结构复杂，与磁体装置的连接不牢固，存在安全隐患。


技术实现要素：

3.为解决上述问题，本实用新型要解决的技术问题是提供一种运行平稳的晶体生长炉磁体装置升降机。
4.本实用新型晶体生长炉磁体装置升降机采用的技术方案: 其特征在于包括升降电机、与所述升降电机连接的第一转向箱、与所述第一转向箱连接的第一升降组合和第一联动轴组件、与所述第一联动轴组件连接的第二转向箱、与所述第二转向箱连接的第二升降组合，所述第一升降组合和所述第二升降组合平行设置，所述第一升降组合和所述第一联动轴组件垂直设置；
5.所述第一升降组合和所述第二升降组合均包括第一升降装置、第二升降装置、将所述第一升降装置和所述第二升降装置连接在一起的第二联动轴组件；
6.所述第一升降装置和所述第二升降装置均包括升降器外座、设在所述升降器外座内的丝杆升降机、套设在所述丝杆升降机上且用于磁体装置固定的支撑板组件，所述支撑板组件与所述第一联动轴组件呈45
°
设置。
7.所述支撑板组件包括支撑板、支撑板固定环和磁体装置定位调节组件，所述支撑板上设有用于套设在所述丝杆升降机上的支撑板套孔和用于磁体装置安装的装置安装口，所述支撑板固定环固定在所述支撑板上，所述支撑板固定环上设有与所述丝杆升降机相对应的紧固螺钉。
8.所述磁体装置定位调节组件包括固定块、用于调节磁体装置的调节块和第一螺钉，所述固定块上设有第一让位口，所述支撑板上设有第二让位口，所述调节块置于所述第一让位口和所述第二让位口内，所述调节块通过所述第一螺钉固定在所述固定块上。
9.所述第一联动轴组件和所述第二联动轴组件均包括万向节联动轴和罩设在所述万向节联动轴上的防尘罩。
10.本实用新型晶体生长炉磁体装置升降机的优点在于：晶体生长炉磁体装置的升降平稳精准，连接稳定可靠、结构紧凑、使用寿命长；与磁体装置连接牢固紧密、定位准确、灵活可调。
附图说明
11.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
12.图1是本实用新型晶体生长炉磁体装置升降机的结构示意图；
13.图2是本实用新型第一升降组合的结构示意图；
14.图3是本实用新型第一升降装置的结构示意图；
15.图4是本实用新型支撑板组件的结构示意图；
16.图5是本实用新型支撑板的结构示意图；
17.图6是本实用新型磁体装置定位调节组件的结构示意图；
18.图7是本实用新型第一联动轴组件的结构示意图。
具体实施方式
19.如图1
‑
7所示，本实用新型涉及的晶体生长炉磁体装置升降机，包括升降电机1、与所述升降电机1连接的第一转向箱2、与所述第一转向箱2连接的第一升降组合5和第一联动轴组件4、与所述第一联动轴组件4连接的第二转向箱3、与所述第二转向箱3连接的第二升降组合6，所述第一升降组合5和所述第二升降组合6平行设置，所述第一升降组合5和所述第一联动轴组件4垂直设置；所述第一升降组合5和所述第二升降组合6均包括第一升降装置7、第二升降装置8、将所述第一升降装置7和所述第二升降装置8连接在一起的第二联动轴组件9；所述第一升降装置7和所述第二升降装置8均包括升降器外座11、设在所述升降器外座11内的丝杆升降机12、套设在所述丝杆升降机12上且用于磁体装置固定的支撑板组件13，所述支撑板组件13与所述第一联动轴组件4呈45
°
设置，该结构设计使得晶体生长炉磁体装置的升降平稳精准，连接稳定可靠、结构紧凑、使用寿命长。
20.所述支撑板组件13包括支撑板15、支撑板固定环16和磁体装置定位调节组件17，所述支撑板15上设有用于套设在所述丝杆升降机12上的支撑板套孔19和用于磁体装置安装的装置安装口20，所述支撑板固定环16固定在所述支撑板15上，所述支撑板固定环16上设有与所述丝杆升降机12相对应的紧固螺钉18，连接牢固紧密、定位准确、不易脱落。
21.所述磁体装置定位调节组件17包括固定块23、用于调节磁体装置的调节块24和第一螺钉25，所述固定块23上设有第一让位口27，所述支撑板15上设有第二让位口28，所述调节块24置于所述第一让位口27和所述第二让位口28内，所述调节块24通过所述第一螺钉25固定在所述固定块23上，调节灵活。
22.所述第一联动轴组件4和所述第二联动轴组件9均包括万向节联动轴29和罩设在所述万向节联动轴29上的防尘罩30，防护效果好。
23.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种晶体生长炉磁体装置升降机，其特征在于：包括升降电机（1）、与所述升降电机（1）连接的第一转向箱（2）、与所述第一转向箱（2）连接的第一升降组合（5）和第一联动轴组件（4）、与所述第一联动轴组件（4）连接的第二转向箱（3）、与所述第二转向箱（3）连接的第二升降组合（6），所述第一升降组合（5）和所述第二升降组合（6）平行设置，所述第一升降组合（5）和所述第一联动轴组件（4）垂直设置；所述第一升降组合（5）和所述第二升降组合（6）均包括第一升降装置（7）、第二升降装置（8）、将所述第一升降装置（7）和所述第二升降装置（8）连接在一起的第二联动轴组件（9）；所述第一升降装置（7）和所述第二升降装置（8）均包括升降器外座（11）、设在所述升降器外座（11）内的丝杆升降机（12）、套设在所述丝杆升降机（12）上且用于磁体装置固定的支撑板组件（13），所述支撑板组件（13）与所述第一联动轴组件（4）呈45
°
设置。2.根据权利要求1所述的晶体生长炉磁体装置升降机，其特征在于：所述支撑板组件（13）包括支撑板（15）、支撑板固定环（16）和磁体装置定位调节组件（17），所述支撑板（15）上设有用于套设在所述丝杆升降机（12）上的支撑板套孔（19）和用于磁体装置安装的装置安装口（20），所述支撑板固定环（16）固定在所述支撑板（15）上，所述支撑板固定环（16）上设有与所述丝杆升降机（12）相对应的紧固螺钉（18）。3.根据权利要求2所述的晶体生长炉磁体装置升降机，其特征在于：所述磁体装置定位调节组件（17）包括固定块（23）、用于调节磁体装置的调节块（24）和第一螺钉（25），所述固定块（23）上设有第一让位口（27），所述支撑板（15）上设有第二让位口（28），所述调节块（24）置于所述第一让位口（27）和所述第二让位口（28）内，所述调节块（24）通过所述第一螺钉（25）固定在所述固定块（23）上。4.根据权利要求1所述的晶体生长炉磁体装置升降机，其特征在于：所述第一联动轴组件（4）和所述第二联动轴组件（9）均包括万向节联动轴（29）和罩设在所述万向节联动轴（29）上的防尘罩（30）。

技术总结
本实用新型涉及一种晶体生长炉磁体装置升降机。本实用新型要解决的技术问题是提供一种运行平稳的晶体生长炉磁体装置升降机。本实用新型采用的技术方案:包括升降电机、第一转向箱、第一升降组合和第一联动轴组件、第二转向箱、第二升降组合，第一升降组合和第二升降组合平行设置，第一升降组合和所述第一联动轴组件垂直设置；第一升降组合和第二升降组合均包括第一升降装置、第二升降装置、第二联动轴组件；所述第一升降装置和所述第二升降装置均包括升降器外座、丝杆升降机、套支撑板组件。本实用新型的优点在于：晶体生长炉磁体装置的升降平稳精准，连接稳定可靠、结构紧凑、使用寿命长；与磁体装置连接牢固紧密、定位准确、灵活可调。调。调。


技术研发人员：周云龙 吴凌锋
受保护的技术使用者：浙江晶泰半导体有限公司
技术研发日：2021.06.28
技术公布日：2021/12/3