具有活性有机膜的改良的顶部发光装置和处理基板的方法与流程

技术特征：
1.一种在基板上制造有机层堆叠的方法，包括：在所述基板上方沉积一个或多个有机层的有机层堆叠；使具有所述一个或多个有机层的有机层堆叠的所述基板暴露于在所述有机层堆叠上方产生保护部件的材料；和在具有所述保护部件的所述有机层堆叠上方沉积透明的导电电极。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述透明的导电电极包括透明的导电氧化物。3.根据权利要求2所述的方法，其中所述透明的导电氧化物选自由氧化铟锡、izo(in
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zn
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o)、zno:x和sno:x组成的组。4.根据权利要求3所述的方法，其中所述透明的导电氧化物是氧化铟锡。5.根据权利要求1到4中任一项所述的方法，其中所述透明的导电电极被用pvd工艺沉积，尤其是被溅射在所述有机层堆叠上方。6.根据权利要求1到5中任一项所述的方法，其中所述保护部件是被沉积在所述有机层堆叠上方的保护材料。7.根据权利要求6所述的方法，其中所述保护材料具有10nm或更低，尤其是5nm或更低，更尤其是2nm或更低的材料厚度。8.根据权利要求6到7中任一项所述的方法，其中所述保护材料不完全覆盖所述有机层堆叠的面积。9.根据权利要求6到8中任一项所述的方法，其中所述保护材料选自由以下组成的组：cr、cr合金、nicr、zr、hf、ti、in、ag、、al、in、insn、inzn、ga、gazn、ti、nb、mn、碱金属(li、na、k、cs)、碱土金属(mg、ca、sr、ba)、sc、y、la和镧系元素(ce、nd、sm、eu、dy)和所述以上材料的合金、来自所述以上材料的低化学计量的氧化物，和低化学计量的氟化物或氟化物。10.根据权利要求9所述的方法，其中所述保护材料是nicr。11.根据权利要求1到5中任一项所述的方法，其中所述保护部件是金属合金的保护层。12.根据权利要求11所述的方法，其中所述保护层在所述保护层的沉积之后被氧化。13.根据权利要求11到12中任一项所述的方法，其中所述保护层具有5nm或更大的层厚度。14.根据权利要求11到13中任一项所述的方法，其中所述保护层包括至少一种第一化学元素并且其中所述透明的导电电极包括至少所述第一化学元素，尤其是其中所述保护层的所述金属合金与形成所述透明的导电电极的透明的导电氧化物包括相同的元素。15.根据权利要求1到14中任一项所述的方法，进一步包括：在所述基板与所述有机层堆叠之间沉积反射层。16.根据权利要求1到15中任一项所述的方法，进一步包括：在所述有机层堆叠与所述透明的导电电极之间沉积另一导电电极。17.一种在大面积基板上制造顶部发光oled装置的方法，包括：在所述大面积基板上方沉积反射层；在所述反射层上方沉积一个或多个有机层的有机层堆叠；使具有所述一个或多个有机层的有机层堆叠的所述基板暴露于在所述有机层堆叠上方产生保护部件的材料；和在具有所述保护部件的所述有机层堆叠上方溅射透明的导电氧化物。
18.一种用于活性有机发光装置的层堆叠，包括：基板；具有一个或多个有机材料层的有机层堆叠；在所述有机层堆叠上方的保护部件；和在所述保护部件上方的透明的导电电极。19.根据权利要求18所述的层堆叠，进一步包括：在所述有机层堆叠与所述透明的导电电极之间的另一导电电极。

技术总结
描述在基板上制造有机层堆叠的方法。方法包括在基板上方沉积一个或多个有机层的有机层堆叠；使具有一个或多个有机层的有机层堆叠的基板暴露于在有机层堆叠上方产生保护部件的材料；和在具有保护部件的有机层堆叠上方沉积透明的导电电极。积透明的导电电极。积透明的导电电极。


技术研发人员：丹尼尔
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2019.04.29
技术公布日：2021/12/3