周缘部涂布装置及周缘部涂布方法与流程

技术特征：
1.一种周缘部涂布装置，具备：旋转保持部，保持衬底使衬底绕着衬底的中心轴旋转；涂布液供给部，在利用所述旋转保持部使衬底正在旋转的状态下，通过向衬底一面的周缘部供给涂布液，从而在衬底一面的除中央区域以外的周缘部形成涂布膜；及控制部，在利用所述涂布液供给部在衬底一面的周缘部形成涂布膜之后，控制所述旋转保持部反复进行预定次数2次以上的搅拌动作；且所述搅拌动作包括：使衬底加速而提高衬底的转速；在衬底加速之后，使衬底减速而减小衬底的转速；及在衬底减速之后，维持衬底的转速。2.根据权利要求1所述的周缘部涂布装置，其中所述预定次数是通过利用所述涂布液供给部形成在衬底一面的周缘部的涂布膜丧失流动性而使涂布膜干燥的次数。3.根据权利要求1或2所述的周缘部涂布装置，其中所述控制部在反复进行2次以上的所述搅拌动作中的最后搅拌动作中，以省略执行维持衬底转速这一步的方式控制所述旋转保持部。4.根据权利要求1至3中任一项所述的周缘部涂布装置，其中所述控制部在各搅拌动作中，以衬底的旋转加速度的绝对值为衬底的旋转减速度的绝对值以上的方式控制所述旋转保持部。5.根据权利要求1至4中任一项所述的周缘部涂布装置，其中所述涂布液供给部包括喷出涂布液的涂布喷嘴，所述控制部是，在使所述涂布喷嘴向第1方向移动，以使得所述涂布喷嘴所喷出的涂布液的供给位置从衬底周缘部的外缘向内缘移动之后，再使所述涂布喷嘴向与所述第1方向相反的第2方向移动，以使得所述涂布喷嘴所喷出的涂布液的供给位置从衬底周缘部的内缘向外缘移动。6.根据权利要求5所述的周缘部涂布装置，其中所述控制部以向所述第2方向移动的速度大于向所述第1方向移动的速度的方式使所述涂布喷嘴移动。7.一种周缘部涂布方法，包括：利用旋转保持部保持衬底而使衬底绕着衬底的中心轴旋转的步骤；在利用所述旋转保持部使衬底正在旋转的状态下，通过利用涂布液供给部向衬底一面的周缘部供给涂布液，从而在衬底一面的除中央区域以外的周缘部形成涂布膜的步骤；及利用所述涂布液供给部在衬底一面的周缘部形成涂布膜之后，反复进行预定次数2次以上的利用所述旋转保持部的搅拌动作；且所述搅拌动作包括：使衬底加速而提高衬底的转速；在衬底加速之后，使衬底减速而减小衬底的转速；及在衬底减速之后，维持衬底的转速。8.根据权利要求7所述的周缘部涂布方法，其中所述预定次数是通过利用所述涂布液供给部形成在衬底一面的周缘部的涂布膜丧失流动性而使涂布膜干燥的次数。9.根据权利要求7或8所述的周缘部涂布方法，其中在反复进行2次以上的搅拌动作中的最后搅拌动作中，省略执行维持衬底转速这一步。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的周缘部涂布方法，其中在各搅拌动作中，衬底的旋转加速度的绝对值为衬底的旋转减速度的绝对值以上。11.根据权利要求7至10中任一项所述的周缘部涂布方法，其中形成所述涂布膜的步骤包括：在使所述涂布喷嘴向第1方向移动，以使得所述涂布液供给部的涂布喷嘴所喷出的涂布液的供给位置从衬底周缘部的外缘向内缘移动之后，再使所述涂布喷嘴向与所述第1方向相反的第2方向移动，以使得所述涂布喷嘴所喷出的涂布液的供给位置从衬底周缘部的内缘向外缘移动。12.根据权利要求11所述的周缘部涂布方法，其中所述涂布喷嘴向所述第2方向移动的速度大于所述涂布喷嘴向所述第1方向移动的速度。

技术总结
本发明涉及一种周缘部涂布装置及周缘部涂布方法。利用旋转保持部保持衬底而使衬底绕着衬底的中心轴旋转。在衬底正在旋转的状态下，通过利用涂布液供给部向衬底一面的周缘部供给涂布液，从而在衬底一面的除中央区域以外的周缘部形成涂布膜。当在衬底一面的周缘部形成涂布膜之后，反复进行预定次数2次以上的利用旋转保持部的搅拌动作。在各搅拌动作中，使衬底加速而提高衬底的转速。在衬底加速之后，使衬底减速而减小衬底的转速。在衬底减速之后，维持衬底的转速。维持衬底的转速。维持衬底的转速。


技术研发人员：马渕康史 后藤茂宏 松泰司 胡铃达
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2021.05.28
技术公布日：2021/12/3