一种覆盖常压到高真空的压力控制系统的制作方法

技术特征：
1.一种覆盖常压到高真空的压力控制系统，包括真空容器(1)，其特征在于，所述真空容器(1)设有真空规(7)、质量流量计(8)、真空阀门一(2)与真空阀门二(5)，所述真空阀门一(2)连接粗抽管道，粗抽管道通过开度调节阀(3)与粗抽泵(4)连接，所述真空阀门二(5)连接有高真空泵(6)，所述粗抽泵(4)可以同时作为高真空泵的前级泵；所述一种覆盖常压到高真空的压力控制系统包括以下步骤：s1:设置可承受1个大气压的外压，且没有明显的漏气点的真空容器(1)；s2:采用真空规(7)对容器内压力进行测量，真空规(7)是包括粗真空规和高真空规组成的全量程规；s3:采用真空泵对真空容器(1)进行抽气，真空泵包括粗抽泵(4)和高真空泵(6)，在常压到5pa范围采用粗抽泵(4)进行抽气；此时采用粗真空规对容器压力进行测量，优先选择电阻规或薄膜规；s4:利用开度调节阀(3)控制粗抽泵(4)的抽速，在目标压力附近关闭开度调节阀(3)到较小状态，并采用质量流量计(8)通入空气使压力平衡在目标值；s5:在5pa到1
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‑5pa压力范围采用高真空泵(6)进行抽气；s6:在5pa到1pa依然采用粗真空规进行测量，当压力低于1pa后切换到高真空规对容器压力进行测量，高真空规优先为热阴极电离规、冷阴极电离规或ba规，要求量程满足要求，采样频率优于2hz；s7:使用质量流量计(8)进行补气，进而调节抽气的速率和时间。2.根据权利要求1所述的一种覆盖常压到高真空的压力控制系统，其特征在于，所述s3中粗抽泵(4)抽气时间按下式计算：式中：t—抽气时间，s；s
p
：总的有效抽速，l/s；v：罐体的容积，l；p1：开始抽气时的压力，pa；p2：t时间后所达压力，pa；k：修正系数，105～104pa取1、104～103pa取1.25、103～102pa取1.5、102～10pa取2、10～1pa取4。3.根据权利要求1所述的一种覆盖常压到高真空的压力控制系统，其特征在于，所述真空规(7)包括粗真空规和高真空规，真空规(7)量程满足常压到1
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‑5pa，采样频率优于2hz。4.根据权利要求1所述的一种覆盖常压到高真空的压力控制系统，其特征在于，所述高真空泵(6)满足真空容器(1)的极限真空度优于1
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‑5pa。5.根据权利要求1所述的一种覆盖常压到高真空的压力控制系统，其特征在于，所述质量流量计(8)采用pid控制，根据不同压力下真空泵的抽速选用不同量程的质量流量计(8)并联,其选择原则是质量流量计(8)的最大进气流量高于目标压力下真空泵的抽速。

技术总结
本发明公开了一种覆盖常压到高真空的压力控制系统，包括真空容器，所述真空容器设有真空规、质量流量计、真空阀门一与真空阀门二，所述真空阀门一连接粗抽管道，粗抽管道通过开度调节阀与粗抽泵连接，所述真空阀门二连接有高真空泵，所述粗抽泵可以同时作为高真空泵的前级泵。本发明中，控压范围为常压到1


技术研发人员：白冰 龚洁 詹海洋 顾志飞 王宇 韩潇 王学章 张燚 何超
受保护的技术使用者：北京卫星环境工程研究所
技术研发日：2021.09.09
技术公布日：2021/12/3