基板传输方法及装置与流程

技术特征：
1.一种基板传输方法，其特征在于，包括：控制器确定基板传送台的基准和工件台的基准无偏差；所述基板传送台运动至传输承载台上的第一工位，且所述工件台运动至工件台吊框上的第二工位；所述控制器确定所述第一工位与第一交接工位无偏差，且所述第二工位与第二交接工位无偏差；基板传送组件吸附基板，且带动所述基板从所述基板传送台运动至所述工件台上的预设位置。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，控制器确定基板传送台的基准和工件台的基准无偏差包括：第一位移检测组件检测工件台吊框相对所述传输承载台上的第一参考点在第一方向上的第一位移，其中，所述第一方向平行于第一表面，所述第一表面为所述传输承载台邻近所述工件台吊框一侧的表面；第二位移检测组件检测工件台吊框上相对所述传输承载台上的第二参考点在所述第一方向上的第二位移，其中，所述第一参考点和所述第二参考点位于所述第一表面；第三位移检测组件检测所述工件台吊框相对所述传输承载台在第二方向上的第一位移，所述第二方向平行于第二平面，且垂直于所述第一方向，所述第二平面为所述传输承载台与所述第一表面相邻的表面，所述第二方向垂直于所述第一交接工位指向所述第二交接工位的方向；第四位移检测组件检测工件台吊框相对所述传输承载台在所述第二方向上的第二位移；所述第一方向上的第一位移小于或等于第一预设值，所述第一方向上的第二位移小于或等于所述第一预设值，所述第一方向上的第一位移与所述第一方向上的第二位移的差值小于或等于第二预设值，所述第二方向上的第一位移小于或等于所述第一预设值，且所述第二方向上的第二位移小于或等于所述第一预设值，所述控制器确定所述工件台的基准和所述基板传送台的基准无偏差。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制器确定所述第一工位与第一交接工位无偏差，且所述第二工位与第二交接工位无偏差包括：第一到位检测组件检测所述基板传送台上的第三参考点到所述第一交接工位处的第四参考点之间的第一距离；第二到位检测组件检测所述工件台上的第五参考点到所述第二交接工位处的六参考点之间的第二距离；第三到位检测组件检测固定在所述基板传送台上的板叉的前端到所述工件台上的第七参考点之间的第三距离；所述第一距离小于或等于第三预设值，所述第二距离小于或等于第四预设值，且所述第三距离小于或等于第五预设值，所述控制器确定所述第一工位与第一交接工位无偏差，且所述第二工位与第二交接工位无偏差，所述控制器的第五信号输入端与所述第一到位检测组件的信号输出端电连接，所述控制器的第六信号输入端与所述第二到位检测组件的信
号输出端电连接，所述控制器的第七信号输入端与所述第三到位检测组件的信号输出端电连接。4.根据权利要求1所述的基板传输方法，其特征在于，基板传送组件吸附基板，带动所述基板从所述基板传送台运动至所述工件台上的预设位置之前还包括：锁紧组件将所述基板传送台固定在所述传输承载台上，且将所述工件台固定在所述工件台吊框上。5.根据权利要求4所述的基板传输方法，其特征在于，锁紧组件将所述基板传送台固定在所述传输承载台上，且将所述工件台固定在所述工件台吊框上包括：第一锁紧部将所述基板传送台锁紧在传输承载台上的第一交接工位处；第二锁紧部的第一锁紧单元和第二锁紧单元将所述工件台锁紧在工件台吊框上的第二交接工位处。6.根据权利要求1所述的基板传输方法，其特征在于，基板传送组件吸附基板，带动所述基板从所述基板传送台运动至所述工件台上的预设位置包括：所述基板传送组件吸附基板，带动所述基板运动至所述基板传送台靠近所述工件台一侧；所述控制器确定传输气浮台的高度是安全高度；传输气浮台与所述基板传送台之间的垂直距离大于或等于预设距离；所述传输气浮台产生空气膜；所述空气膜将所述基板顶起，并将所述基板送至所述工件台上的预设位置。7.根据权利要求6所述的基板传输方法，其特征在于，所述控制器确定传输气浮台的高度是安全高度包括：距离检测组件检测传输气浮台与所述基板传送台之间的垂直距离；所述垂直距离大于或等于预设距离，所述控制器确定传输气浮台的高度是安全高度。8.一种基板传输装置，其特征在于，包括：基板传送台和工件台；传输承载台和工件台吊框；所述传输承载台位于所述工件台吊框的一侧，所述基板传送台位于所述传输承载上，与所述传输承载台滑动连接，能够运动至所述传输承载台上的第一工位，所述工件台位于所述工件台吊框上，与所述工件台吊框滑动连接，能够运动至所述工件台吊框上的第二工位；控制器，用于确定所述基板传送台的基准和所述工件台的基准无偏差以及确定所述第一工位与第一交接工位无偏差，且所述第二工位与第二交接工位无偏差；基板传送组件，设置于所述基板传送台上，用于吸附基板，且带动所述基板从所述基板传送台运动至所述工件台上的预设位置。9.根据权利要求8所述的基板传输装置，其特征在于，还包括第一位移检测组件，设置在所述传输承载台上的第一参考点，用于检测工件台吊框相对所述传输承载台在第一方向上的第一位移，其中，所述第一方向平行于第一表面，
所述第一表面为所述传输承载台邻近所述工件台吊框一侧的表面；第二位移检测组件，设置在所述传输承载台上的第二参考点，用于检测工件台吊框上相对所述传输承载台在所述第一方向上的第二位移，其中，所述第一参考点和所述第二参考点位于所述第一表面；第三位移检测组件，设置在所述传输承载台上的所述第一参考点，用于检测所述工件台吊框相对所述传输承载台在第二方向上的第一位移，所述第二方向平行于第二平面，且垂直于所述第一方向，所述第二平面为所述传输承载台与所述第一表面相邻的表面，所述第二方向垂直于所述第一交接工位指向所述第二交接工位的方向；第四位移检测组件，设置在所述传输承载台上的第二参考点，用于检测工件台吊框相对所述传输承载台在所述第二方向上的第二位移；所述控制器，用于所述第一方向上的第一位移小于或等于第一预设值，所述第一方向上的第二位移小于或等于所述第一预设值，所述第一方向上的第一位移与所述第一方向上的第二位移的差值小于或等于第二预设值，所述第二方向上的第一位移小于或等于所述第一预设值，所述第二方向上的第二位移小于或等于所述第一预设值，确定所述工件台的基准和所述基板传送台的基准无偏差，所述控制器的第一信号输入端与所述第一位移检测组件的信号输出端电连接，所述控制器的第二信号输入端与所述第二位移检测组件的信号输出端电连接，所述控制器的第三信号输入端与所述第三位移检测组件的信号输出端电连接，所述控制器的第四信号输入端与所述第四位移检测组件的信号输出端电连接。10.根据权利要求8所述的基板传输装置，其特征在于，还包括第一到位检测组件，设置在所述基板传送台上，用于检测所述基板传送台上的第三参考点到所述第一交接工位处的第四参考点之间的第一距离；第二到位检测组件，设置在所述工件台上，用于检测所述工件台上的第五参考点到所述第二交接工位处的六参考点之间的第二距离；第三到位检测组件，设置在所述工件台上的第七参考点，用于检测固定在所述基板传送台上的板叉的前端到所述工件台上的第七参考点之间的第三距离；所述控制器，用于所述第一距离小于或等于第三预设值，所述第二距离小于或等于第四预设值，且所述第三距离小于或等于第五预设值，确定所述第一工位与第一交接工位无偏差，且所述第二工位与第二交接工位无偏差，所述控制器的第五信号输入端与所述第一到位检测组件的信号输出端电连接，所述控制器的第六信号输入端与所述第二到位检测组件的信号输出端电连接，所述控制器的第七信号输入端与所述第三到位检测组件的信号输出端电连接。11.根据权利要求8所述的基板传输装置，其特征在于，还包括锁紧组件，用于将所述基板传送台固定在所述传输承载台上，且将所述工件台固定在所述工件台吊框上。12.根据权利要求11所述的基板传输装置，其特征在于，所述锁紧组件包括第一锁紧部和第二锁紧部；所述第一锁紧部设置于所述传输承载台上，用于将所述基板传送台锁紧在所述传输承载台上的第一交接工位处；所述第二锁紧部包括第一锁紧单元和第二锁紧单元，所述第一锁紧单元设置于所述工
件台吊框上，所述第二锁紧单元设置于所述工件台上，所述第一锁紧单元和所述第二锁紧单元，用于将所述工件台锁紧在所述工件台吊框上的第二交接工位处。13.根据权利要求8所述的基板传输装置，其特征在于，所述基板传输装置还包括传输气浮台，所述传输气浮台用于产生空气膜；所述空气膜用于将所述基板顶起，并将所述基板送至所述工件台上的预设位置。14.根据权利要求13所述的基板传输装置，其特征在于，还包括距离检测组件，设置在所述基板传送台上，用于检测传输气浮台与所述基板传送台之间的垂直距离；所述控制器的第八信号输入端与所述距离检测组件的输出端电连接，用于所述垂直距离大于或等于预设距离，确定传输气浮台的高度是安全高度。

技术总结
本发明公开了一种基板传输方法以及基板传输装置，该方法包括：控制器确定基板传送台的基准和工件台的基准无偏差；基板传送台运动至传输承载台上的第一工位，且工件台运动至工件台吊框上的第二工位；控制器确定第一工位与第一交接工位无偏差，且第二工位与第二交接工位无偏差；基板传送组件吸附基板，且带动基板从基板传送台运动至工件台上的预设位置。本发明实施例提供的述技术方案，降低了基板从基板传送台运动至工件台的过程中的安全传输风险。传送台运动至工件台的过程中的安全传输风险。传送台运动至工件台的过程中的安全传输风险。


技术研发人员：崔佳明 吴福龙
受保护的技术使用者：上海微电子装备(集团)股份有限公司
技术研发日：2020.05.29
技术公布日：2021/12/3