一种微细绝缘式热电偶包装结构及包装工艺的制作方法

1.本发明涉及刻蚀机用热电偶包装技术领域,具体涉及一种微细绝缘式热电偶包装结构及包装工艺。


背景技术：

2.半导体芯片制造过程中，晶圆加热基座的温度测量非常重要,随着射频工艺的加入,温度的迅速反馈是确定加热功率和冷却功率的关键因素,现有方案都是采用绝缘式铠装热电偶测量晶圆加热基座的实时温度,由于绝缘式铠装热电偶的热响应时间与外径有关,为了更快的热响应速度,在要求极高的环境会使用价格昂贵的套管外径0.2mm～0.5mm的多支装微细绝缘式铠装热电偶，因微细绝缘式热电偶本身强度低，在运输过程中容易损坏。
3.目前绝缘式铠装热电偶大多采用塑料包装，塑料包装内有环形槽，将绝缘式铠装热电偶绕圈后放入环形槽中，然后用海绵等减震材料进行包裹，此种包装并不合理，局部受力太大或固定不良，很容易造成密封焊接位置局部断裂导致绝缘下降，同时检测需要完全拆开包装，重新包装时也易断裂，无法判定责任方，容易导致客户遭受巨大的损失，迫切需要开发一种安全的微细绝缘式热电偶的包装工艺，保证运输安全和方便的检测热电偶是否处于正常状态；包装工艺，目前针对微细绝缘式热电偶的包装工艺几乎没有，仅是简单抽真空，而微细绝缘式热电偶应用于半导体工艺时，若时微尘颗粒过多会影响半导体的真空制作环境，而且微尘颗粒会向半导体表面迁徙，因此在运输过程中的防尘性也很重要。


技术实现要素：

4.本发明目的是提供一种微细绝缘式热电偶包装结构及包装工艺，能够很好地固定微细绝缘式热电偶，防止微细绝缘式热电偶在运输过程中断裂，并且不拆封就能检测微细绝缘式热电偶的电气性能，便于顾客验收，包装工艺则能够提升整个包装结构的密封性。
5.为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本发明所采用的技术方案是：一种微细绝缘式热电偶包装结构，包括塑料内包装盒，所述塑料内包装盒中设有微细绝缘式热电偶，所述微细绝缘式热电偶包括偶丝、套设在偶丝上的套管、测温头、固定部，还包括设在塑料内包装盒中的支撑板、多个第一柔性固定件、第二柔性固定件，所述塑料内包装盒上设有透明上盖，所述塑料内包装盒的内壁上设有电气性能检测仪，所述塑料内包装盒的侧面设有操作部，所述微细绝缘式热电偶呈波浪形设在塑料内包装盒中，所述第一柔性固定件用于固定套管，所述第一柔性固定件与支撑板固定连接，所述第二柔性固定件与测温头固定连接，所述热电偶本体的一端与电气性能检测仪相连，所述支撑板上设有容纳固定部的凹槽，所述凹槽中设有阻挡部，所述塑料内包装盒采用硬质塑料。
6.作为优选的技术方案：所述第一柔性固定件为圆形柔性固定件，所述圆形柔性固定件由两个圆形柔性固定片组成。
7.作为优选的技术方案：所述第二柔性固定件为u型柔性固定件，所述u型柔性固定
件夹住测温头。
8.作为优选的技术方案：所述阻挡部由两个竖直的方形挡块组成，两个所述挡块间隔设置，所述测温头从两个挡块的中间穿过，所述固定部与挡块固定连接。
9.作为优选的技术方案：所述u型柔性固定件上设有固定杆。
10.作为优选的技术方案：所述挡块上设有固定杆。
11.作为优选的技术方案：所述塑料内包装盒上还套设有外包装箱，所述外包装箱上设有观察口，所述外包装箱的四周设有用于打开和关闭外包装箱的盖板。
12.作为优选的技术方案：所述外包装箱的底端设有保护支架，所述保护支架包括保护支架本体，所述保护支架本体为矩形框架结构，所述保护支架本体上设有加强筋。
13.本发明还提供一种微细绝缘式热电偶包装工艺，使用了权利要求6所述的微细绝缘式热电偶的包装结构，包括以下步骤：
14.s1：在千级无尘室将加工好的微细绝缘式热电偶放入塑料内包装盒，将固定部嵌设在凹槽中，并通过阻挡部压紧，将热电偶本体一端与电气性能检测仪1
‑
3连接，使用第二柔性固定件1
‑
7将测温头固定，使用圆形柔性固定件1
‑
4将热电偶本体固定成波浪形，检测微细绝缘式热电偶的电气性能，没有问题后，盖好透明上盖1
‑
2，使用尼龙袋将塑料内包装盒抽真空进行第一层密封；
15.s2：在s1结束后，在万级无尘室使用尼龙袋将s1得到的塑料内包装盒抽真空，进行第二层密封，装入外包装箱中，外包装箱上的观察口要对准电气性能检测仪，再将保护支架安装在外包装箱的底部，再次检测微细绝缘式热电偶的电气性能，没有问题后发货。
16.本发明的有益效果是：一种微细绝缘式热电偶包装结构及包装工艺，与传统方案相比：
17.1)通过多个第一柔性固定件将微细绝缘式热电偶固定成波浪形，取代绕圈的方式，防止过度弯曲而损坏，再利用第二柔性固定件保护测温头，第一柔性固定件和第二柔性固定件还具有减振的作用，支撑板的凹槽用于容纳微细绝缘式热电偶上的固定部，并采用阻挡部对固定部进行固定，此包装结构固定效果好，能够很好地保护微细绝缘式热电偶；电气性能检测仪还能对微细绝缘式热电偶进行电气性能检测，通过操作块进行操作，无需打开塑料内包装盒即可完成检测，设置的透明上盖也能观察微细绝缘式热电偶的状态；
18.2)优选的，第一柔性固定件为圆形柔性固定件，且圆形柔性固定件由两个圆形柔性固定片组成，由于微细绝缘式热电偶柔软，会弯曲，因此圆形柔性固定片的固定范围更大，更适合柔软的微细绝缘式热电偶；第二柔性固定件为u型柔性固定件，结构简单，固定效果好；
19.3)优选的，外包装箱上设有观察口，可以在观察口处在操作块上操作，检测微细绝缘式热电偶的电气性能；
20.4)优选的，保护支架能够进一步保护外包装箱，有减振的效果；
21.5)包装工艺采用两层真空密封提升防尘性和密封性。
附图说明
22.图1为塑料内包装盒的结构图；
23.图2为塑料内包装盒的三维图；
24.图3为图2中局部a的放大图；
25.图4为外包装箱的三维图；
26.图5为保护支架的三维图；
27.图6为实施例结构图。
28.在图1
‑
6中，1、塑料内包装盒；1
‑
1、第一柔性固定件；1
‑
2、透明上盖；1
‑
3、电气性能检测仪；1
‑
4、第二柔性固定件；1
‑
5、支撑板；1
‑
51、凹槽；1
‑
6、阻挡部；1
‑
61、挡块；2、外包装箱；2
‑
1、盖板；2
‑
2、观察口；3、保护支架；3
‑
1、保护支架本体；3
‑
2、加强筋；4、微细绝缘式热电偶；4
‑
1、套管；4
‑
2、固定部；5、固定杆。
具体实施方式
29.下面结合附图对本发明进一步描述。
30.本发明实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本发明的描述中，需要理解的是，若出现术语“顶”、“底”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
31.请参照图1
‑
6，本发明提供一种微细绝缘式热电偶包装结构，包括塑料内包装盒1，所述塑料内包装盒1中设有微细绝缘式热电偶4，所述微细绝缘式热电偶4包括偶丝、套设在偶丝上的套管4
‑
1、测温头、固定部4
‑
2，还包括设在塑料内包装盒1中的支撑板1
‑
5、多个第一柔性固定件1
‑
1、第二柔性固定件1
‑
4，所述塑料内包装盒1上设有透明上盖1
‑
2，所述塑料内包装盒1的内壁上设有电气性能检测仪1
‑
3，所述塑料内包装盒1的侧面设有操作块，所述微细绝缘式热电偶4呈波浪形设在塑料内包装盒1中，所述第一柔性固定件1
‑
1用于固定套管4
‑
1，所述第一柔性固定件1
‑
1与支撑板1
‑
5固定连接，所述第二柔性固定件1
‑
4与测温头固定连接，所述热电偶本体的一端与电气性能检测仪1
‑
3相连，所述支撑板1
‑
5上设有容纳固定部4
‑
2的凹槽1
‑
51，所述凹槽1
‑
51中设有阻挡部1
‑
6，所述塑料内包装盒1采用硬质塑料；微细绝缘式热电偶4主要部件为偶丝，偶丝上套设套管4
‑
1，套管4
‑
1的外径在0.2mm～0.5mm，非常容易折断，半导体工艺中所用的微细绝缘式热电偶4一般有四根偶丝，每根偶丝上套设套管4
‑
1，然后四根套管4
‑
1通过固定部4
‑
2固定，外径很小的套管4
‑
1很难固定，通过多个第一柔性固定件1
‑
1将套管4
‑
1固定成波浪形，使得整体有一定的缓冲，又不会过度弯折损坏微细绝缘式热电偶4，第一柔性固定件1
‑
1比较柔软，不会磨损套管4
‑
1，测温头采用第二柔性固定件1
‑
4进行固定；设置支撑板1
‑
5对第一柔性固定件1
‑
1、第二柔性固定件1
‑
4、阻挡部1
‑
6、固定连接、微细绝缘式热电偶4进行支撑；固定部4
‑
2作用是将微细绝缘式热电偶4固定在其他装置上，采用阻挡部1
‑
6和凹槽配合能够对固定部4
‑
2进行限位，并将固定部4
‑
2安装到阻挡部1
‑
6上进行固定，这样微细绝缘式热电偶4就能很好的固定在塑料内包装盒1中，进一步的，塑料内包装盒1的材料采用亚克力。
32.如图1
‑
6所示，所述第一柔性固定件1
‑
1为圆形柔性固定件，所述圆形柔性固定件由两个圆形柔性固定片组成，具体安装方式为：将其中两根套管4
‑
1设在两个圆形柔性固定片之间，另外两根套管4
‑
1设在圆形柔性固定片之间，圆形柔性固定片通过螺栓、螺钉等紧
固方式与支撑板1
‑
5连接，固定效果好，结构简单，易于安装和拆卸；第二柔性固定件1
‑
4为u型柔性固定件，通过u型柔性固定件夹住测温头，从而形成固定，也不会磨损测温头；进一步的，圆形柔性固定片和u型柔性固定件由pe膜切割而成，pe膜柔软，不会磨损套管4
‑
1，能够很好地与微细的物件贴合，不易破损。
33.如图1
‑
6所示，所述阻挡部1
‑
6由两个竖直的方形挡块1
‑
61组成，两个所述挡块1
‑
61间隔设置，所述测温头从两个挡块1
‑
61的中间穿过，所述固定部4
‑
2与挡块1
‑
61固定连接，结构简单，能够很好地对固定部4
‑
2进行固定。
34.如图1
‑
6所示，所述u型柔性固定件上设有固定杆5，所述挡块1
‑
61上设有固定杆5，固定杆5与支撑板1
‑
5连接，固定效果好，易于安装和拆卸。
35.如图1
‑
6所示，所述塑料内包装盒1上还套设有外包装箱2，所述外包装箱2上设有观察口2
‑
2，所述外包装箱2的上端四周设有用于打开和关闭外包装箱2的盖板2
‑
1。
36.如图1
‑
6所示，所述外包装箱2的底端设有保护支架3，所述保护支架3包括保护支架本体3
‑
1，所述保护支架本体3
‑
1为矩形框架结构，所述保护支架本体3
‑
1上设有加强筋3
‑
2，加强筋3
‑
2形成矩形结构，保护支架3由木头制成。
37.本发明还提供一种微细绝缘式热电偶包装工艺，使用了包装结构，包装结构中包括外包装箱2和保护支架3，包括以下步骤：
38.s1：在千级无尘室将加工好的微细绝缘式热电偶4放入塑料内包装盒1，将固定部4
‑
2嵌设在凹槽中，并通过阻挡部1
‑
6压紧，将热电偶本体一端与电气性能检测仪1
‑
3连接，使用第二柔性固定件1
‑
4将测温头固定，使用圆形柔性固定件将热电偶本体固定成波浪形，检测微细绝缘式热电偶4的电气性能，没有问题后，盖好透明上盖1
‑
2，使用尼龙袋将塑料内包装盒1抽真空，进行第一层密封；
39.s2：在s1结束后，在万级无尘室使用尼龙袋将s1得到的塑料内包装盒1抽真空，进行第二层密封，装入外包装箱2中，外包装箱2上的观察口2
‑
2要对准电气性能检测仪1
‑
3，再将保护支架3安装在外包装箱2的底部，再次检测微细绝缘式热电偶4的电气性能，没有问题后发货。
40.半导体工艺用的微细绝缘式热电偶4对防尘性要求较高，为了确保在运输过程中有较好的防尘性，因此，使用尼龙袋抽真空进行两层密封，可以明显提高运输过程中包装结构的防尘性，由于采用了两层密封，这时设在塑料内包装盒1内的电气性能检测仪1
‑
3就能发挥作用，通过外包装箱2的观察口2
‑
2能够清楚观察到电气性能检测仪1
‑
3的检测结果，从而不用拆开外包装箱2就能知道微细绝缘式热电偶4的电气性能是否正常，简单实用，便于顾客进行验收，如果在运输过程中受到极大的冲击，从而导致微细绝缘式热电偶4电气性能不正常，则可以退回维修，维修人员打开外包装箱2，能够看清塑料内包装盒1内的微细绝缘式热电偶4的状态，是否有断裂，第一柔性固定件1
‑
1、第二柔性固定件1
‑
4、阻挡部1
‑
6是否有脱落；整个过程简单易操作，不用拿出微细绝缘式热电偶4进行检测，极大地提高了顾客的验收效率，并且密封性极佳。
41.实施例
42.请参照图1
‑
6，一种微细绝缘式热电偶4的包装结构，包括塑料内包装盒1，塑料内包装盒1中设有微细绝缘式热电偶4，微细绝缘式热电偶4包括偶丝、套设在偶丝上的套管4
‑
1、测温头、固定部4
‑
2，还包括设在塑料内包装盒1中的支撑板1
‑
5、多个第一柔性固定件1
‑
1、第二柔性固定件1
‑
4，塑料内包装盒1上设有透明上盖1
‑
2，塑料内包装盒1的内壁上粘接有电气性能检测仪1
‑
3，塑料内包装盒1的侧面设有操作块，微细绝缘式热电偶4呈波浪形设在塑料内包装盒1中，第一柔性固定件1
‑
1用于固定套管4
‑
1，第一柔性固定件1
‑
1与支撑板1
‑
5固定连接，第二柔性固定件1
‑
4与测温头固定连接，热电偶本体的一端与电气性能检测仪1
‑
3相连，支撑板1
‑
5上设有容纳固定部4
‑
2的凹槽，凹槽中设有阻挡部1
‑
6，塑料内包装盒1采用亚克力，透明上盖1
‑
2菜用pc板。
43.第一柔性固定件1
‑
1为圆形柔性固定件，圆形柔性固定件由两个圆形柔性固定片组成，圆形固定片通过螺栓与支撑板1
‑
5连接，第二柔性固定件1
‑
4为u型柔性固定件，u型固定件夹住测温头，圆形柔性固定件与u型固定件采用pe膜。
44.阻挡部1
‑
6由两个竖直的方形挡块1
‑
61组成，两个挡块1
‑
61间隔设置，测温头从两个挡块1
‑
61的中间穿过，固定部4
‑
2与挡块1
‑
61固定连接。
45.u型固定件上设有固定杆5，挡块1
‑
61上设有固定杆5，u型固定件和挡块1
‑
61通过固定杆5与支撑板1
‑
5固定连接。
46.塑料内包装盒1上还套设有外包装箱2，外包装箱2上设有观察口2
‑
2，外包装箱2的四周设有用于打开和关闭外包装箱2的盖板2
‑
1。
47.外包装箱2的底端设有保护支架3，保护支架3包括保护支架本体3
‑
1，保护支架本体3
‑
1为矩形框架结构，保护支架本体3
‑
1上设有加强筋3
‑
2，保护支架3由若干根木头制成，采用木工钉连接成型。
48.一种微细绝缘式热电偶包装工艺，使用了上述实施例中的微细绝缘式热电偶包装结构，包括以下步骤：
49.s1：在千级无尘室将加工好的微细绝缘式热电偶4放入塑料内包装盒1，将固定部4
‑
2嵌设在凹槽中，并通过阻挡部1
‑
6压紧，将偶丝的一端与电气性能检测仪1
‑
3连接，使用u型柔性固定件将测温头固定，使用圆形柔性固定件将热电偶本体固定成波浪形，检测微细绝缘式热电偶4的电气性能，没有问题后，盖好透明上盖1
‑
2，使用尼龙袋将塑料内包装盒1抽真空进行第一层密封；
50.s2：在s1结束后，在万级无尘室使用尼龙袋将s1得到的塑料内包装盒1抽真空，进行第二层密封，装入外包装箱2中，外包装箱2上的观察口2
‑
2要对准电气性能检测仪1
‑
3，再将保护支架3安装在外包装箱2的底部，再次检测微细绝缘式热电偶4的电气性能，没有问题后发货。
51.在实际生产中，对顾客进行回访调查，采用实施例中的包装结构和包装工艺将微细绝缘式热电偶4包装好，并运输至各地区顾客，达到指地点后，电气性能正常率为100％，产品退货率为0。
52.上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的描述，而并非对实施方式的限定，对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举，而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。