带有等离子体屏蔽罩的等离子体设备的制作方法

1.本实用新型涉及材料表面处理改性领域，尤其涉及等离子体技术。


背景技术：

2.近年来，等离子体技术已经广泛应用于材料表面改性，三废处理，生物医疗等方面。不同等离子体成分决定了等离子体特性，不同特性的等离子体对被处理物质的作用也有极大的差别。在研究和应用的过程中，要消除某些粒子对处理目标的影响，得到特定气氛的等离子体,需要屏蔽其它气体的影响。目前，要达到屏蔽其它气体的影响，通常只能选择在真空腔获内获得等离子体的方式才能实现。
3.现有的真空腔等离子体发生装置虽然能实现屏蔽空气成分的目的，但对于某些生物实验来说，一方面，有些生物个体较大，需要定制大尺寸的真空设备，增加制作成本和操作难度，另一方面，某些生物在没有氧气的真空腔内无法生存，无法实现活体生物处理，给相关实验及应用造成了极大的困难。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的主要技术问题是提供带有等离子体设备，带有等离子体屏蔽罩。
5.为了解决上述的技术问题，本实用新型提供了带有等离子体屏蔽罩的等离子体设备，包括等离子体发生器和等离子体屏蔽罩；
6.所述等离子发生器包括气体入口、电极阻挡介质、高压电极、外层保护罩和等离子体出口；所述电极阻挡介质沿着轴向的上端和下端分别连通所述气体入口和等离子体出口；所述高压电极沿着径向位于电极阻挡介质的侧壁外；所述外层保护罩沿着径向罩设在电极阻挡介质和高压电极外，并且所述外层保护罩沿着电极阻挡介质轴向的上端为开口面，下端设置有与等离子体出口对应的让位开口，以及沿着径向设置在让位开口外的环形封闭面；所述外层保护罩的外侧壁设置有与等离子体屏蔽罩连接的连接件；
7.所述等离子体屏蔽罩包括与所述连接件连接的连接配合件，以及屏蔽罩主体；所述屏蔽罩主体沿着电极阻挡介质轴向上，在不同的高度设置有第一窗口和第二窗口，用于测量等离子体参数的测量窗口或气体出口；所述屏蔽罩主体沿着电极阻挡介质轴向的下端与待处理目标接触。
8.在一较佳实施例中：所述气体入口的直径小于所述电极阻挡介质的直径。
9.在一较佳实施例中：所述高压电极沿着电极阻挡介质的轴向上下移动以改变放电区域的位置。
10.在一较佳实施例中：所述高压电极沿着电极阻挡介质的轴向宽度调节以改变放电区域的大小。
11.在一较佳实施例中：所述连接件和连接配合件为外螺纹与内螺纹。
12.在一较佳实施例中：调节所述内螺纹沿着电极阻挡介质的轴向延伸的高度，以改
变等离子体屏蔽罩的位置。
13.在一较佳实施例中：所述屏蔽罩主体为直筒型、倒漏斗型或向外扩张的喇叭口型。
14.在一较佳实施例中：还包括用于封闭所示第一窗口或第二窗口的塞子。
15.相较于现有技术，本实用新型的技术方案具备以下有益效果：
16.1.本实用新型提供了带有等离子体屏蔽罩的等离子体设备，通过等离子体屏蔽罩达到屏蔽其它气体的影响的目的，无需使用真空腔，也就无需将活动生物置于真空腔内，避免活体生物死亡，保证实验能够顺利进行。
17.2.本实用新型提供了带有等离子体屏蔽罩的等离子体设备，等离子体屏蔽罩的形状可以根据待处理目标的形状更改，设置有直筒型、倒漏斗型或向外扩张的喇叭口型供用户选择，并且等离子体屏蔽罩的拆装也比较简便，方便用户自行更换。
附图说明
18.图1为本实用新型优选实施例中等离子体发生器的示意图；
19.图2为本实用新型优选实施例中等离子体屏蔽罩的示意图；
20.图3为本实用新型优选实施例中带有等离子体屏蔽罩的等离子体设备的示意图。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
23.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是壁挂连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.本实施例提供了带有等离子体屏蔽罩的等离子体设备，主要包括等离子体发生器和等离子体屏蔽罩。
25.等离子体发生器如图1所示，包括气体入口100、电极阻挡介质200、高压电极400a、外层保护罩300和等离子体出口900；所述电极阻挡介质200沿着轴向的上端和下端分别连通所述气体入口100和等离子体出口900；所述高压电极400a沿着径向位于电极阻挡介质200的侧壁外；所述外层保护罩300沿着径向罩设在电极阻挡介质200和高压电极400a外，并且所述外层保护罩300沿着电极阻挡介质200轴向的上端为开口面，下端设置有与等离子体出口900对应的让位开口，以及沿着径向设置在让位开口外的环形封闭面；所述外层保护罩
300的外侧壁设置有与等离子体屏蔽罩连接的连接件；
26.优选地气体入口100采用圆筒状结构，与电极阻挡介质200贯通相连,将气体引入电极阻挡介质200内，电极阻挡介质200上下贯通的圆筒，下方是等离子体出口900。高压电极400a位于电极阻挡介质200的外部，高压电极400a可以选择不同的金属，且高压电极400a大小与位置均可调，可以实现根据需要改变放电区域大小的目的。外层保护罩300作为高压电极400a的外层保护罩300，下方与电极阻挡介质200的下方相连，上部开放，构成一个底部闭合的圆环，外层保护罩300的外侧设有外螺纹500a，外螺纹500a沿着电极阻挡介质200轴向的高度可根据需要来设定，实现调节等离子体屏蔽罩高低位置的目的。
27.等离子体屏蔽罩如图2所示，包括与所述外螺纹500a连接的连接配合件，以及屏蔽罩主体；本实施例中，连接配合件为内螺纹500b。所述屏蔽罩主体600沿着电极阻挡介质200轴向上，在不同的高度设置有第一窗口和第二窗口，用于测量等离子体参数的测量窗口或气体出口；所述屏蔽罩主体600沿着电极阻挡介质200轴向的下端与待处理目标接触。
28.屏蔽罩主体600根据实际使用需要可以设计成直筒型、倒漏斗型或向外扩张的喇叭口型，本实施例中优选为喇叭口型，屏蔽罩主体的外侧设有第一窗口700和第二窗口800，作为测量等离子体参数的测量窗口或气体出口，窗口的形状、位置和高低均可以根据需要自行调整，不用的时候可使用塞子封闭。屏蔽罩主体的下部分需要与处理目标完全接触以达到屏蔽环境气氛影响的目的。
29.上述的带有等离子体屏蔽罩的等离子体设备，通过等离子体屏蔽罩达到屏蔽其它气体的影响的目的，无需使用真空腔，也就无需将活动生物置于真空腔内，避免活体生物死亡，保证实验能够顺利进行。
30.并且等离子体屏蔽罩的形状可以根据待处理目标的形状更改，设置有直筒型、倒漏斗型或向外扩张的喇叭口型供用户选择，并且等离子体屏蔽罩的拆装也比较简便，方便用户自行更换。
31.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的设计构思并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动，均属于侵犯本实用新型保护范围的行为。