检测系统的制作方法

技术特征：
1.一种检测系统，其特征在于，用于检测工件，所述检测系统包括：安装装置；第一检测装置，所述第一检测装置安装于所述安装装置，所述第一检测装置对所述工件的待检测面进行成像以得到二维图像，并用于检测所述待检测面上的二维缺陷；及第二检测装置，所述第二检测装置安装于所述安装装置，所述第二检测装置对所述待检测面上的三维特征进行成像以得到三维图像，并用于检测所述待检测面上的三维缺陷。2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述第一检测装置与所述第二检测装置并列安装于所述安装装置，所述第一检测装置安装于所述第二检测装置的长、宽、高方向中，尺寸最小的方向的一侧。3.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述第一检测装置包括至少一个成像镜头，所述第二检测装置包括多个检测通道，多个所述检测通道的光轴相交处的高度，与所述成像镜头的焦平面所在的高度相同。4.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述第一检测装置包括：第一分光器，由所述工件反射或散射的光线由所述第一分光器分成第一光束及第二光束；第一成像组件，所述第一成像组件用于接收所述第一光束以进行成像；及第二成像组件，所述第二成像组件用于接收所述第二光束以进行成像。5.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述第一检测装置还包括物镜组，所述物镜组包括多个不同倍率的物镜，多个所述物镜用于择一地切换至所述第一检测装置的光路中，由所述工件反射或散射的光线穿过所述物镜后到达所述第一分光器。6.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述第二检测装置包括多个检测通道，多个所述检测通道以不同的倾斜角度设置，多个所述检测通道用于采集同一个三维特征的图像。7.根据权利要求6所述的检测系统，其特征在于，每个所述检测通道包括光源、分束器、成像镜头及探测器，所述光源发出的光线由所述分束器反射或透射至的所述工件，所述工件反射或散射的光线穿过所述分束器、及所述成像镜头后由所述探测器接收。8.根据权利要求1至7任意一项所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括承载装置，所述承载装置用于承载所述工件，并带动所述工件在预定平面内运动，所述安装装置用于带动所述第一检测装置及/或所述第二检测装置沿垂直于所述预定平面的方向运动。9.根据权利要求1至7任意一项所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括处理装置，所述处理装置与所述第一检测装置、所述第二检测装置通信连接；所述处理装置依据所述二维图像获取所述三维特征的位置信息，所述位置信息发送至所述第二检测装置，所述第二检测装置对准所述位置信息对应的位置时，对所述三维特征进行成像。10.根据权利要求1至7任意一项所述的检测系统，其特征在于，所述第一检测装置对准所述待检测面，且所述第二检测装置对准三维特征时，所述第一检测装置对所述待检测面进行成像，同时，所述第二检测装置对所述三维特征进行成像。

技术总结
本申请公开了一种检测系统。检测系统用于检测工件，检测系统包括安装装置、第一检测装置及第二检测装置，第一检测装置安装于安装装置，第一检测装置对工件的待检测面进行成像以得到二维图像，并用于检测待检测面上的二维缺陷；第二检测装置安装于安装装置，第二检测装置对待检测面上的三维特征进行成像以得到三维图像，并用于检测待检测面上的三维缺陷。同时设置第一检测装置及第二检测装置，可以较完整地对待检测面上各种类型的缺陷都进行检测，检测的效果较好，另外，在同一个检测系统中，就可以实现对二维缺陷和三维缺陷的检测，不需要将工件转移至其他的检测设备中再次进行缺陷检测，提高了检测的效率。提高了检测的效率。提高了检测的效率。


技术研发人员：陈鲁 董坤玲 范铎 杨楠 金建高 张鹏斌 张嵩
受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司
技术研发日：2021.06.02
技术公布日：2021/11/30