具有双作业线的基板贴合机台及其处理系统的制作方法

技术特征：
1.一种具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，包括：一第一贴合作业线，所述第一贴合作业线具有一第一输送装置及一第一吸附载盘；所述第一吸附载盘位于所述第一输送装置的前方，所述第一输送装置用以输送一第一载具；所述第一吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及一分歧装置，所述多个微漏型真空节流阀相对应地连接于所述多个吸取头，所述多个微漏型真空节流阀共同连通至所述分歧装置；所述第一载具能拆卸地置于所述第一吸附载盘上；一第二贴合作业线，所述第二贴合作业线具有一第二输送装置及一第二吸附载盘；所述第二吸附载盘位于所述第二输送装置的前方，所述第二输送装置用以输送一第二载具，所述第二吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及一分歧装置，所述多个微漏型真空节流阀相对应地连接于所述多个吸取头，所述多个微漏型真空节流阀共同连通至所述分歧装置；所述第二载具能拆卸地置于所述第二吸附载盘上；一子板送料机构，所述子板送料机构位于所述第一输送装置与所述第二输送装置之间，所述子板送料机构用以输送多个基板；至少一视觉辨识装置，所述至少一视觉辨识装置用以辨识每一所述基板的定位标志；一活动式吸附装置，所述活动式吸附装置吸附所述基板到所述至少一视觉辨识装置，然后移动所述基板到所述第一贴合作业线或所述第二贴合作业线；以及一往返输送机构，所述往返输送机构能选择地输送所述第一吸附载盘或所述第二吸附载盘进到一下游工艺机台，或者回到所述基板贴合机台。2.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，还包括一对纵向轨道及一横向轨道，所述横向轨道滑动地架设于所述一对纵向轨道上，所述活动式吸附装置滑动地架设于所述横向轨道上。3.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，还包括一上视觉装置，所述上视觉装置架设于所述活动式吸附装置。4.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，所述活动式吸附装置包括一基座、一对侧壁及一吸附座板，所述一对侧壁分别连接于所述基座的两端以及所述吸附座板的两端，从而形成一视觉辨识空间。5.如权利要求4所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，所附吸附座板具有至少两个辨识开口，所述至少两个辨识开口贯穿所述吸附座板且连通至所述视觉辨识空间，所述吸附座板的底面吸附所述基板，所述至少两个辨识开口呈对角线设置；所述活动式吸附装置吸附所述基板后，所述至少一视觉辨识装置由所述视觉辨识空间向下通过所述至少两个辨识开口辨识所述基板的定位标志。6.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，所述基板贴合机台具有两个视觉辨识装置，一个所述视觉辨识装置邻近所述第一输送装置，另一个所述视觉辨识装置邻近所述第二输送装置。7.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，所述往返输送机构具有一横向输送区及一纵向输送区，所述横向输送区横向地设于所述第一输送装置及所述第二输送装置的前方，所述纵向输送区位于所述第一贴合作业线与所述第二贴合作业线之间，且邻近所述下游工艺机台。8.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，所述微漏型真空节
流阀具有一外壳体、一容置套筒、一弹簧及一顶止球体，所述容置套筒设置于所述外壳体内，所述弹簧收容于所述容置套筒内，所述顶止球体设置于所述弹簧的一端并靠近所述外壳体的颈口。9.如权利要求1所述的具有双作业线的基板贴合机台，其特征在于，所述下游工艺机台为印刷机台。10.一种具有双作业线的基板处理系统，其特征在于，包括：一基板贴合机台及一印刷机台：所述基板贴合机台包括：一第一贴合作业线，所述第一贴合作业线具有一第一输送装置及一第一吸附载盘；所述第一吸附载盘位于所述第一输送装置的前方，所述第一输送装置用以输送一第一载具；所述第一吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及一分歧装置，所述多个微漏型真空节流阀相对应地连接于所述多个吸取头，所述多个微漏型真空节流阀共同连通至所述分歧装置；所述第一载具能拆卸地置于所述第一吸附载盘上；一第二贴合作业线，所述第二贴合作业线具有一第二输送装置及一第二吸附载盘；所述第二吸附载盘位于所述第二输送装置的前方，所述第二输送装置用以输送一第二载具，所述第二吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及一分歧装置，所述多个微漏型真空节流阀相对应地连接于所述多个吸取头，所述多个微漏型真空节流阀共同连通至所述分歧装置；所述第二载具能拆卸地置于所述第二吸附载盘上；一子板送料机构，所述子板送料机构位于所述第一输送装置与所述第二输送装置之间，所述子板送料机构用以输送多个基板；至少一视觉辨识装置，所述至少一视觉辨识装置用以辨识每一所述基板的定位标志；一活动式吸附装置，所述活动式吸附装置吸附所述基板到所述至少一视觉辨识装置，然后移动所述基板到所述第一贴合作业线或所述第二贴合作业线；以及一往返输送机构，所述往返输送机构能选择地输送所述第一吸附载盘或所述第二吸附载盘进到所述印刷机台，或者回到所述基板贴合机台。11.如权利要求10所述的具有双作业线的基板处理系统，其特征在于，所述活动式吸附装置包括一基座、一对侧壁及一吸附座板，所述一对侧壁分别连接于所述基座的两端以及所述吸附座板的两端，从而形成一视觉辨识空间；其中所附吸附座板具有至少两个辨识开口，所述吸附座板的底面形成多个吸附孔，所述至少两个辨识开口呈对角线设置；所述活动式吸附装置吸附所述基板后，所述至少一视觉辨识装置由所述视觉辨识空间向下通过所述至少两个辨识开口辨识所述基板的定位标志。12.如权利要求10所述的具有双作业线的基板处理系统，其特征在于，所述微漏型真空节流阀具有一外壳体、一容置套筒、一弹簧及一顶止球体，所述容置套筒设置于所述外壳体内，所述弹簧收容于所述容置套筒内，所述顶止球体设置于所述弹簧的一端并靠近所述外壳体的颈口。

技术总结
本发明公开了一种具有双作业线的基板贴合机台及其处理系统，具有双作业线的基板贴合机台包括两条贴合作业线、子板送料机构、至少一视觉辨识装置、活动式吸附装置及往返输送机构。每一贴合作业线具有一输送装置用以输送一载具及一吸附载盘。每一吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及分歧装置。子板送料机构位于两个输送装置之间，用以输送基板。活动式吸附装置吸附基板到视觉辨识装置，以辨识基板的定位标志，然后移动基板到贴合作业线。往返输送机构能选择地输送吸附载盘进到下游工艺机台，或者回到基板贴合机台。或者回到基板贴合机台。或者回到基板贴合机台。


技术研发人员：黄俊荣 高立群 杨瑞棋
受保护的技术使用者：鸿骐新技股份有限公司
技术研发日：2020.05.21
技术公布日：2021/11/25