一种用于制备电子半导体纳米抛光液的膜分离装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种用于制备电子半导体纳米抛光液的膜分离装置。


背景技术：

2.电子半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用；电子半导体在制备时需要在表面进行纳米抛光，纳米抛光时需要在电子半导体表面喷洒纳米抛光液；纳米抛光液由多种化学物质混合反应而成，反应生成的原液中含有较多的高分子杂质，分离需要经过多道处理工序，操作步骤繁琐，费时费力，制备成本较高，有待于进一步改进。


技术实现要素：

3.针对上述现有技术的现状，本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种大幅简化了操作步骤并降低了制备成本且省时省力的用于制备电子半导体纳米抛光液的膜分离装置。
4.本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种用于制备电子半导体纳米抛光液的膜分离装置，其特征在于，包括框架、横向固定在框架顶部的第一主管、横向固定在框架底部的第二主管、横向固定在框架内部的第三主管以及两个分别设于框架前后两侧的超滤膜单元，所述超滤膜单元包括多个从左往右依次固定在框架前侧的超滤膜，多个所述超滤膜的底部进液口均并联接入到第二主管中，多个所述超滤膜的顶部出液口均并联接入到第一主管中，多个所述超滤膜的排液口均并联接入到第三主管中；还包括分别设于框架左右两侧的第一连接系统和第二连接系统，所述第一连接系统包括第一三通、四通、第一连接管、第二连接管、第三连接管、第二三通、第四连接管和第一支管；所述第二连接管的一端、第一连接管的一端以及第一主管的一端分别连接在第一三通的三个接口上，所述第三连接管的一端、第三主管的一端、第一连接管的一端以及第一支管的一端分别连接在四通的四个接口上；所述第三连接管的另一端、第二主管的一端以及第四连接管的一端分别连接在第二三通的三个接口上，所述第一支管的另一端连接在第四连接管上；所述第二连接系统包括第三三通、第五连接管、第六连接管、单向阀、第四三通、第七连接管、泵体和第八连接管；所述第五连接管的一端、第六连接管的一端以及第一主管的另一端分别连接在第三三通的三个接口上，所述单向阀的出液口、第二主管的另一端以及第七连接管的一端分别连接在第四三通的三个接口上；所述第七连接管的另一端连接在泵体的出液口上，所述第八连接管的一端连接在泵体的进液口上。
5.优选地，所述第一主管上还设有第一电磁阀，所述第一电磁阀设于多个超滤膜的顶部出液口下游侧；所述第二主管上还设有第二电磁阀，所述第二电磁阀设于多个超滤膜的底部进液口上游侧；所述第三连接管上还设有第三电磁阀。
6.优选地，所述第一连接管上还设有第一截止阀，所述第一支管上还设有手控阀。
7.优选地，所述第五连接管上还串接有第一液位观察管和第二截止阀；所述第六连
接管上还串接有第二液位观察管和第三截止阀。
8.优选地，所述第八连接管上还设有第四电磁阀。
9.与现有技术相比，本实用新型的优点在于：本实用新型利用超滤膜的过滤特性将纳米抛光液中的高分子杂质快速有效的分离出来，进而大幅简化了操作步骤并降低了制备成本且省时省力。
附图说明
10.图1为本实用新型的左前侧结构图；
11.图2为本实用新型的右后侧结构图。
具体实施方式
12.除非另外定义，本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
13.为了保持本实用新型实施例的以下说明清楚且简明，本实用新型省略了已知功能和已知部件的详细说明。
14.如图1～2所示，一种用于制备电子半导体纳米抛光液的膜分离装置，包括框架1、横向固定在框架1顶部的第一主管2、横向固定在框架1底部的第二主管10、横向固定在框架1内部的第三主管21以及两个分别设于框架1前后两侧的超滤膜单元，超滤膜单元包括多个从左往右依次固定在框架1前侧的超滤膜17，多个超滤膜17的底部进液口均并联接入到第二主管10中，多个超滤膜17的顶部出液口均并联接入到第一主管2中，多个超滤膜17的排液口均并联接入到第三主管21中；还包括分别设于框架1左右两侧的第一连接系统和第二连接系统，第一连接系统包括第一三通19、四通22、第一连接管20、第二连接管28、第三连接管30、第二三通25、第四连接管24和第一支管23；第二连接管28的一端、第一连接管20的一端以及第一主管2的一端分别连接在第一三通19的三个接口上，第三连接管30的一端、第三主管21的一端、第一连接管20的一端以及第一支管23的一端分别连接在四通22的四个接口上；第三连接管30的另一端、第二主管10的一端以及第四连接管24的一端分别连接在第二三通25的三个接口上，第一支管23的另一端连接在第四连接管24上；第二连接系统包括第三三通3、第五连接管4、第六连接管7、单向阀11、第四三通12、第七连接管13、泵体14和第八连接管15；第五连接管4的一端、第六连接管7的一端以及第一主管2的另一端分别连接在第三三通3的三个接口上，单向阀11的出液口、第二主管10的另一端以及第七连接管13的一端分别连接在第四三通12的三个接口上；第七连接管13的另一端连接在泵体14的出液口上，第八连接管15的一端连接在泵体14的进液口上。
15.第一主管2上还设有第一电磁阀29，第一电磁阀29设于多个超滤膜17的顶部出液
口下游侧；第二主管10上还设有第二电磁阀26，第二电磁阀26设于多个超滤膜17的底部进液口上游侧；第三连接管30上还设有第三电磁阀31。
16.第一连接管20上还设有第一截止阀18，第一支管23上还设有手控阀27。
17.第五连接管4上还串接有第一液位观察管6和第二截止阀5；第六连接管7上还串接有第二液位观察管8和第三截止阀9。
18.第八连接管15上还设有第四电磁阀16。
19.工作原理：将原液通过管道接入到第八连接管15的另一端并启动泵体14工作，原液依次经由第七连接管13和第四三通12进入到第二主管10中，进而向上流经每个超滤膜17后在第一主管2中汇合以形成残余原液，同时将分离出来的液体通入到第三主管21中以形成初道抛光液，初道抛光液可经由第三主管21的另一端向外排出，也可依次经由四通22和第三连接管30回到第二主管10中以再次进行膜过滤；打开第二截止阀5后，第一主管2中的残余原液可经由第三三通3和第五连接管4向外排出，打开第三截止阀9后，第一主管2中的残余原液可经由第三三通3和第六连接管7向外排出；此时的第一电磁阀29和第一截止阀18均处于关闭状态，打开第一电磁阀29并关闭第一截止阀18，可以将第一主管2中的残余原液经由第二连接管28向外排出以用于取样分析。
20.打开第一截止阀18并关闭第二截止阀5和第三截止阀9，残余原液可经由第一三通19、第一连接管20和四通22与初道抛光液混合，进而再经由第三连接管30回到第二主管10中以一起进行循环膜过滤；若第二主管10发生堵塞时，初道抛光液可经由第二三通25和第四连接管24向外排出，若第三连接管30发生堵塞时，打开手控阀27，初道抛光液可经由第一支管23进入到第四连接管24中，再经由第四连接管24向外排出；通过单向阀11还可将化学添加剂加入到第二主管10中以与原液相互反应。
21.本实用新型利用超滤膜的过滤特性将纳米抛光液中的高分子杂质快速有效的分离出来，进而大幅简化了操作步骤并降低了制备成本且省时省力。
22.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的技术人员应当理解，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行同等替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神与范围。