一种拼接式吸盘装置的制作方法

1.本实用新型涉生产加工技术领域，尤其是指一种拼接式吸盘装置。


背景技术：

2.硅片材质较脆且厚度较薄，为减小硅片在加工运输中的损伤，硅片在工艺生产和检测过程等环节中一般采用吸盘装置对硅片进行吸附固定，然后再对吸盘装置进行运输和转移，但是现有的吸盘装置安装不便，安装稳定性不佳，无法满足使用需求。


技术实现要素：

3.为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中吸盘装置安装不便且安装稳定性不佳的缺陷。
4.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种拼接式吸盘装置，包括安装板和连接杆，所述安装板的顶部连接有柱体，所述安装板的一端连接有第一侧板，另一端连接有第二侧板，所述第一侧板和第二侧板之间形成安装槽，所述安装槽内容置有多个盘体，所述连接杆贯穿所述第一侧板、第二侧板和所有的所述盘体，所述盘体上连接有吸附件，所述吸附件上设置有吸附孔。
5.在本实用新型的一个实施例中，所述盘体包括连接座和主体盘，所述主体盘和所述吸附件相连接，所述连接座上设置有凸起部，所述主体盘上设置有插槽，所述凸起部插接在所述插槽中。
6.在本实用新型的一个实施例中，所述连接座和主盘体上均设置有连接孔，所述连接杆贯穿所述连接座和主盘体的连接孔。
7.在本实用新型的一个实施例中，所述主体盘上设置有用于容纳所述吸附件的容置槽，所述容纳槽和所述插槽相连通，所述吸附件通过弹簧和所述容置槽相连接。
8.在本实用新型的一个实施例中，所述容置槽上连接有限位挡边。
9.在本实用新型的一个实施例中，所述凸起部下部连接有气管接头，所述连接座上设置有通气孔，所述连接座内部设置气道，所述通气孔通过所述气道和所述气管接头相连通。
10.在本实用新型的一个实施例中，所述主体盘上设置有多个第一减重孔。
11.在本实用新型的一个实施例中，所述柱体上开设有内孔，所述内孔的内壁上开设有圆孔，所述圆孔贯穿所述柱体。
12.在本实用新型的一个实施例中所述吸附件采用聚甲醛树脂件。
13.在本实用新型的一个实施例中，所述第一侧板和第二侧板的底部均设置有矩形槽。
14.本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
15.本实用新型所述的拼接式吸盘装置，安装方便快捷，提升了吸盘装置的安装效率和安装稳定性。
附图说明
16.为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中：
17.图1是本实用新型的拼接式吸盘装置的三维图；
18.图2是图1所示的拼接式吸盘装置的主视图；
19.图3是图1所示的拼接式吸盘装置的左视图；
20.图4是图1中安装板的结构示意图；
21.图5是图1中盘体的一个角度的结构示意图；
22.图6是图1中盘体的另一角度的结构示意图；
23.图7是图6中盘体的分解安装示意图；
24.图8是图5中a处的局部放大结构示意图；
25.说明书附图标记说明：1、连接杆，2、安装板，21、第一侧板，211、矩形槽，22、第二侧板，23、安装槽，3、盘体，31、连接座，311、凸起部，312、连接孔，313、通气孔，32、主体盘，321、插槽，322、容置槽，323、限位挡边，324、第一减重孔，4、吸附件，41、吸附孔，5、弹簧，6、气管接头，7、柱体，71、内孔，711、圆孔。
具体实施方式
26.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
27.参照图1
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图4，本实用新型公开了一种拼接式吸盘装置，包括安装板2和连接杆1，安装板2的顶部连接有柱体7，安装板2的一端连接有第一侧板21，另一端连接有第二侧板22，第一侧板21和第二侧板22之间形成安装槽23，安装槽23内容置有多个盘体3，连接杆1贯穿第一侧板21、第二侧板22和所有的盘体3，盘体3上连接有吸附件4，吸附件4上设置有吸附孔41，以用于抽真空而吸附硅片。
28.通过连接杆贯穿第一侧板21、第二侧板22和所有的盘体3，来实现盘体3和安装板2的连接，连接方便快捷，且有效提升了盘体3的连接的可靠性和所有盘体3构成的整体结构的稳定性。
29.在其中一个实施方式中，如图5
‑
图7所示，盘体3包括连接座31和主体盘32，主体盘32和吸附件4相连接，连接座31上设置有凸起部311，主体盘32上设置有插槽321，凸起部311插接在插槽321中。
30.在其中一个实施方式中，连接座31和主盘体32上均设置有连接孔312，连接杆1同时贯穿连接座31和主盘体32的连接孔312，既实现了盘体3、第一侧板21和第二侧板22的连接，同时也对连接座31和主盘体32的装配位置进行了有效定位。
31.在其中一个实施方式中，主体盘32上设置有用于容纳吸附件4的容置槽322，容纳槽322和插槽321相连通，吸附件4通过弹簧5和容置槽322相连接，以起到缓冲减振作用。
32.在其中一个实施方式中，如图8所示，容置槽322上连接有限位挡边323，以对吸附件4起到限位作用，防止吸附件4发生前后偏移，提高吸附件4的定位精度。
33.进一步地，限位挡边323呈弧形。
34.在其中一个实施方式中，凸起部311下部连接有气管接头6，连接座31侧面设置有
通气孔313，连接座31内部设置气道，通气孔313通过气道和气管接头6相连通，气管接头6用于通过管道和吸附件4上的吸附孔41相连通。吸附时，通过通气孔313抽气，从而使得吸附孔41处形成真空，从而吸附住硅片。
35.在其中一个实施方式中，主体盘32上设置有多个第一减重孔324，以减轻主体盘32的重量，更利于机械手的抓取整个吸盘装置后能够灵活移动。
36.在其中一个实施方式中，柱体7上开设有内孔71，内孔71的内壁上开设有圆孔711，圆孔711贯穿柱体7，以更便于机械手抓取。
37.在其中一个实施方式中，吸附件4采用聚甲醛树脂件，该材质的吸附件4具有较高的刚性和弹性模量、摩擦系数小、耐磨耗，、表面光泽好、电绝缘性优，且不受温度影响，不易划伤硅片而在硅片表面形成印痕。
38.在其中一个实施方式中，第一侧板21和第二侧板22的底部均设置有矩形槽211。
39.在其中一个实施方式中，吸附件4上设置有多个吸附孔41，以避免设置一个较大的吸附孔41而在吸附时对硅片局部造成较大吸力而引起硅片的局部变形。
40.进一步地，吸附件的单面为吸附面，例如，如图5所示，吸附件4的正面为吸附面，吸附面上设置吸附孔41，如图所示，吸附件4的背面为非吸附面。
41.本实施例的拼接式吸盘装置在使用时，每两个盘体3之间放入一个硅片，使得硅片吸附于这两个相邻盘体3中的其中一个盘体3的吸附件4上，然后由机械手抓取柱体7，从而将吸附有硅片的整个吸盘装置移动到设定位置即可。上述过程可实现多个硅片的同时移动。可以理解地，吸附件4吸附硅片时，只需对其吸附孔41抽真空，即可将硅片吸附在该吸附件4上。
42.本实施例的拼接式吸盘装置，安装方便快捷，提升了吸盘装置的安装效率和使用效果，也提升了盘体安装的稳定性。
43.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。