一种晶圆生产用清洗装置的制作方法

1.本实用新型属于晶圆生产相关技术领域，特别是涉及一种晶圆生产用清洗装置。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，在晶圆的生产过程中需要对光刻后的光刻胶进行清洗以进行下一步的操作，晶圆的清洗过程中需要用到清洗装置。
3.但是，现有的晶圆生产用清洗装置具有以下缺点：
4.1、现有的晶圆生产用清洗装置对晶圆的清洗没有风干，在其自然晾干过程中，会有灰尘等落下，影响最后产品的良率。
5.2、现有的晶圆生产用清洗装置清洗晶圆后没有对其表面的残留物进行完全起立，在后续的生产中影响生产出的晶圆的品质。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供一种晶圆生产用清洗装置，通过设置容筒、底承壳、电机、吹干壳和过滤壳，解决了现有的晶圆生产用清洗装置对晶圆的清洗没有风干和晶圆输送过程中表面残留物的清理不彻底的问题。
7.为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
8.本实用新型为一种晶圆生产用清洗装置，包括容筒、底承壳、电机、吹干壳和过滤壳，所述底承壳的上方通过移动板固定有底支座，所述底支座的上方通过底盘固定有容筒，所述移动板远离容筒的一侧前方的上部设置有电机，所述移动板远离容筒的一侧设置有吹干壳，所述吹干壳的后侧面中央固定有过滤壳，本实用新型通过容筒中在底盘上的输出孔导出的清洗剂清洗经过底盘下方的移动板上的晶圆，在电机驱动清洗套的转动下将经过清洗套下方的晶圆清洗干净，在晶圆输送到吹干壳中时经过过滤壳中过滤的干净的空气将晶圆表面残留的清洗剂进行吹干。
9.进一步地，所述底支座的上方固定有底盘，所述底盘底部的前侧和后侧皆固定有底支座，所述底盘的顶部中央贯通底盘均匀开设有输出孔，所述输出孔底部的底盘上固定有输送块，所述输送块的顶部贯通输送块固定有输送孔，所述容筒的顶部固定有顶盘，所述顶盘的顶部一侧开设有顶孔，所述顶孔内固定套接有顶管，容筒将用于晶圆清洗的溶剂通过底盘上开设的输出孔输送到输送块上对移动板上经过的晶圆进行清洗。
10.进一步地，所述底承壳内部的顶部四个角固定有支柱，所述支柱的底部固定有移动板，所述移动板的底部远离底承壳一侧的两个角上皆固定有支柱，所述移动板内部的底部固定有保护海绵块，所述移动板靠近容筒的内部相对面上皆开设有连接槽，所述连接槽内皆嵌合有t形保护块，底承壳将容筒中用于清洗后的清洗剂通过移动板靠近容筒的一端
面上进行收存。
11.进一步地，所述电机的底部固定有底座，所述电机的输出端固定有驱动轴，所述驱动轴远离电机的一端固定有转轴，所述转轴的周侧面的两端皆套接有支撑柱，所述转轴周侧的中部固定有转筒，所述转筒的周侧中部固定有清洗套，所述清洗套底部限制在底承壳上移动板的内部，电机驱动清洗套的转动，在清洗套底部经过的晶圆在清洗套和容筒中清洗剂的作用下洗净。
12.进一步地，所述吹干壳的前侧面中央贯通吹干壳开设有通风口，所述吹干壳的底部固定有吹干板，所述吹干板底部的四个角皆固定有底柱，吹干壳通过过滤壳中输送的过滤后的空气将经过吹干壳的晶圆进行吹干。
13.进一步地，所述过滤壳的内部中央套接有过滤块，所述过滤壳的后方固定有前封条，所述前封条前侧面的中央开设有入风口，过滤壳通过其内部套接卡紧的过滤块将过滤壳中的空气过滤干净。
14.本实用新型具有以下有益效果：
15.1、本实用新型通过设置吹干壳和过滤壳，解决了现有的晶圆生产用清洗装置对晶圆的清洗没有风干的问题，通过过滤壳将吹干晶圆的空气进行过滤，防止空气中的灰尘影响晶圆的良率，经过过滤的空气吹向吹干壳中，将吹干壳中的晶圆进行吹干，使晶圆生产中的清洗过程的时间大大缩短，加快晶圆生产的效率，增加晶圆的良率。
16.2、本实用新型通过设置容筒、底承壳和电机，解决了现有的晶圆生产用清洗装置在晶圆输送过程中表面残留物的清理不彻底的问题，通过容筒中的清洗剂将经过底承壳上方移动板上的晶圆进行清洗，在移动板上经过电机上驱动的清洗套的清洗下将晶圆表面清洗干净，使晶圆在进行下一步生产之前，将晶圆的光刻面清洗的没有光刻胶的残留，进一步增加晶圆的良率。
17.当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
18.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为本实用新型的组装结构示意图；
20.图2为本实用新型容筒立体图；
21.图3为本实用新型容筒上的输送块立体图；
22.图4为本实用新型底承壳和电机立体图；
23.图5为本实用新型吹干壳立体图；
24.图6为本实用新型过滤壳立体图；
25.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
26.100、容筒；101、底支座；102、底盘；103、输出孔；104、输送块；105、顶盘；106、顶孔；107、顶管；108、输送孔；200、底承壳；201、支柱；202、移动板；203、保护海绵块；204、连接槽；205、t形保护块；300、电机；301、驱动轴；302、底座；303、支撑柱；304、转轴；305、转筒；306、
清洗套；400、吹干壳；401、吹干板；402、通风口；403、底柱；500、过滤壳；501、过滤块；502、前封条；503、入风口。
具体实施方式
27.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
28.请参阅图1
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6所示，本实用新型为一种晶圆生产用清洗装置，包括容筒100、底承壳200、电机300、吹干壳400和过滤壳500，底承壳200的上方通过移动板202固定有底支座101，底承壳200将容筒100中用于清洗后的清洗剂通过移动板202靠近容筒100的一端面上进行收存，底支座101将容筒100及其上的附属结构支撑在移动板202上，底支座101的上方通过底盘102固定有容筒100，容筒100将用于晶圆清洗的溶剂通过底盘102上开设的输出孔103输送到输送块104上对移动板202上经过的晶圆进行清洗，移动板202远离容筒100的一侧前方的上部设置有电机300，电机300驱动清洗套306的转动，在清洗套306底部经过的晶圆在清洗套306和容筒100中清洗剂的作用下洗净，移动板202远离容筒100的一侧设置有吹干壳400，吹干壳400通过过滤壳500中输送的过滤后的空气将经过吹干壳400的晶圆进行吹干，吹干壳400的后侧面中央固定有过滤壳500，过滤壳500将经过过滤壳500吹向吹干壳400内的空气除尘过滤，本实用新型通过容筒100中在底盘102上的输出孔103导出的清洗剂清洗经过底盘102下方的移动板202上的晶圆，在电机300驱动清洗套306的转动下将经过清洗套306下方的晶圆清洗干净，在晶圆输送到吹干壳400中时经过过滤壳500中过滤的干净的空气将晶圆表面残留的清洗剂进行吹干。
29.其中如图1
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3所示，底支座101的上方固定有底盘102，底盘102通过其上开设的输出孔103将容筒100中容存的清洗剂通过输送块104上开设的输送孔108输送到底盘102下方的移动板202上经过的晶圆表面，将晶圆上的光刻胶清洗掉，底盘102底部的前侧和后侧皆固定有底支座101，底支座101将底盘102固定在移动板202顶部，底盘102的顶部中央贯通底盘102均匀开设有输出孔103，输出孔103将容筒100中的清洗剂输送到输送块104中，输出孔103底部的底盘102上固定有输送块104，输送块104的顶部贯通输送块104固定有输送孔108，输送块104通过其上开设的输送孔108将清洗剂输送到移动板202上方经过的晶圆中上，将晶圆上残留的光刻胶清洗掉，容筒100的顶部固定有顶盘105，顶盘105将容筒100的顶部封闭，保证容筒100中的清洗剂的清洁，顶盘105的顶部一侧开设有顶孔106，顶孔106内固定套接有顶管107，顶盘105通过顶孔106中固定的顶管107将清洗剂输送到顶盘105中，容筒100通过顶管107将清洗剂输送到其中，容筒100通过底盘102上开设的输出孔103将清洗剂通过输送块104上的输送孔108输送到移动板202上经过的晶圆上，将晶圆上的光刻胶大部分清洗掉。
30.其中如图1、4所示，底承壳200内部的顶部四个角固定有支柱201，底承壳200内的支柱201将移动板202靠近底承壳200的一端支撑在底承壳200内部的上方，支柱201的底部固定有移动板202，移动板202上经过晶圆，通过容筒100和电机300上的清洗套306将其上经过晶圆清洗干净，移动板202的底部远离底承壳200一侧的两个角上皆固定有支柱201，远离
底承壳200的支柱201将移动板202远离底承壳200的一端支撑在地面上，移动板202内部的底部固定有保护海绵块203，保护海绵块203将移动板202上经过的晶圆保护起来，防止晶圆和移动板202内部的底部摩擦将晶圆损坏，移动板202靠近容筒100的内部相对面上皆开设有连接槽204，连接槽204内嵌合t形保护块205在晶圆经过容筒100下方时将晶圆的前后侧保护起来，连接槽204内皆嵌合有t形保护块205，底承壳200通过移动板202将晶圆在移动板202上移动，移动板202通过其上固定的保护海绵块203将晶圆保护起来，通过容筒100和电机300上的清洗套306将其上经过晶圆清洗干净。
31.其中如图1、4所示，电机300的底部固定有底座302，底座302将电机300支撑在地面上，电机300的输出端固定有驱动轴301，驱动轴301将电机300产生的动力传动到转轴304上，使转轴304随着驱动轴301的转动而转动，驱动轴301远离电机300的一端固定有转轴304，转轴304将转筒305随着转轴304的转动而转动，转轴304的周侧面的两端皆套接有支撑柱303，支撑柱303将转轴304和转筒305支撑在地面上，转轴304周侧的中部固定有转筒305，转筒305将清洗套306固定在其上，在转筒305在驱动轴301将电机300的动力传动到转轴304上，驱动转筒305上的清洗套306转动，转筒305的周侧中部固定有清洗套306，清洗套306在转筒305的转动下转动，将移动板202上的晶圆经过清洗套306底部时将其清洗干净，清洗套306底部限制在底承壳200上移动板202的内部，电机300通过其上的清洗套306将移动板202上经过清洗套306下方的晶圆清洗干净。
32.其中如图1、5所示，吹干壳400的前侧面中央贯通吹干壳400开设有通风口402，通风口402将过滤壳500吹向吹干壳400的空气输送到吹干壳400中，吹干壳400的底部固定有吹干板401，吹干板401使吹干壳400固定在其上并将晶圆放置在其上，吹干板401底部的四个角皆固定有底柱403，底柱403将吹干板401支撑在地面上，吹干壳400通过其上开设的通风口402将过滤壳500中经过过滤的空气输送到其中将吹干板401上放置的晶圆上的清洗剂吹干。
33.其中如图1、6所示，过滤壳500的内部中央套接有过滤块501，过滤块501将过滤壳500中的经过的空气中的灰尘等过滤，使过滤壳500中吹醒吹干壳400中的空气保持干净，过滤壳500的后方固定有前封条502，前封条502将过滤壳500的后方封闭，前封条502前侧面的中央开设有入风口503，入风口503将需要过滤的空气输送到过滤壳500中，过滤壳500通过其内部套接卡紧的过滤块501将过滤壳500中的空气过滤干净，防止空气中的灰尘在吹干吹干壳400中的晶圆时损坏晶圆。
34.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
35.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。