一种LPCVD炉管在线清洗方法与流程

技术特征：
1.一种lpcvd炉管在线清洗方法，其特征是，包括以下步骤：步骤1：将炉管炉门封闭，检查真空，确认机台真空度，然后升温；步骤2：通入n2，升温至350
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700℃稳定，然后停止通入氮气，同时控制系统压力处于100mtorr
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1000mtorr的压力范围下；步骤3：进气口通入无机非金属氟化物气体；步骤4：关闭无机非金属氟化物气体进气阀门，同时通入氮气赶走未完全反应的前驱体以及反应生成物；步骤5：通入氮气，回压，然后炉管降温；步骤6：待炉管内压力接近大气压时，打开炉门清洗完成。2.根据权利要求1所述的一种lpcvd炉管在线清洗方法，其特征是，步骤2中，通入1
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50ln2。3.根据权利要求1所述的一种lpcvd炉管在线清洗方法，其特征是，步骤3中，所述无机非金属氟化物气体为nf3、cf4，pf5，sf6。4.根据权利要求1所述的一种lpcvd炉管在线清洗方法，其特征是，步骤3中，无机非金属氟化物气体的流量为10
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10000sccm。5.根据权利要求1所述的一种lpcvd炉管在线清洗方法，其特征是，步骤4中，通入1
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50l氮气。6.根据权利要求1所述的一种lpcvd炉管在线清洗方法，其特征是，步骤5中，炉管降温到500℃。7.根据权利要求1所述的一种lpcvd炉管在线清洗方法，其特征是，步骤5中，通入氮气1
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50l。

技术总结
本发明公开了一种一种LPCVD炉管在线清洗方法，包括以下步骤：将炉管炉门封闭，检查真空，确认机台真空度，然后升温；通入N2，升温至350


技术研发人员：梁笑 林佳继 刘群 张武 庞爱锁
受保护的技术使用者：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
技术研发日：2021.07.14
技术公布日：2021/11/23