光刻设备及其光源位置监控方法与流程

技术特征：
1.一种光刻设备，包括光源，其特征在于，还包括：固定卡槽，用于安装固定所述光源；感应模块，用于感应所述光源与所述固定卡槽之间的距离信息；提示模块，用于根据所述距离信息，发出提示信息；判断模块，用于根据所述提示信息，判断所述光源的安装状态。2.根据权利要求1所述的光刻设备，其特征在于，所述固定卡槽一侧设有通孔，所述通孔暴露所述光源，所述感应模块相对所述通孔设置，所述感应模块通过所述通孔感测所述光源与所述固定卡槽之间的距离信息。3.根据权利要求1所述的光刻设备，其特征在于，所述提示模块内置所述光源与所述固定卡槽之间距离的阈值范围，所述提示模块实时将所述距离信息与所述阈值范围进行比较，并根据比较结果，发出提示信息。4.根据权利要求3所述的光刻设备，其特征在于，所述提示模块包括光源位置显示器，用于将所述阈值范围和所述距离信息图形化显示；其中，所述光源位置显示器包括第一显示区域和第二显示区域，所述阈值范围显示在所述第一显示区域，所述距离信息显示在所述第二显示区域，所述第一显示区域和所述第二显示区域交叠，且所述第一显示区域和所述第二显示区域的视觉状态可以相同或不同。5.根据权利要求1所述的光刻设备，其特征在于，还包括临界感应模块；所述临界感应模块设置于所述固定卡槽中，且位于所述光源安装到位的临界位置处，用于探测所述光源是否安装到位。6.根据权利要求5所述的光刻设备，其特征在于，所述提示模块还包括声光报警器；所述声光报警器用于在所述临界感应模块探测到所述光源安装到位时，发出声光警报。7.根据权利要求1所述的光刻设备，其特征在于，还包括位置校正模块，所述位置校正模块与所述判断模块通信连接；所述位置校正模块用于在所述判断模块判断所述光源的安装状态为异常时，对所述光源的位置进行校正。8.根据权利要求7所述的光刻设备，其特征在于，所述位置校正模块包括环形电磁吸盘；所述环形电磁吸盘通电时对所述光源产生吸引力或排斥力，以对所述光源的安装状态进行校正。9.一种光刻设备的光源位置监控方法，其特征在于，应用权利要求1-8任一项所述的光刻设备执行，所述光源位置监控方法包括：感应模块感应所述光源与所述固定卡槽之间的距离信息；提示模块根据所述距离信息，发出提示信息；判断模块根据所述提示信息，判断所述光源的安装状态。10.根据权利要求9所述的光源位置监控方法，其特征在于，还包括：当所述判断模块判断所述光源安装状态为偏移时，位置校正模块对所述光源进行校正。

技术总结
本发明实施例公开了一种光刻设备及其光源位置监控方法，该光刻设备包括：固定卡槽，用于安装固定所述光源；感应模块，用于感应所述光源与所述固定卡槽之间的距离信息；提示模块，用于根据所述距离信息，发出提示信息；判断模块，用于根据所述提示信息，判断所述光源的安装状态。本发明实施例提供的技术方案，可实时且较为准确地感知光源的状态，为光源安装、光源维护以及光源使用过程中的状态监控提供参考，从而有利于提高设备工程师的作业安全性和安装便捷性。和安装便捷性。和安装便捷性。


技术研发人员：梁学玉
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2020.05.18
技术公布日：2021/11/23