一种碳化硅切割用的夹紧装置的制作方法

1.本实用新型涉及夹紧装置技术领域，具体为一种碳化硅切割用的夹紧装置。


背景技术：

2.sic单晶作为一种典型的硬脆材料，其莫氏硬度为9.2～9.5，仅次于金刚石，这使得sic单晶衬底的加工制造过程更加困难。目前sic单晶衬底的制造过程可分成切割
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粗研
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细研
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抛光几个阶段。切割作为制造sic单晶衬底首要关键的工序，其加工质量直接影响到后续工序的材料去除量，最终加工质量(表面粗糙度和平整度)，产品出品率及加工成本等。随着晶体生长技术的发展和市场的需求，大直径sic单晶衬底的需求量也越来越大，目前sic单晶衬底正由6英寸向8英寸过渡，这对传统的晶片切割技术带来了严峻的挑战，如何高效率、高质量、低成本、低损伤、高出品率制备sic单晶衬底，已成为当前碳化硅单晶衬底加工领域重要的研究方向。
3.问题一：现有的碳化硅切割的夹紧装置，夹具的拆卸较为不便，因夹具由于切割受到切割操作的影响，所以夹具的磨损较为严重，这就导致夹具要时常更换，如果不方便更换就降低了装置的便捷性；
4.问题二：现有的碳化硅由于制作工艺上的实验误差和操作误差，难免会混入一些金属或非金属杂质，这就导致在切割时由于高温会使一些杂质融化甚至挥发，会产生对人有害的气体，而现有的装置缺乏废气收集装置，降低了装置的环保性和安全性。


技术实现要素：

5.为了克服上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种碳化硅切割用的夹紧装置，以解决上述背景技术中提出的传统装置不便于更换夹具，以及不具备废气收集机构的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅切割用的夹紧装置，包括底座，所述底座表面顶端固定连接有冷却液喷头，所述底座表面中间位置处固定连接有切割片，所述底座顶端一侧固定连接有立柱，所述立柱顶端固定连接有横梁，所述横梁顶端一侧开设有排废气口，所述横梁底端固定连接有第一套筒，所述第一套筒底端设置有第一套杆，且第一套杆一端伸入第一套筒内部，所述第一套杆底端固定连接有连接板，所述连接板靠近立柱一侧固定连接有把手，所述连接板底端设置有碳化硅晶体，所述碳化硅晶体两侧皆设置有夹片，所述连接板底端两侧皆固定连接有固定杆，所述固定杆底端内部设置有螺纹杆，所述螺纹杆远离碳化硅晶体一侧固定连接有调节螺帽，所述螺纹杆靠近调节螺帽一侧两端皆设置有卡齿，所述固定杆底端一侧固定连接有连接杆，所述连接杆内部套设有插杆，所述插杆顶端固定连接有连接块，所述插杆中间位置处的外部设置有第二套筒，所述第二套筒顶端连接有第二套杆，且第二套杆底端伸入第二套筒内部，所述第二套杆表面连接有弹簧，所述横梁远离立柱一侧底端固定连接有吸气管道。
7.优选的，所述吸气管道底端固定连接有吸气口，所述吸气管道顶端设置有风扇，所
述风扇顶端固定连接有进气管道，所述进气管道远离立柱一侧设置有废气收集腔，所述废气收集腔内部设置有过滤网。
8.优选的，所述把手的表面胶粘有防滑块。
9.优选的，所述调节螺帽表面设置有多组，且呈等角度分布。优
10.选的，所述风扇表面固定连接有两组叶片，且叶片呈等距离排列。
11.优选的，所述废气收集腔内部设置有夹片。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1、该便于维护的工业废水处理装置设置有固定杆、螺纹杆、调节螺帽、卡齿、连接杆、插杆、连接块、第二套筒、第二套杆和弹簧，通过上述设计，能方便夹片拆卸以及安装，通过插杆伸入之间来进行限位，通过螺纹杆一端伸入夹片实现安装和固定，提高了装置的便捷性；
14.2、该便于维护的工业废水处理装置设置有吸气管道、吸气口、风扇、进气管道、废气收集腔以及过滤网，通过上述设计，能使切割过程中产生的废气得到集中收集处理，通过风扇转动吸入废气，经过滤网过滤后从排废气口处排出，实现废气收集操作，提高了装置的环保性以及安全性。
附图说明
15.图1为本实用新型结构正视剖面示意图；
16.图2为本实用新型插杆与调节螺帽连接处局部结构侧视示意图；
17.图3为本实用新型图1中a处结构放大示意图；
18.图4为本实用新型图1中b处结构放大示意图；
19.图5为本实用新型图3中c处结构放大示意图。
20.图中：110、底座；111、冷却液喷头；112、切割片；120、立柱；130、横梁；131、排废气口；132、第一套筒；133、第一套杆；140、连接板；141、把手；142、防滑块；150、碳化硅晶体；151、夹片；210、固定杆；220、螺纹杆；221、调节螺帽；222、卡齿；230、连接杆；240、插杆；241、连接块；250、第二套筒；251、第二套杆；252、弹簧；310、吸气管道；320、吸气口；330、风扇；331、叶片；340、进气管道；350、废气收集腔；351、过滤网。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1
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5，本实用新型提供的一种实施例：一种碳化硅切割用的夹紧装置，包括底座110，底座110表面顶端固定连接有冷却液喷头111，底座110表面中间位置处固定连接有切割片112，底座110顶端一侧固定连接有立柱120，立柱120顶端固定连接有横梁130，横梁130顶端一侧开设有排废气口131，横梁130底端固定连接有第一套筒132，第一套筒132底端设置有第一套杆133，且第一套杆133一端伸入第一套筒132内部，第一套杆133底端固定连接有连接板140，连接板140靠近立柱120一侧固定连接有把手141，连接板140底端设置
有碳化硅晶体150，碳化硅晶体150两侧皆设置有夹片151，连接板140底端两侧皆固定连接有固定杆210，固定杆210底端内部设置有螺纹杆220，螺纹杆220远离碳化硅晶体150一侧固定连接有调节螺帽221，螺纹杆220靠近调节螺帽221一侧两端皆设置有卡齿222，固定杆210底端一侧固定连接有连接杆230，连接杆230内部套设有插杆240，插杆240顶端固定连接有连接块241，插杆240中间位置处的外部设置有第二套筒250，第二套筒250顶端连接有第二套杆251，且第二套杆251底端伸入第二套筒250内部，第二套杆251表面连接有弹簧252，横梁130远离立柱120一侧底端固定连接有吸气管道310，通过该设计，方便对夹片151进行固定以及拆卸，从而在切割过程中保证碳化硅晶体150处于稳定状态，提高了装置的便捷性。
23.吸气管道310底端固定连接有吸气口320，吸气管道310顶端设置有风扇330，风扇330顶端固定连接有进气管道340，进气管道340远离立柱120一侧设置有废气收集腔350，废气收集腔350内部设置有过滤网351，通过该设计，方便对切割过程中产生的废气进行集中收集与处理，提高了环保性以及安全性。
24.把手141的表面胶粘有防滑块142，通过该设计，方便实现在按压把手141时，能增大手掌与把手141间的摩擦力，使按压速度均匀，从而方便切割，提高了装置的实用性。
25.调节螺帽221表面设置有多组卡齿222，且卡齿222呈等角度分布，通过该设计，方便插杆240对调节螺帽221进行卡合，从而在固定时有效防止受切割影响而松动，提高了装置的实用性。
26.风扇330表面固定连接有两组叶片331，且叶片331呈等距离排列，通过该设计，方便将切割产生的废气吸入吸气管道310内，提高了装置的实用性。
27.碳化硅晶体150内部设置有夹片151，通过该设计，方便将进入吸气管道310内放入废气进行过滤，使固定小颗粒留在夹片151外边，实现废气收集，提高了装置的实用性。
28.工作原理：当需要对夹片151进行拆卸时，向上拉动连接块241带动插杆240向上移动，直至脱离两个卡齿222之间，随后逆时针转动调节螺帽221，使螺纹杆220也逆时针转动起来，因螺纹杆220表面设有螺纹，在转动下螺纹杆220渐渐从夹片151内部脱离，实现夹片151的拆卸操作；
29.当切割过程中产生大量废气时，在风扇330转动带动下，废气被吸入吸气口320内，经吸气管道310进入进气管道340从而进入废气收集腔350内，在过滤网351过滤下，固定小颗粒被挡在夹片151外面，废气进入废气收集腔350内部，经处理后由排废气口131排出，实现废气集中收集处理的操作，操作到此结束。
30.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。