一种测量激光器出光特性的设备的制作方法

1.本实用新型涉及激光器测试的技术领域，特指一种测量激光器出光特性的设备。


背景技术：

2.半导体激光器的特性测试主要的参数指标是出光特性的测量，从中可以测试出很多重要的参数比如出光功率、斜效率和阈值电流等。目前半导体激光器按照出光方向相对于本身的结构分类主要有面（垂直）发射半导体激光器和边（水平）发射半导体激光器，由于两种半导体激光器的出光方向不一致，所以需要采用不同的测试设备对齐进行分别测试。没有合适的出光特性测试设备能同时满足面发射和边发射半导体激光器的兼容，因此，本发明人对此做进一步研究。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种测量激光器出光特性的设备，实现不同方向出光的激光器，共用一套测试设备，实现兼容。
4.为解决上述技术问题，本实用新型的技术解决方案是：
5.一种测量激光器出光特性的设备，包括测试台、位移组件、载具、全反射镜和出光特性测试模块；位移组件移动设置于测试台上，载具安装在位移组件上，用于收集待测激光器激光的出光特性测试模块位于测试台的上方，复数个全反射镜安装在载具上，载具具有复数个容纳待测激光器的槽位，反射待测激光器激光的全反射镜位于槽位的一侧。
6.进一步，一个全反射镜对应一个槽位。
7.进一步，复数个槽位在横向和纵向上阵列式排布，一个全反射镜对应一排横向上的槽位或者对应一排纵向上的槽位。
8.进一步，还包括第一调节组件，用于调节待激光器角度和/或位置的第一调节组件安装在槽位中，第一调节组件与待测激光器连接。
9.进一步，还包括第二调节组件，用于调节全反射镜角度和/或位置的第二调节组件与全反射镜连接，第二调节组件安装在载具上。
10.进一步，出光特性测试模块为光探测器或者积分球。
11.进一步，全反射镜的反射面与载具水平方向的夹角为45
°
。
12.进一步，还包括移动机构，出光特性测试模块安装在移动机构上。
13.由于面发射半导体激光器和边发射半导体激光器的出光方向不一致，要求出光特性测试模块和载具的相对位置需要改变，本实用新型通过在载具上加入全反射镜，将边发射半导体激光器的出光方向偏转90
°
，保持和面发射半导体激光器的出光方向一致，从而无需更改其他设计或者采用额外的测试设备进行测试，可实现同时检测面发射半导体激光器和边发射半导体激光器的兼容性。
附图说明
14.图1是本实用新型边发射半导体激光器测试时的示意图；
15.图2是本实用新型面发射半导体激光器测试时的示意图；
16.图3是本实用新型全反射镜在载具上位置一的示意图；
17.图4是本实用新型全反射镜在载具上位置二的示意图。
18.标号说明
19.测试台1
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位移组件2
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载具3
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槽位31
20.全反射镜4
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出光特性测试模块5
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待测激光器6。
具体实施方式
21.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详述。在此需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述，不能理解为对本实用新型的限制。下面所描述的本实用新型各个实施例中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
22.本实用新型所揭示的是一种测量激光器出光特性的设备，如图2和图3所示，为本实用新型的较佳实施例，包括测试台1、位移组件2、载具3、全反射镜4和出光特性测试模块5。
23.位移组件2滑动设置于测试台1上，载具3安装在位移组件2上，位移组件2带动载具3在测试台1上移动。位移组件2（图中未详细画出）可以为常见的移动结构，例如，位移组件2可以是由驱动机构、控制机构、滑轮和滑轨，滑轮安装在载具3上，滑轨安装在测试台1上，通电后，驱动机构根据控制机构的指令，带动滑轮在滑轨中移动，从而使载具3在测试台1上移动。位移组件2还可以是凸块和凹槽，凸块安装载具3的底部，在测试台上设有凹槽，凸块在凹槽中移动，从而带动载具3在测试台1上移动。当然，也可以是伺服电机和丝杆等其他的组件结构，实现位移的方式有很多种，在此不予赘述。
24.出光特性测试模块5位于测试台1的上方，其用于收集待测激光器6发出的激光，从而进行光学特性的测试。
25.复数个全反射镜4安装在载具3上，载具3具有复数个槽位31，待测激光器6放置在槽位31，全反射镜4位于槽位31的一侧，当待测激光器6（特指边发射半导体激光器）发出激光时，恰好打在全反射镜4上，可以进行反射，将边发射半导体激光器的出光方向偏转90
°
，保持和面发射半导体激光器的出光方向一致。
26.进一步，如图3所示，一个全反射镜4对应一个槽位31。这样，可以针对单独一个槽位31调整一个全反射镜4，操作较为灵活。
27.进一步，如图4所示，复数个槽位31在横向和纵向上阵列式排布，一个全反射镜4对应一排横向上的所有槽位31，或者，一个全反射镜4对应一排纵向上的所有槽位31，批量测试时更为方便快捷。
28.进一步，还包括第一调节组件（图中未画出），第一调节组件安装在槽位31中，待测激光器6位于第一调节组件的上方并于第一调节组件连接，通过第一调节组件调节待测激光器6的角度，或者，通过第一调节组件调节待测激光器6的角度和位置。
29.进一步，还包括第二调节组件（图中未画出），第二调节组件安装在载具3上，第二调节组件与全反射镜4连接，通过第二调节组件调节全反射镜4角度，或者，通过第二调节组件调节全反射镜4角度和位置。
30.第一调节组件和第二调节组件均为现有技术，例如，可以由多组调节片组成，以水平方向为x轴，竖直方向为y轴，垂直于x轴和y轴所在平面的方向为z轴，第一调节片可沿y轴平移，第二调节片可沿z轴平移，第三调节片可绕y轴旋转，第四调节片可绕z轴旋转。通过控制第一调节组件在多个方向上的调整待测激光器6的角度及位置，通过第二调节组件在多个方向上的调整全反射镜4的角度及位置。当然也可以是其他实现方式，只要能满足调整待测激光器6与全反射镜4的角度或者位置的要求即可，在此不予赘述。本领域的技术人员可以根据实际测量时的需要，对全发射镜4的反射面和载具3水平方向的夹角和待测激光器6的出光方向进行组合，选择调整的角度或者位置，从而达到使待测激光器6的出光垂直入射到测试模块5中即可。
31.进一步，出光特性测试模块5为光探测器或者积分球，可以检测激光器的出光功率、斜效率、阈值电流等参数。
32.进一步，全反射镜4的反射面与载具3水平方向的夹角为45
°
，以便满足光反射的角度能够偏转90
°
。
33.进一步，还包括移动机构（图中未画出），出光特性测试模块5安装在移动机构上。因为有移动机构的带动，出光特性测试模块5可以进行移动，可以移动到待测试的激光器6位置进行测试，实现位移的方式有很多种，在此不予赘述。这样，本实用新型不但也可以进行单颗待测激光器6的测试，也可以通过移动载具3或者出光特性测试模块5的方式可实现批量测试。
34.使用本实用新型测试时，将待测试的半导体激光器（芯片）放到测试载具3上，这里所指的芯片不是裸芯，是指coc（chip on carrier）或者cos（chip on submount）的封装形式，以方便打线测试、夹取、安放等操作。通过源表对芯片进行加电，然后通过位移组件2将不同位置的芯片移动到出光特性测试模块5的下方，使待测激光器6的出射光全部被出光特性测试模块5接收到，从而进行光学特性的测试。
35.由于面发射半导体激光器和边发射半导体激光器的出光方向不一致，要求出光特性测试模块5和测试载具3的相对位置需要改变。在测试载具3上的每个芯片槽位31设置一个45
°
全反射镜4，全发射镜4的表面镀上通过在45
°
镜子表面镀上特定的材料以及特定的结构，满足反射率99.9%以上的全反射效果。
36.对于面发射半导体激光器，直接放置在槽位31里，面发射半导体激光器朝上，向出光特性测试模块5发出激光，从而可以通过出光特性测试模块5直接测试出光特性。
37.对于边发射半导体激光器，平放在槽位31里，水平出射的激光经过设置的45
°
全反射镜4垂直发出（即将边发射半导体激光器的出光方向偏转90
°
），反射至上方的出光特性测试模块5，从而可以通过出光特性测试模块5直接测试出光特性。
38.本实用新型使得边发射半导体激光器保持和面发射半导体激光器的出光方向一致，从而无需更改其他设计或者采用额外的测试设备进行测试，实现两种激光器的兼容。
39.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型的技术范围作任何限制，故但凡依本实用新型的权利要求和说明书所做的变化或修饰，皆应属于本实用
新型专利涵盖的范围之内。