用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备的制作方法

技术特征：
1.一种用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，该废气颗粒物减少设备包括：腔室，所述腔室是管状体，废气在所述管状体中流动，并且所述腔室与接地电源连接；电源装置，所述电源装置布置在所述腔室外，并且包括用于产生稳态电压的电压产生单元，在所述稳态电压下产生最大效率的非热等离子体现象；发射器，所述发射器布置在所述腔室内，并且通过对所述发射器施加所述稳态电压而在所述腔室之间产生非热等离子体；杆，所述杆通过电连接所述电压产生单元和所述发射器，将所述稳态电压施加到所述发射器；以及电弧防止单元，所述电弧防止单元通过在所述杆和所述腔室之间提供绝缘，防止所述杆和所述腔室之间发生电弧现象。2.根据权利要求1所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，所述电弧防止单元由绝缘材料制成，并且是供所述杆布置在其中的杆隔离装置。3.根据权利要求2所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，所述杆隔离装置是绝缘涂层构件，其涂覆所述杆的外表面以使所述杆的内部和外部绝缘。4.根据权利要求2所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，所述杆隔离装置包括其中的杆，设置为绝缘体，并且是直线或曲线柱，该柱的截面形状是多边形、圆形、椭圆形和具有倒圆顶点的多边形中的至少一种。5.根据权利要求1所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，所述电弧防止单元由绝缘材料制成，并且布置在所述腔室的内表面或外表面上，或布置在穿过所述腔室形成的腔室窗口中。6.根据权利要求5所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，所述电弧防止单元是绝缘膜，其涂覆在所述腔室的所述内表面上以包括所述杆在所述腔室的所述内表面上的正交投影。7.根据权利要求5所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，所述电弧防止单元是绝缘管，其布置成与所述腔室的所述内表面紧密接触，以包括所述杆在所述腔室的所述内表面上的正交投影。8.根据权利要求1所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，所述腔室设置有包括所述发射器在所述腔室的所述内表面上的正交投影的长度，并且所述电弧防止单元设置有由绝缘材料制成的绝缘管，并且所述腔室插入并布置在所述电弧防止单元中，但布置在所述腔室的所述内表面的面对所述发射器的位置。9.根据权利要求1所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，所述电源装置包括控制所述电压产生单元的控制单元，并且所述控制单元控制所述电压产生单元以电弧抑制模式操作，该电弧抑制模式通过产生最低电压来缓解电弧发生，在该最低电压下，所述发射器和所述腔室之间发生非热等离子体现象。10.根据权利要求9所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少
设备，其中，所述电源装置进一步包括电弧感测装置，该电弧感测装置感测所述电弧现象以产生电弧发生信号，并且所述控制单元根据所述电弧发生信号控制所述电压产生单元以所述电弧抑制模式操作。11.根据权利要求9所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，该废气颗粒物减少设备进一步包括：等离子体产生单元，所述等离子体产生单元由所述杆和所述发射器构成；多重等离子体产生单元，在所述多重等离子体产生单元中布置有多个等离子体产生单元；以及多重电压施加单元，所述多重电压施加单元控制施加到构成所述多重等离子体产生单元的所述多个等离子体产生单元的电压的大小。12.根据权利要求11所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，设置有多个电源装置，并且所述多个电源装置设置成使所述电源装置和所述等离子体产生单元逐个地彼此电连接或者一个电源装置和所述多个等离子体产生单元彼此电连接。13.根据权利要求11所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，所述多重电压施加单元的一侧与一个电源装置连接，并且所述多重电压施加单元的另一侧与所述多重等离子体产生单元连接。14.根据权利要求11所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，所述多重电压施加单元与所述电源装置的一侧连接，并且所述多重等离子体产生单元与所述电源装置的另一侧连接。15.根据权利要求13所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，所述多重电压施加单元进一步包括电压转换单元，该电压转换单元从所述电源装置接收所述稳态电压以将所述电压转换成所述最低电压。16.根据权利要求1所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，所述电弧防止单元的表面涂覆有光催化剂，以通过与从所述非热等离子体发射的紫外线反应来干扰所述废气中包括的细小烟尘的吸附。17.根据权利要求1所述的用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，其中，所述电弧防止单元的表面涂覆有抗化学改性涂层剂，以防止所述电弧防止单元因与所述废气中的污染物发生化学反应而被改性。

技术总结
公开了一种用于防止电弧现象的基于非热等离子体的废气颗粒物减少设备，该设备包括：腔室，其是管状体，废气在该管状体中流动并且所述腔室与接地电源连接；电源装置，其布置在所述腔室外，并包括电压产生单元，用于产生稳态电压，在该稳态电压下产生最大效率的非热等离子体现象；发射器，其布置在所述腔室内，并通过对其施加所述稳态电压而在所述腔室之间产生非热等离子体；杆，其通过电连接所述电压产生单元和所述发射器，将所述稳态电压施加到所述发射器；以及电弧防止单元，其通过在所述杆和所述腔室之间提供绝缘，防止所述杆和所述腔室之间发生电弧现象。室之间发生电弧现象。室之间发生电弧现象。


技术研发人员：孙昌秀 梁载善
受保护的技术使用者：最佳解决方案有限公司
技术研发日：2019.04.09
技术公布日：2021/11/19