一种环抛机用倾斜度可调节多孔质陶瓷吸附平台的制作方法

1.本发明涉及陶瓷吸附平台技术领域，具体为一种环抛机用倾斜度可调节多孔质陶瓷吸附平台。


背景技术：

2.微孔陶瓷吸加热附盘是各种半导体片加工过程中用于吸附及承载的专用性工具，广泛应用于减薄机、划片机、环抛机等工序。
3.拥有平面度、平行度高组织致密均匀、强度高通透性好、吸附力均匀易于修整等特点。
4.多孔陶瓷同时称之为纳米微孔真空吸盘，是指经过特殊的纳米粉体制造工艺先生产出均匀的实心或者真空球体，通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的陶瓷材料，凭借特殊的结构从而具有耐高温、耐磨损、耐化学腐蚀、机械强度高、易于再生和优良的抗热震性等优点，微孔陶瓷真空吸附盘是具有高孔隙率、高强度、高平整度，及吸附能力非常强等特点，广泛应用于半导体、磁性材料、电子行业。
5.但是目前使用的陶瓷吸附平台其角度不易调节，不能根据其环抛机的需要带动货物多角度倾斜，其使用效果较差。


技术实现要素：

6.本发明的目的在于提供一种环抛机用倾斜度可调节多孔质陶瓷吸附平台，以解决上述背景技术中提出的问题。
7.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种环抛机用倾斜度可调节多孔质陶瓷吸附平台，包括底座，所述底座上端中部通过转轴活动设置有转动盘，所述转动盘上端固定设置有固定框架，所述固定框架内部下端两侧均固定设置有第一固定块，所述第一固定块内部通过销轴活动设置有第一电动推杆，所述第一电动推杆上端通过销轴活动设置有第二固定块，所述第二固定块上端固定设置有安装板，所述安装板上端固定设置有多孔陶瓷板，所述安装板内部上端开设有真空槽，所述真空槽下端固定设置有通气管，所述固定框架上端中部固定设置有弧形基座，所述弧形基座内部活动卡合设置有球体，所述球体上端与安装板之间固定连接。
8.优选的，所述转动盘所在转轴表面固定设置有齿轮，所述底座内部一侧通过安装座固定设置有第二电动推杆，所述第二电动推杆的伸缩杆轴端固定设置有齿条，所述齿条与齿轮之间相互啮合，通过第二电动推杆的伸缩可以带动齿轮转动。
9.优选的，所述底座表面一侧固定设置有控制箱，所述控制箱分别与第一电动推杆和第二电动推杆之间电性连接，通过控制箱可以控制第一电动推杆和第二电动推杆的工作。
10.优选的，所述通气管远离安装板的一端固定设置有连接法兰，通过连接法兰可以方便通气管外接管道。
11.优选的，所述底座表面两侧下端均固定设置有固定板，所述固定板外侧表面中部开设有安装孔，通过固定板和安装孔可以方便将装置固定安装在目标区域。
12.与现有技术相比，本发明的有益效果是：1、本发明通过控制箱控制两侧的第一电动推杆一个伸长一个缩短，即可使得安装板、多孔陶瓷板以及球体围绕弧形基座进行倾斜，如此即可便于调节多孔陶瓷板的角度，从而可以方便对需要进行环抛的物品进行吸附固定。
13.2、本发明通过第二电动推杆伸长或者缩短，即可通过第二电动推杆带动齿条移动，齿条移动后即可通过齿轮带动转动盘转动，如此即可使得安装板以及多孔陶瓷板在360
°
的范围内可以任意角度倾斜，从而可以进一步提高装置的使用效果。
附图说明
14.图1为本发明一种环抛机用倾斜度可调节多孔质陶瓷吸附平台整体结构示意图；图2为本发明一种环抛机用倾斜度可调节多孔质陶瓷吸附平台底座内部结构视图；图3为本发明一种环抛机用倾斜度可调节多孔质陶瓷吸附平台安装板内部结构视图。
15.图中：1、底座；2、转动盘；3、固定框架；4、第一固定块；5、第一电动推杆；6、第二固定块；7、安装板；8、多孔陶瓷板；9、真空槽；10、通气管；11、弧形基座；12、球体；13、齿轮；14、第二电动推杆；15、齿条；16、控制箱；17、连接法兰；18、固定板；19、安装孔。
具体实施方式
16.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
17.请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：一种环抛机用倾斜度可调节多孔质陶瓷吸附平台，包括底座1，所述底座1上端中部通过转轴活动设置有转动盘2，所述转动盘2上端固定设置有固定框架3，所述固定框架3内部下端两侧均固定设置有第一固定块4，所述第一固定块4内部通过销轴活动设置有第一电动推杆5，所述第一电动推杆5上端通过销轴活动设置有第二固定块6，所述第二固定块6上端固定设置有安装板7，所述安装板7上端固定设置有多孔陶瓷板8，所述安装板7内部上端开设有真空槽9，所述真空槽9下端固定设置有通气管10，所述固定框架3上端中部固定设置有弧形基座11，所述弧形基座11内部活动卡合设置有球体12，所述球体12上端与安装板7之间固定连接。
18.所述转动盘2所在转轴表面固定设置有齿轮13，所述底座1内部一侧通过安装座固定设置有第二电动推杆14，所述第二电动推杆14的伸缩杆轴端固定设置有齿条15，所述齿条15与齿轮13之间相互啮合，通过第二电动推杆14的伸缩可以带动齿轮13转动，所述底座1表面一侧固定设置有控制箱16，所述控制箱16分别与第一电动推杆5和第二电动推杆14之间电性连接，通过控制箱16可以控制第一电动推杆5和第二电动推杆14的工作，所述通气管10远离安装板7的一端固定设置有连接法兰17，通过连接法兰17可以方便通气管10外接管道，所述底座1表面两侧下端均固定设置有固定板18，所述固定板18外侧表面中部开设有安装孔19，通过固定板18和安装孔19可以方便将装置固定安装在目标区域。
19.工作原理：使用装置时可以通过固定板18和安装孔19将装置固定安装在目标区域，随后即可通过通气管10将真空槽9内部的空气排出，使得真空槽9内部形成负压，随即即可使得多孔陶瓷板8表面的小孔内部形成负压，如此即可通过多孔陶瓷板8表面的众多小孔对货物进行吸附，在吸附完成后，即可通过控制箱16控制两侧的第一电动推杆5一个伸长一个缩短，即可使得安装板7、多孔陶瓷板8以及球体12围绕弧形基座11进行倾斜，如此即可便于调节多孔陶瓷板8的角度，从而可以方便对需要进行环抛的物品进行吸附固定加工，并且在多孔陶瓷板8的倾斜角度调整完毕后，可以控制第二电动推杆14伸长或者缩短，即可通过第二电动推杆14带动齿条15移动，齿条15移动后即可通过齿轮13带动转动盘2转动，如此即可使得安装板7以及多孔陶瓷板8在360
°
的范围内可以任意角度倾斜，从而可以进一步提高装置的使用效果，这就是本发明一种环抛机用倾斜度可调节多孔质陶瓷吸附平台的工作原理。
20.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
21.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。