一种曝光机料带拉紧机构的制作方法

1.本实用新型涉及曝光机，具体是一种曝光机料带拉紧机构。


背景技术：

2.芯片生产主要包括以下步骤：利用模版去除晶圆表面的保护膜；将晶圆浸泡在腐化剂中，失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路；用纯水洗净残留在晶圆表面的杂质。
3.其中曝光机就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备，为了方便实现模版的装夹、对准，曝光机中一般配置掩膜夹、抽拉掩膜台通过两者的配合作用将掩膜料带拉紧再进行曝光打标，而在装夹过程中若出现松紧边情况则直接影响了曝光打标精度。


技术实现要素：

4.本实用新型为克服上述情况不足，旨在提供一种能解决上述问题的技术方案。
5.一种曝光机料带拉紧机构，包括安装底板、过料机架，过料机架上设有托料板、压料气缸，压料气缸的伸缩杆上固定安装有将料带压紧于托料板上的压料板，安装底板上安装有偏转圆盘，过料机架固定安装于偏转圆盘上，安装底板上位于偏转圆盘的两侧分别固定安装有调节电机，调节电机的转轴上同轴连接有驱动丝杆，安装底板上位于调节电机的前侧安装有调节滑轨，调节滑轨上设有与之滑动配合的调节滑块，调节滑块上固定安装有与驱动丝杆螺纹连接的驱动块，驱动块上固定安装有压力传感器，托料板的底部两头分别固定有与压力传感器的头部相抵的挡块。
6.进一步的，安装底板上位于过料机架的前侧固定安装有夹料支架并与夹料支架的顶部固定安装有夹料托板，安装底板上位于夹料支架的两侧分别固定安装有夹料气缸，两个夹料气缸的伸缩杆之间固定连接有夹料压板。
7.进一步的，安装底板上固定安装有主体滑轨，主体滑轨上设有与之滑动配合的主体滑板，偏转圆盘转动安装于主体滑板上。
8.进一步的，安装底板上位于过料机架的前侧固定安装有对位标尺。
9.与现有技术相比，本实用新型取得的有益效果为：本实用新型通过检测挡块对压力传感器的压力来表现料带的两边拉力，并通过调节电机进行调整，方便调节料带两边的压力一致，避免出现松紧边，保证曝光精度。
10.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
11.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
12.图1为本实用新型的结构示意图。
13.图2为本实用新型中安装底板的结构示意图。
14.图3为图2中a处的局部放大图。
具体实施方式
15.下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.请参阅图1～3，一种曝光机料带拉紧机构，包括安装底板1、过料机架2，过料机架2上设有托料板3、压料气缸4，压料气缸4的伸缩杆上固定安装有将料带压紧于托料板3上的压料板5，安装底板1上安装有偏转圆盘6，过料机架2固定安装于偏转圆盘6上，安装底板1上位于偏转圆盘6的两侧分别固定安装有调节电机7，调节电机7的转轴上同轴连接有驱动丝杆8，安装底板1上位于调节电机7的前侧安装有调节滑轨9，调节滑轨9上设有与之滑动配合的调节滑块10，调节滑块10上固定安装有与驱动丝杆8螺纹连接的驱动块11，驱动块11上固定安装有压力传感器12，托料板3的底部两头分别固定有与压力传感器12的头部相抵的挡块13。本实用新型通过检测挡块13对压力传感器12的压力来表现料带的两边拉力，并通过调节电机7进行调整，方便调节料带两边的压力一致，避免出现松紧边，保证曝光精度。
17.进一步的，安装底板1上位于过料机架2的前侧固定安装有夹料支架14并与夹料支架14的顶部固定安装有夹料托板15，安装底板1上位于夹料支架14的两侧分别固定安装有夹料气缸16，两个夹料气缸16的伸缩杆之间固定连接有夹料压板17。经过拉力校准后，夹料气缸16驱动夹料压板17下压并与夹料托板15夹紧料带，避免在打标的过程中料带的振动影响压力传感器12的检测数据。
18.进一步的，安装底板1上固定安装有主体滑轨18，主体滑轨18上设有与之滑动配合的主体滑板19，偏转圆盘6转动安装于主体滑板19上。偏转圆盘6整体可滑动，方便对料带的张紧力度进行微调。
19.进一步的，安装底板1上位于过料机架2的前侧固定安装有对位标尺22。对位标尺22方便料带经过时进行对位，防止料带偏移。
20.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。


技术特征：
1.一种曝光机料带拉紧机构，包括安装底板、过料机架，过料机架上设有托料板、压料气缸，压料气缸的伸缩杆上固定安装有将料带压紧于托料板上的压料板，其特征在于，安装底板上安装有偏转圆盘，过料机架固定安装于偏转圆盘上，安装底板上位于偏转圆盘的两侧分别固定安装有调节电机，调节电机的转轴上同轴连接有驱动丝杆，安装底板上位于调节电机的前侧安装有调节滑轨，调节滑轨上设有与之滑动配合的调节滑块，调节滑块上固定安装有与驱动丝杆螺纹连接的驱动块，驱动块上固定安装有压力传感器，托料板的底部两头分别固定有与压力传感器的头部相抵的挡块。2.根据权利要求1所述一种曝光机料带拉紧机构，其特征在于，安装底板上位于过料机架的前侧固定安装有夹料支架并与夹料支架的顶部固定安装有夹料托板，安装底板上位于夹料支架的两侧分别固定安装有夹料气缸，两个夹料气缸的伸缩杆之间固定连接有夹料压板。3.根据权利要求1所述一种曝光机料带拉紧机构，其特征在于，安装底板上固定安装有主体滑轨，主体滑轨上设有与之滑动配合的主体滑板，偏转圆盘转动安装于主体滑板上。4.根据权利要求1所述一种曝光机料带拉紧机构，其特征在于，安装底板上位于过料机架的前侧固定安装有对位标尺。

技术总结
本实用新型涉及曝光机，具体是一种曝光机料带拉紧机构。一种曝光机料带拉紧机构，包括安装底板、过料机架，过料机架上设有托料板、压料气缸，压料气缸的伸缩杆上固定安装有将料带压紧于托料板上的压料板，安装底板上安装有偏转圆盘，过料机架固定安装于偏转圆盘上，安装底板上位于偏转圆盘的两侧分别固定安装有调节电机，调节电机的转轴上同轴连接有驱动丝杆，安装底板上位于调节电机的前侧安装有调节滑轨，调节滑轨上设有与之滑动配合的调节滑块，调节滑块上固定安装有与驱动丝杆螺纹连接的驱动块，驱动块上固定安装有压力传感器，托料板的底部两头分别固定有与压力传感器的头部相抵的挡块。部相抵的挡块。部相抵的挡块。


技术研发人员：段涛
受保护的技术使用者：东莞市正凯机电设备有限公司
技术研发日：2021.04.15
技术公布日：2021/11/17