一种准分子紫外激光器的制作方法

一种准分子紫外激光器
【技术领域】
1.本实用新型涉及一种准分子紫外激光器。


背景技术：

2.现有的准分子紫外激光器的部件大多包括紫外激光生成装置、储能电容模组、闸流管模组和电源等部件，各部件大多都是固定安装在安装架组件上，位置和体积都不能够变动，因此如果改动紫外激光生成装置储能电容模组、闸流管模组部件等部件的高度或长度，那现有的安装架组件就不适配了，需要生产新的支架，容易造成浪费。
3.本实用新型正是基于上述不足研发而产生的。


技术实现要素：

4.本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供一种能够适配并安装不同大小或宽度的紫外激光生成装置、储能电容模组、闸流管模组和电源部件的准分子紫外激光器。
5.本实用新型是通过以下技术方案实现的：
6.一种准分子紫外激光器，其特征在于：包括外壳1，所述的外壳1内设置有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的紫外激光生成装置2、储能电容模组3、闸流管模组4，以及电源5，所述的外壳1内还设有用于安装电源5、紫外激光生成装置2、储能电容模组3和闸流管模组4的安装架组件6，所述的安装架组件6包括底座61，所述的底座61上滑动连接有用于固定安装紫外激光生成装置2的第一支架62，所述的第一支架62上滑动连接有用于固定安装储能电容模组3的第二支架63，所述的第二支架63上滑动连接有用于固定安装闸流管模组4和电源5的第三支架64，且所述的安装架组件6还包括能够驱动第一支架62、第二支架63和第三支架64同时滑动而调节各支架相对底座61高度并使得各支架之间产生间隔的高度调节装置65。
7.如上所述的准分子紫外激光器，其特征在于：所述的高度调节装置65包括转动连接于底座61上的第一转动轮651，转动连接于第一支架62下部的第二转动轮652，转动连接于第二支架63上部的第三转动轮653，转动连接于第二支架63下部的第四转动轮654，转动连接于第二支架63上部的第五转动轮655，所述的底座61上还设有转动装置66，且所述的转动装置66与第三支架64支架之间设有连接带67，所述的连接带67的一端连接在转动装置66上，另一端依次绕第一转动轮651、第二转动轮652、第三转动轮653、第四转动轮654和第五转动轮655后固定在第三支架64的下端，且在转动装置66转动时连接带67跟随转动装置66转动并缠绕在转动装置66以拉动第一支架62、第二支架63和第三支架64相对底座61向上移动而调节各支架之间的高度。
8.如上所述的准分子紫外激光器，其特征在于：所述的底座61上设有第一限位块611，所述的第一支架62上设有在其滑动时能够与第一限位块611顶靠而限制第一支架62滑动的第一顶靠部621，所述的第一支架62上设有第二限位块622，所述的第二支架63上设有在其滑动时能够与第二限位块622顶靠而限制第二支架63滑动的第二顶靠部632，所述的第
二支架63上设有第三限位块631，所述的第三支架64上设有在其滑动时能够与第三限位块631顶靠而限制第三支架64滑动的第三顶靠部641。
9.如上所述的准分子紫外激光器，其特征在于：所述的转动装置66包括转动连接于底座61上的主动轮661，所述的连接带67一端连接在主动轮661上，所述的转动装置66还包括能够与主动轮661连接并能驱动主动轮661转动而使得连接带67缠绕在主动轮661上的电机662。
10.如上所述的准分子紫外激光器，其特征在于：所述的第一支架62上设有多个能够横向滑动的连接件623，且所述的紫外激光生成装置2与连接件623之间设有l型固定板624。
11.如上所述的准分子紫外激光器，其特征在于：所述的第二支架63上对称设有固定支架633，且两个所述的固定支架633之间设有能够固定安装储能电容模组3的支撑板634。
12.如上所述的准分子紫外激光器，其特征在于：所述的第三支架64上设有用于固定闸流管模组4的立架642，闸流管模组4上下两端分别连接有用于散热的第一散热片组件71和第二散热片组件72，所述的第二散热片组件72与立架642之间可拆卸连接有能够将二者相互连接的固定板643，且所述的第三支架64上可拆卸连接有用于固定第一散热片组件71的支撑板644。
13.如上所述的准分子紫外激光器，其特征在于：所述的第一支架62上还连接有保护壳68，所述的保护壳68上设有多个通风孔681，所述的保护壳68上还连接有用于向闸流管模组4出风而进行散热的风扇8。
14.如上所述的准分子紫外激光器，其特征在于：所述的保护壳68上还设有能供紫外激光生成装置2发出的激光通过的通槽682。
15.如上所述的准分子紫外激光器，其特征在于：所述的第三支架64上还设有用于放置电源5的安装盒645。
16.与现有技术相比，本实用新型有如下优点：
17.1、本实用新型准分子紫外激光器在进行安装时，首先驱动高度调节装置，高度调节装置在驱动后同时驱使第一支架、第二支架和第三支架移动而调节第一支架、第二支架和第三支架相对底座的高度，并在调整高度的同时，第一支架与底座之间、第二支架与第一支架之间，以及第三支架与第二支架之间能够形成间隔，然后再将紫外激光生成装置、储能电容模组和闸流管模组和电源分别安装至第一支架、第二支架和第三支架上，若部件之间还存在间隔则通过驱动高度调节装置反向移动而减小各部件之间的间隔，从而调节至最佳的位置，并且由于第一支架与底座之间、第二支架与第一支架之间，以及第三支架与第二支架之间形成了间隔，因能够适配不同体积的紫外激光生成装置、储能电容模组3和闸流管模组和电源，无需生产多个不同型号的安装架组件，适配的范围广，减少浪费。
18.2、底座、第一支架、第二支架之间采用套接，能够减小体积，而且高度调节装置能够同时驱动第一支架、第二支架和第三支架移动，操作更简便。
【附图说明】
19.图1是本实用新型准分子紫外激光器的立体图之一；
20.图2是本实用新型准分子紫外激光器的立体图之二；
21.图3是本实用新型准分子紫外激光器的使用状态图之一；
22.图4是本实用新型准分子紫外激光器的使用状态图之二；
23.图5是本实用新型准分子紫外激光器的立体图之三；
24.图6是本实用新型准分子紫外激光器的立体图之四；
25.图7是本实用新型准分子紫外激光器的立体图之五。
【具体实施方式】
26.下面结合附图对本实用新型作进一步描述：
27.如图1至7所示，本实用新型提供一种准分子紫外激光器，包括外壳1，所述的外壳1内设置有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的紫外激光生成装置2、储能电容模组3、闸流管模组4，以及电源5，所述的外壳1内还设有用于安装电源5、紫外激光生成装置2、储能电容模组3和闸流管模组4的安装架组件6，所述的安装架组件6包括底座61，所述的底座61上滑动连接有用于固定安装紫外激光生成装置2的第一支架62，所述的第一支架62上滑动连接有用于固定安装储能电容模组3的第二支架63，所述的第二支架63上滑动连接有用于固定安装闸流管模组4和电源5的第三支架64，且所述的安装架组件6还包括能够驱动第一支架62、第二支架63和第三支架64同时滑动而调节各支架相对底座61高度并使得各支架之间产生间隔的高度调节装置65。
28.本实用新型准分子紫外激光器在进行安装时，首先驱动高度调节装置65，高度调节装置65在驱动后同时驱使第一支架62、第二支架63和第三支架64移动而调节第一支架62、第二支架63和第三支架64相对底座61的高度，并再调整高度的同时，第一支架62与底座61之间、第二支架63与第一支架62之间，以及第三支架64与第二支架63之间能够形成间隔，然后在将紫外激光生成装置2、储能电容模组3和闸流管模组4和电源5分别安装至第一支架62、第二支架63和第三支架64上，若部件之间还存在间隔则通过驱动高度调节装置65反向移动而减小各部件之间的间隔，从而调节至最佳的位置，并且由于第一支架62与底座61之间、第二支架63与第一支架62之间，以及第三支架64与第二支架63之间形成了间隔，因能够适配不同体积的紫外激光生成装置2、储能电容模组3和闸流管模组4和电源5，无需生产多个不同型号的安装架组件，操作更方便，适配的范围广，减少浪费。底座61、第一支架62、第二支架63之间采用套接，能够减小体积，而且高度调节装置65能够同时驱动第一支架62、第二支架63和第三支架64移动，操作更简便。
29.如图2和图4所示，所述的高度调节装置65包括转动连接于底座61上的第一转动轮651，转动连接于第一支架62下部的第二转动轮652，转动连接于第二支架63上部的第三转动轮653，转动连接于第二支架63下部的第四转动轮654，转动连接于第二支架63上部的第五转动轮655，所述的底座61上还设有转动装置66，且所述的转动装置66与第三支架64支架之间设有连接带67，所述的连接带67的一端连接在转动装置66上，另一端依次绕第一转动轮651、第二转动轮652、第三转动轮653、第四转动轮654和第五转动轮655后固定在第三支架64的下端，且在转动装置66转动时连接带67跟随转动装置66转动并缠绕在转动装置66以拉动第一支架62、第二支架63和第三支架64相对底座61向上移动而调节各支架之间的高度。
30.如图2和图4所示，所述的底座61上设有第一限位块611，所述的第一支架62上设有在其滑动时能够与第一限位块611顶靠而限制第一支架62滑动的第一顶靠部621，所述的第
一支架62上设有第二限位块622，所述的第二支架63上设有在其滑动时能够与第二限位块622顶靠而限制第二支架63滑动的第二顶靠部632，所述的第二支架63上设有第三限位块631，所述的第三支架64上设有在其滑动时能够与第三限位块631顶靠而限制第三支架64滑动的第三顶靠部641。
31.当转动装置66启动时，连接带67跟随转动装置66转动并缠绕在转动装置66上，此时连接带67的长度就缩短了，连接带67依次带动第一转动轮651、第二转动轮652、第三转动轮653、第四转动轮654和第五转动轮655转动，并且连接带67的另一端拉动第三支架64向上移动，在第三支架64上的第三顶靠部641与第二支架63上的第三限位块631顶靠后第三支架64带动第二支架63向上移动，第二支架63跟随第三支架64向上移动的过程中第二支架63上的第二顶靠部632就与第一支架62上的第二限位块622顶靠而带动第一支架62移动，直至第一支架62上的第一顶靠部621与底座61上的第一限位块611顶靠时，整个安装架组件6的高度达到最大。且第三支架64上的第三顶靠部641与第二支架63上的第三限位块631之间的高度差就是第三支架64与第二支架63之间的间隔，第二支架63上的第二顶靠部632与第一支架62上的第二限位块622之间的高度差就是第二支架63与第一支架62之间的间隔，第一支架62上的第一顶靠部621与底座61上的第一限位块611之间的高度差就是第一支架62与底座61之间的间隔。
32.如图2和图4所示，所述的转动装置66包括转动连接于底座61上的主动轮661，所述的连接带67一端连接在主动轮661上，所述的转动装置66还包括能够与主动轮661连接并能驱动主动轮661转动而使得连接带67缠绕在主动轮661上的电机662。电机662为能够正反转的步进电机。
33.如图5所示，所述的第一支架62上设有多个能够横向滑动的连接件623，且所述的紫外激光生成装置2与连接件623之间设有l型固定板624。连接件623能够横向滑动而适配不同长度的紫外激光生成装置2，使用的更广泛，紫外激光生成装置2通过l型固定板624固定在第一支架62上，紫外激光生成装置2还通过螺钉等部件固定在底座61上，固定的更牢固。
34.如图6所示，所述的第二支架63上对称设有固定支架633，且两个所述的固定支架633之间设有能够固定安装储能电容模组3的支撑板634。支撑板634能够适配不同长度的电容模组3。
35.如图7所示，所述的第三支架64上设有用于固定闸流管模组4的立架642，闸流管模组4上下两端分别连接有用于散热的第一散热片组件71和第二散热片组件72，所述的第二散热片组件72与立架642之间可拆卸连接有能够将二者相互连接的固定板643，且所述的第三支架64上可拆卸连接有用于固定第一散热片组件71的支撑板644。第一散热片组件71和第二散热片组件72用于对闸流管模组4进行散热，固定板643和支撑板644可拆卸连接于第三支架64上，能够安装在不同的位置便于适配不同长度的第一散热片组件71和第二散热片组件72。
36.如图7所示，所述的第一支架62上还连接有保护壳68，所述的保护壳68上设有多个通风孔681，所述的保护壳68上还连接有用于向闸流管模组4出风而进行散热的风扇8。风扇8用于对闸流管模组4进行降温。
37.如图1所示，所述的保护壳68上还设有能供紫外激光生成装置2发出的激光通过的
通槽682。
38.如图1所示，所述的第三支架64上还设有用于放置电源5的安装盒645。电源5能够直接放置在安装盒645内，无需进行安装。