一种基于TSV的平面折叠型直接耦合腔体滤波器的制作方法

技术特征：
1.一种基于tsv的平面折叠型直接耦合腔体滤波器，其特征在于：包括相互平行设置的上层rdl和下层rdl，上层rdl和下层rdl之间设有硅衬底，硅衬底上分布有由tsv构成的四个谐振腔；上层rdl的相对两侧分别设有输入rdl端口和输出rdl端口。2.根据权利要求1所述的一种基于tsv的平面折叠型直接耦合腔体滤波器，其特征在于：四个所述谐振腔之间依次采用电感正耦合结构。3.根据权利要求1所述的一种基于tsv的平面折叠型直接耦合腔体滤波器，其特征在于：四个所述谐振腔分别为第一谐振腔、第二谐振腔、第三谐振腔及第四谐振腔；第一谐振腔与第四谐振腔对称设置，第二谐振腔与第三谐振腔对称设置。4.根据权利要求3所述的一种基于tsv的平面折叠型直接耦合腔体滤波器，其特征在于：所述输入rdl端口位于第一谐振腔内；所述输出rdl端口位于第四谐振腔内。5.根据权利要求4所述的一种基于tsv的平面折叠型直接耦合腔体滤波器，其特征在于：所述输入rdl端口和第一谐振腔之间的耦合结构与第四个谐振腔和输出rdl端口的耦合结构相同，均采用微带线和共面波导结合的方式实现馈电。

技术总结
本发明公开了一种基于TSV的平面折叠型直接耦合腔体滤波器，包括相互平行设置的上层RDL和下层RDL，上层RDL和下层RDL之间设有硅衬底，硅衬底上分布有由TSV构成的四个谐振腔；上层RDL的相对两侧分别设有输入RDL端口和输出RDL端口。本发明中的馈线采用微带线和共面波导相结合的方式，并且直接耦合结构形成的四个腔，在同等性能下，减小了面积。减小了面积。减小了面积。


技术研发人员：王凤娟 彭权 余宁梅 杨媛 朱樟明 尹湘坤
受保护的技术使用者：西安理工大学
技术研发日：2021.08.17
技术公布日：2021/11/17