一种半导体加工过程用自动化检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及检测装置技术领域，特别是涉及一种半导体加工过程用自动化检测装置。


背景技术：

2.物质存在的形式多种多样，固体、液体、气体、等离子体等等。我们通常把导电性差的材料，如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体；在对其加工过程中需要使用到自动化检测装置。
3.但是现有的自动化检测装置仍存在一些弊端，当装置在使用时，显示屏的表面会落有一定的灰尘，长期使用后，使得工作人员在观察数据时存在不清楚且模糊的问题，致使为此我们提出一种半导体加工过程用自动化检测装置。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种半导体加工过程用自动化检测装置，通过设置的防尘机构，能够便于对壳体上的显示屏起到防尘、保护的作用，继而保障了显示屏对检测数据的显示作用，从而提高了装置的检测效果。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工过程用自动化检测装置，包括壳体，所述壳体的前表面固定有第一固定块，所述第一固定块的两侧表面均固定有转轴，所述转轴的末端轴承套接有第二固定块，所述第二固定块的一侧表面固定有透明防尘盖，所述透明防尘盖的一侧表面固定有第一连接块，所述第一连接块的后表面固定有卡块；所述壳体的前表面固定有与按钮相对应的第二连接块，所述第二连接块的前表面开设有固定槽，所述固定槽的两侧内部均固定有弹片；所述卡块处于固定槽的内部，所述弹片的一侧表面紧贴于卡块的一侧表面。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述壳体的前表面活动贯穿有按钮；所述壳体的空腔固定有固定框，所述固定框的外壁穿设有滑柱，所述滑柱延伸至固定框的内腔并于末端固定有橡胶触头；所述固定框的内腔固定有与橡胶触头相对应的开关；所述滑柱与固定框的连接处固定有复位弹簧，所述复位弹簧环于滑柱的外壁。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述壳体的两侧表面均开设有散热窗，所述散热窗的内部通过螺栓固定有防尘网。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述透明防尘盖的外表面固定有防撞条，所述防撞条呈“s”状等距分布。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述壳体的两侧表面均固定有防滑条，所述防滑条呈“w”状等距分布。
10.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑柱的两侧表面均开设有滑槽，所述固定框的两侧内部均固定有与滑槽滑合的滑块，所述滑块与滑槽插接适配。
11.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述弹片的一侧表面固定有软质垫，所述
软质垫的一侧表面设置有防滑条。
12.与现有技术相比，本实用新型能达到的有益效果是：
13.1、通过设置的透明防尘盖，有效避免了当装置在使用时，显示屏的表面会落有一定的灰尘，长期使用后，使得工作人员在观察数据时存在不清楚且模糊的问题，能够便于对壳体上的显示屏起到防尘、保护的作用，继而保障了显示屏对检测数据的显示作用，从而提高了装置的检测效果；
14.2、通过设置的橡胶触头，有效避免了当装置长时间使用后，按钮在复位时可能会出现复位不到位，甚至出现卡顿现象的问题，使得按钮能够快速、准确的复位，继而保障了按钮对装置的控制作用，同时也延长了按钮的使用寿命。
附图说明
15.图1为本实用新型的结构示意图；
16.图2为本实用新型的图1中壳体与透明防尘盖的俯视结构示意图；
17.图3为本实用新型的图2中a的放大图；
18.图4为本实用新型的图1中按钮与壳体的部分侧视结构示意图；
19.图5为本实用新型的图4中滑柱的俯视结构示意图；
20.其中：1、壳体；2、第一固定块；3、转轴；4、第二固定块；5、透明防尘盖；6、第一连接块；7、按钮；8、第二连接块；9、卡块；10、固定槽；11、弹片；12、固定框；13、开关；14、滑柱；15、复位弹簧；16、橡胶触头；17、滑块；18、滑槽。
具体实施方式
21.为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。
22.实施例:
23.如图1
‑
图3所示，一种半导体加工过程用自动化检测装置，包括壳体1，壳体1的前表面固定有第一固定块2，第一固定块2的两侧表面均固定有转轴3，转轴3的末端轴承套接有第二固定块4，第二固定块4的一侧表面固定有透明防尘盖5，透明防尘盖5的一侧表面固定有第一连接块6，第一连接块6的后表面固定有卡块9；壳体 1的前表面固定有与按钮7相对应的第二连接块8，第二连接块8的前表面开设有固定槽10，固定槽10的两侧内部均固定有弹片11；卡块9处于固定槽10的内部，弹片11的一侧表面紧贴于卡块9的一侧表面；
24.在对装置上的显示屏进行防尘、保护时，首先将透明防尘盖5通过第二固定块4与转轴3之间的转动，能够盖合在壳体1的前表面，然后这时的卡块9将会卡合在固定槽10的内部，然后再通过固定槽 10内部的两组弹片11，通过其自身的弹性作用力紧紧地将卡块9卡合在固定槽10的内部，使得透明防尘盖5能够紧固的盖合在壳体1 的前侧，继而实现了能够便于对壳体1上的显示屏起到防尘、保护的作用，继而保障了显示屏对检测数据的显示作
用，从而提高了装置的检测效果。
25.在其他实施例中，本实施例公开了复位机构的安装位置，如图1、图4所示，壳体1的前表面活动贯穿有按钮7；壳体1的空腔固定有固定框12，固定框12的外壁穿设有滑柱14，滑柱14延伸至固定框 12的内腔并于末端固定有橡胶触头16；固定框12的内腔固定有与橡胶触头16相对应的开关13；滑柱14与固定框12的连接处固定有复位弹簧15，复位弹簧15环于滑柱14的外壁；
26.在对按钮7进行复位时，首先通过向内按压按钮7，继而带动着滑柱14通过滑块17在滑槽18内部的滑动能够在固定框12的内部前后位置的移动，此时的复位弹簧15将会处于压缩状态，能够使得橡胶触头16能够触动到开关13，继而能够对装置整体进行操作控制，然后再松开按钮7后，此时的橡胶触头16将会通过复位弹簧15回弹力的作用，离开开关13的表面，进而能够将按钮7弹回至初始位置，致使能够实现快速、准确的复位，继而保障了按钮7对装置的控制作用，同时也延长了按钮7的使用寿命。
27.在其他实施例中，本实施例公开了散热窗与防尘网的安装位置，如图1所示，壳体1的两侧表面均开设有散热窗，散热窗的内部通过螺栓固定有防尘网；
28.使得能够对壳体1内部的零件起到散热、降温的作用，继而保障了装置的正常工作。
29.在其他实施例中，本实施例公开了防撞条的安装位置，如图1所示，透明防尘盖5的外表面固定有防撞条，防撞条呈“s”状等距分布；
30.使得能够减少外部因素对透明防尘盖5造成的损坏，继而延长了透明防尘盖5的使用寿命。
31.在其他实施例中，本实施例公开了防滑条的安装位置，如图1所示，壳体1的两侧表面均固定有防滑条，防滑条呈“w”状等距分布；
32.使得工作人员在携带或使用装置时，具有一定的防滑效果。
33.在其他实施例中，本实施例公开了滑块17与滑槽18的安装位置，如图3、图4所示，滑柱14的两侧表面均开设有滑槽18，固定框12 的两侧内部均固定有与滑槽18滑合的滑块17，滑块17与滑槽18插接适配；
34.使得滑柱14能够通过滑块17与滑槽18限位滑动，能够对安装在固定框12内部的开关13进行按压与松开，继而保障了按钮7按压时的复位情况
35.在其他实施例中，本实施例公开了软质垫的安装位置，如图3所示，弹片11的一侧表面固定有软质垫，软质垫的一侧表面设置有防滑条；
36.使得能够增大弹片11对卡块9的卡合，使得卡合更加稳固。
37.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
38.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述
的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。