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一种散热除尘机构的制作方法

2021-11-16 01:19:00 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及太阳能光伏行业的技术领域,尤其涉及一种散热除尘机构。


背景技术:

2.扩散、氧化、退火、pe等高温设备,是太阳能光伏行业使用最普遍的技术设备,太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做pecvd镀膜,这个工序就用到石墨舟,石墨舟作为硅片的载体,可以把需要进行工艺加工的硅片放在石墨舟中送入设备进行各种工艺加工,经过一系列化学反应后在硅片表面镀上一层膜。在此过程中,石墨舟和缓存架这两种装置就成为硅片加工设备必不可少的组成部分,而随着光伏的技术发展,设备的产能增大,设备尺寸的大小不可避免的增大,这也带来了石墨舟散热的问题,如何在工艺时间无法优化还需追求产能最大化时,降低成本、提高设备性能和工作效率成为目前的重点问题之一。
3.现有的石墨舟的主要散热方式主要采用的方式为风扇散热,而风扇吹风会将缓存架上的灰尘和颗粒吹起造成扬尘,在静电的作用下,硅片表面会粘附大量灰尘,导致硅片的污染和不良。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种散热除尘机构,以解决现有技术中水冷风扇散热造成扬尘,导致硅片被污染的问题。
5.为达上述目的,本实用新型采用以下技术方案:
6.本实用新型提供一种散热除尘机构,该散热除尘机构包括:
7.缓存架,所述缓存架上设有储舟位,所述储舟位用于放置待散热元件;
8.抽风装置,所述抽风装置设置于所述缓存架底部,所述抽风装置包括抽风箱、抽风通道和具有抽风功能的风机,所述抽风箱设有通风口,所述通风口正对所述储舟位设置,所述抽风通道连通所述抽风箱和所述风机,且所述抽风通道上可拆卸地设有过滤装置。
9.可选的,所述通风口的直径为1mm~3mm。
10.可选的,所述通风口呈多行多列分布。
11.可选的,所述过滤装置包括滤芯,所述滤芯相对于抽风通道可抽拉。
12.可选的,所述散热除尘机构设有控制器以及光电开关或机械开关,所述光电开关或所述机械开关被配置为检测到所述缓存架上存在所述待散热元件时,发送信号给所述控制器,所述控制器控制所述风机开启。
13.可选的,所述抽风通道上安装有自动控制阀门,所述自动控制阀门与所述控制器电连接。
14.可选的,所述抽风箱包括上盖板,所述通风口设置于上盖板上。
15.可选的,所述上盖板内部设有冷却流道,所述冷却流道用于流通冷却介质,所述冷却流道与所述通风口不连通。
16.可选的,所述缓存架设置为多个,多个所述缓存架层叠设置,每个所述缓存架底部
均设有所述抽风装置。
17.可选的,所述缓存架设置为多个,多个所述缓存架层叠设置,所述抽风装置包括多个所述抽风箱,多个所述抽风箱同时连通于所述抽风通道,每个所述缓存架的储舟位均对应设有一个所述抽风箱。
18.本实用新型的有益效果为:
19.本实用新型提供一种散热除尘机构,该散热除尘机构包括缓存架和抽风装置,缓存架上设有用于放置待散热元件的储舟位,抽风装置包括抽风箱、抽风通道和风机,抽风箱上设有对应所述储舟位的通风口,抽风通道连通抽风箱和风机,且抽风通道上可拆卸地设有过滤装置。
20.通过上述设置,使用风机将缓存架上的粉尘和颗粒从抽风通道抽走,并由过滤装置过滤抽风通道中的粉尘及颗粒,最后对待散热元件达到良好的散热及除尘的效果,解决了目前通过风扇吹风对待散热元件进行散热所造成的扬尘问题。
附图说明
21.图1为本实用新型实施例一提供的散热除尘机构的结构示意图;
22.图2为本实用新型实施例一提供的层叠放置的缓存架的结构示意图;
23.图中:
24.1、缓存架;11、待散热元件;2、抽风装置;21、抽风箱;22、抽风通道; 23、风机;24、过滤装置;25、自动控制阀门;211、通风口。
具体实施方式
25.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
26.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中,术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置,而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
27.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
28.下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
29.实施例一
30.如图1~2所示,本实施例提供一种散热除尘机构,该散热除尘机构包括:缓存架1和抽风装置2,缓存架1上设有储舟位,储舟位用于放置待散热元件 11,本实施例中待散热元件11以石墨舟为例进行具体说明,抽风装置2设置于缓存架1底部,抽风装置2包括抽风箱21、抽风通道22和具有抽风功能的风机 23,抽风箱21设有通风口211,通风口211对应储舟位设置,抽风通道22连通抽风箱21和风机23,且抽风通道22上可拆卸地设有过滤装置24。操作人员使用上述散热除尘机构时,经由风机23可将石墨舟上的粉尘和颗粒从缓存架1下方的抽风箱21内抽走,并及时带走处于高温状态的石墨舟的热量,使石墨舟可以在短时间内降至可操作的温度,以达到很好的冷却效果。
31.在其他实施例中,待散热元件11也可以为石英舟或其他需要散热的元件,通过设置于缓存架1底部的抽风装置2来对待散热元件11进行散热和除尘,本实施例对此不做限制。
32.通过采用此种热排抽风的散热除尘机构,改进了原来使用风扇吹风对石墨舟进行散热的方式,避免了由于风扇吹风散热,从而将缓存货架上的粉尘及颗粒吹起造成扬尘的现象,此时空间中存在的粉尘及颗粒不会被吹起,沾污附着在石墨舟中的硅片上,同时实现了对石墨舟的高效散热,以及良好的除尘、净化效果,保证了硅片的纯净。
33.进一步的,抽风箱21上通风口211的直径设置为1mm~3mm,且呈多行多列分布于抽风箱21上盖板上,优选的,多个通风口211可均匀布置。通过具体限定通风口211的直径的大小,避免了通风口211开口过大时,由于风力过大,导致石墨舟上放置的硅片表面镀的nisi膜被吹起,造成硅片镀膜质量不佳,而通过多行多列均匀布置的多个通风口211的设置,使得抽风装置2的风力更平均,避免由于风力集中导致缓存架1上石墨舟冷却不均匀。
34.优选的,本实施例中的过滤装置24可拆卸地安装于靠近抽风通道22末端的位置,并且过滤装置24包括一个相对于抽风通道22可抽拉的滤芯,当滤芯经过一段时间使用后,会粘附大量粉尘及颗粒,此时通过上述可抽拉的滤芯的设置,使得工作人员可以非常方便的清洗和更换滤芯,操作简单。
35.另外,本实施例中的散热除尘机构还包括控制器以及光电开关或机械开关,控制器分别与光电开关或机械开关以及风机23通讯连接,光电开关或机械开关能够检测缓存架1上是否存在待散热元件11,控制器根据检测结果控制所述风机23的启停,当光电开关或机械开关检测到缓存架1上存在石墨舟时,光电开关或机械开关发送信号给控制器,控制器控制风机23开启,当光电开关或机械开关未检测到缓存架1上存在石墨舟时,光电开关或机械开关发送信号给控制器,控制器控制风机23关闭。
36.进一步的,抽风通道22上安装有自动控制阀门25,自动控制阀门25也与上述控制器电连接,当光电开关或机械开关检测到缓存架1上存在石墨舟时,风机23开启,此时控制器也控制自动控制阀门25开启,使抽风通道22畅通,完成抽风装置2的抽风散热功能。优选的,自动控制阀门25设置为自动蝶阀,其启闭十分方便、迅速,并且流体阻力小,可以经常操
作,调节性能好。
37.可选的,本实施例中的抽风箱21包括一个上盖板,通风口211设置于上盖板上,并且上盖板内部设有冷却流道,冷却流道与通风口211不连通,冷却流道内流通冷却介质,以对缓存架1上的石墨舟进行散热,冷却介质可选用自来水,通过采用此种水冷和热排抽风并行的方式,进一步优化了本实施例中散热除尘机构对石墨舟的散热效果,使得高温的石墨舟在短时间内即可降至可操作的温度。
38.如图2所示,本实施例中提供的散热除尘机构,其缓存架1可设置为多个,多个缓存架1层叠设置,以放置四层缓存架1为例,每个缓存架1底部均设有抽风装置2,通过此种设置,大大提高了石墨舟冷却的效率、增加了硅片的产能。
39.实施例二
40.本实施例提供一种散热除尘机构,其与实施例一的区别在于:本实施例中的散热除尘机构设置为多个层叠设置的缓存架1和一个抽风装置2,其中,抽风装置2包括多个抽风箱21,每个缓存架1的储舟位均对应设有一个抽风箱21,多个抽风箱21连通于同一抽风通道22,共用同一风机23,通过此技术方案,增加了装置的集成度,降低了成本。
41.本实施例的其余结构与实施例一均相同,不再赘述。
42.显然,本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例,而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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