包括集成漫射器的光学传感器的制作方法

技术特征：
1.一种装置，包括：包括光学传感器晶粒的光学传感器封装，所述光学传感器封装还包括设置在所述光学传感器晶粒上方的回流稳定光学漫射器，所述光学漫射器被环氧模塑化合物侧向包围。2.根据权利要求1所述的装置，还包括：附接至所述光学传感器晶粒的玻璃基板，所述玻璃基板设置在所述光学传感器晶粒和所述光学漫射器之间。3.根据权利要求2所述的装置，还包括由设置在所述玻璃基板上的金属屏蔽限定的光学孔径。4.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其中，所述光学漫射器由硬化环氧树脂材料组成。5.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其中，所述光学漫射器由聚硅氧烷组成。6.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其中，所述光学漫射器由多孔石英玻璃组成。7.根据任一前述权利要求所述的装置，其中，所述光学漫射器具有与所述环氧模塑化合物的外部表面齐平的外部表面。8.根据权利要求2至7中任一项所述的装置，其中，所述环氧模塑化合物还侧向包围所述玻璃基板和所述光学传感器晶粒。9.根据权利要求2至8中任一项所述的装置，其中，所述环氧模塑化合物在所述玻璃基板的顶部上限定腔。10.根据权利要求2至9中任一项所述的装置，其中，所述玻璃基板是用于一个或多个光学滤光器的载体。11.一种方法，包括：将玻璃基板附接至光学传感器晶粒的光敏表面；执行膜辅助传递模塑过程以提供侧向包围所述光学传感器晶粒和所述玻璃基板的环氧模塑化合物，其中所述环氧模塑化合物在玻璃基板上方限定腔；在所述腔中提供液体漫射器材料；以及固化所述液体漫射器材料以形成回流稳定光学漫射器。12.根据权利要求11所述的方法，其中，提供液体漫射器材料包括将环氧树脂材料分配至所述腔中。13.根据权利要求11所述的方法，其中，提供液体漫射器材料包括将聚硅氧烷材料分配至所述腔中。14.根据权利要求11至13中任一项所述的方法，还包括在所述玻璃基板上溅镀金属屏蔽以限定光学孔径。15.根据权利要求11至14中任一项所述的方法，其中，所述玻璃基板用作一个或多个光学滤光器的载体。16.一种方法，包括：将玻璃基板附接至光学传感器晶粒的光敏表面；将回流稳定光学漫射器放置于所述玻璃基板上；以及执行膜辅助传递模塑过程以提供侧向包围所述光学传感器晶粒、所述玻璃基板和所述
光学漫射器的环氧模塑化合物。17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述光学漫射器由多孔石英玻璃组成。18.根据权利要求16或17所述的方法，其中，所述光学漫射器通过取
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放型装备放置于所述玻璃基板上。19.根据权利要求16至18中任一项所述的方法，还包括在所述玻璃基板上溅镀金属屏蔽以限定光学孔径。20.根据权利要求16至19中任一项所述的方法，其中，所述玻璃基板用作一个或多个光学滤光器的载体。

技术总结
一种包括光学传感器封装的装置，该光学传感器封装包括光学传感器晶粒。该光学传感器封装还包括设置在光学传感器晶粒上方的回流稳定光学漫射器。该光学漫射器被环氧模塑化合物侧向包围。侧向包围。侧向包围。


技术研发人员：哈拉尔德.埃奇迈尔 格哈德.佩哈兹 A.乌马利 马丁.法西内利
受保护的技术使用者：ams有限公司
技术研发日：2020.03.27
技术公布日：2021/11/14