椭球反射镜固定机构、光学测量系统及光刻设备的制作方法

技术特征：
1.一种椭球反射镜固定机构，其特征在于，所述椭球反射镜固定机构包括：导向台，包括至少三个呈周向分布的滑槽，所述滑槽上滑动设置有定心杆；旋转台，设置于所述导向台上，包括与所述滑槽一一对应的弧形槽，所述定心杆穿过对应的弧形槽后伸入椭球反射镜底部的通光孔内，旋转所述旋转台时，至少三个所述定心杆同时在对应的所述滑槽及弧形槽内滑动直至抵接所述通光孔的内壁；预紧结构，连接所述导向台和所述旋转台，并在所述定心杆抵接所述通光孔的内壁后为所述旋转台提供防止反向旋转的预紧力。2.如权利要求1所述的椭球反射镜固定机构，其特征在于，所述导向台及所述旋转台均为圆环柱，所述旋转台面向所述导向台的一侧上具有一圆环凸台，所述圆环凸台与所述旋转台的轴线重合，所述圆环凸台伸入所述导向台内并与所述导向台间隙配合。3.如权利要求2所述的椭球反射镜固定机构，其特征在于，所述导向台的外径大于所述旋转台的外径，所述预紧结构的一端设置于所述导向台的环面上，另一端连接所述旋转台的外侧壁。4.如权利要求1-3中任一项所述的椭球反射镜固定机构，其特征在于，所述预紧结构包括至少呈三个周向分布的弹性件，当所述定心杆抵接所述通光孔的内壁后，所述弹性件呈拉伸状态。5.如权利要求4所述的椭球反射镜固定机构，其特征在于，所述弹性件包括弹簧或扭簧。6.如权利要求1-3中任一项所述的椭球反射镜固定机构，其特征在于，还包括：限位结构，用于在所述定心杆抵接所述通光孔的内壁后限定所述导向台与所述旋转台在垂直于所述导向台表面方向的相对位置。7.如权利要求6所述的椭球反射镜固定机构，其特征在于，所述限位结构包括：至少三个周向分布的限位槽，设置于所述旋转台上；与所述限位槽一一对应的限位孔，设置于所述导向台上，且位于对应的限位槽的行程范围内，一限位件穿过所述限位槽并伸入所述限位孔中，且所述限位件能够在所述限位槽内滑动。8.如权利要求7所述的椭球反射镜固定机构，其特征在于，所述限位槽较所述弧形槽更靠近所述旋转台的边缘。9.如权利要求7所述的椭球反射镜固定机构，其特征在于，所述限位孔包括螺纹孔，所述限位件包括螺钉。10.一种光学测量系统，其特征在于，包括光源、椭球反射镜及如权利要求1-9中任一项所述的椭球反射镜固定机构，所述椭球反射镜固定机构用于固定所述椭球反射镜的位置，以使所述椭球反射镜的光轴与所述光源发出的光线重合。11.一种光刻设备，其特征在于，包括如权利要求10所述的光学测量系统。

技术总结
本发明提供了一种椭球反射镜固定机构，包括导向台、旋转台及预紧结构，导向台包括至少三个呈周向分布的滑槽，所述滑槽上滑动设置有定心杆；旋转台设置于所述导向台上，包括与所述滑槽一一对应的弧形槽，所述定心杆穿过对应的弧形槽后伸入椭球反射镜的通光孔内。旋转所述旋转台时，所述定心杆同时在所述滑槽及弧形槽内滑动直至抵接所述通光孔的内壁，实现椭球反射镜的自适应定心，从而精确的建立椭球反射镜的光轴与椭球反射镜固定机构的尺寸关系，能够提高光学性能。基于此，本发明还提供了一种光学测量系统及光刻设备。光学测量系统及光刻设备。光学测量系统及光刻设备。


技术研发人员：孙俊阳 陈柯君
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2020.04.23
技术公布日：2021/11/14