纵向耦合谐振器型弹性波滤波器以及滤波器装置的制作方法

技术特征：
1.一种纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，具备：压电性基板；多个idt电极，设置在所述压电性基板上，并沿着弹性波传播方向配置；以及一对反射器，在所述压电性基板上设置在所述多个idt电极的弹性波传播方向两侧，所述反射器具有：第1反射器汇流条以及第2反射器汇流条，相互对置；以及多个反射电极指，与所述第1反射器汇流条以及所述第2反射器汇流条中的至少一者连接，所述反射器具有所述多个反射电极指的长度在弹性波传播方向上变化的第1部分。2.根据权利要求1所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，在所述反射器的所述第1部分中，所述多个反射电极指的长度随着从所述idt电极侧朝向弹性波传播方向外侧而变短。3.根据权利要求1或2所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，将通过对所述多个反射电极指的与所述第1反射器汇流条连接的端部进行连结而形成的假想线设为第1假想线，将通过对所述多个反射电极指的与所述第2反射器汇流条连接的端部进行连结而形成的假想线设为第2假想线，此时，在所述第1部分中，所述第1假想线以及所述第2假想线中的至少一者相对于弹性波传播方向倾斜。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，所述反射器具有所述多个反射电极指的长度在弹性波传播方向上固定的第2部分。5.根据权利要求4所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，在所述反射器中，所述第2部分位于比所述第1部分靠所述多个idt电极侧。6.根据权利要求1～5中的任一项所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，所述反射器的所述多个反射电极指具有：第1反射电极指，一端与所述第1反射器汇流条连接，另一端与所述第2反射器汇流条连接；以及第2反射电极指，一端与所述第1反射器汇流条连接，另一端与所述第2反射器汇流条隔着缝隙对置。7.根据权利要求6所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，所述反射器的所述多个反射电极指具有：第3反射电极指，一端与所述第2反射器汇流条连接，另一端与所述第1反射器汇流条隔着缝隙对置。8.根据权利要求1～7中的任一项所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，所述多个idt电极分别具有：第1汇流条以及第2汇流条，相互对置；多个第1电极指，一端与所述第1汇流条连接；以及多个第2电极指，一端与所述第2汇流条连接，且与所述多个第1电极指相互交错对插，所述第1电极指和所述第2电极指在弹性波传播方向上相互重叠的部分为交叉区域，所述交叉区域具有：中央区域，位于与弹性波传播方向正交的方向上的中央侧；
第1边缘区域，配置在所述中央区域的所述第1汇流条侧；以及第2边缘区域，配置在所述中央区域的所述第2汇流条侧，所述多个idt电极具有：第1缝隙区域，位于所述第1边缘区域与所述第1汇流条之间；以及第2缝隙区域，位于所述第2边缘区域与所述第2汇流条之间，在所述第1边缘区域以及所述第2边缘区域中，分别构成了声速比所述中央区域低的低声速区域。9.根据权利要求8所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，所述idt电极的所述第1汇流条以及所述第2汇流条分别具有沿着弹性波传播方向设置有多个开口部的开口部形成区域，在各所述开口部形成区域中，分别构成了声速比所述中央区域高的高声速区域。10.根据权利要求8或9所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，从弹性波传播方向观察，所述反射器的所述第1部分中的所述多个反射电极指与所述idt电极的所述中央区域重叠，且不与所述第1边缘区域以及所述第2边缘区域重叠。11.根据权利要求9所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，从弹性波传播方向观察，所述反射器的所述第1部分中的所述多个反射电极指与所述idt电极的所述中央区域重叠，所述第1部分中的至少位于最靠所述idt电极侧的所述反射电极指延伸为与所述第1缝隙区域以及所述第2缝隙区域的双方重叠，从弹性波传播方向观察，任一所述反射电极指均不与所述开口部形成区域重叠。12.根据权利要求9所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，所述idt电极的所述第1汇流条以及所述第2汇流条具有位于各所述开口部形成区域的与弹性波传播方向正交的方向上的外侧的外侧汇流条区域，从弹性波传播方向观察，所述反射器的所述第1部分中的所述多个反射电极指与所述idt电极的所述中央区域重叠，所述第1部分中的至少位于最靠所述idt电极侧的所述反射电极指延伸为与双方的所述开口部形成区域重叠，从弹性波传播方向观察，任一所述反射电极指均不与所述外侧汇流条区域重叠。13.根据权利要求9所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，所述idt电极的所述第1汇流条以及所述第2汇流条具有位于各所述开口部形成区域的与弹性波传播方向正交的方向上的外侧的外侧汇流条区域，从弹性波传播方向观察，所述反射器的所述第1部分中的至少位于最靠所述idt电极侧的所述反射电极指与所述idt电极的所述交叉区域整体重叠，该反射电极指延伸为与双方的所述外侧汇流条区域重叠。14.根据权利要求1～13中的任一项所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，所述压电性基板具有：高声速材料层；以及压电体层，直接或间接地设置在所述高声速材料层上，在所述高声速材料层传播的体波的声速比在所述压电体层传播的弹性波的声速高。
15.根据权利要求14所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，还具备：低声速膜，设置在所述高声速材料层与所述压电体层之间，在所述低声速膜传播的体波的声速比在所述压电体层传播的体波的声速低。16.根据权利要求14或15所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，所述高声速材料层是高声速支承基板。17.根据权利要求15所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器，其中，还具备支承基板，所述高声速材料层是设置在所述支承基板与所述低声速膜之间的高声速膜。18.一种滤波器装置，具备：权利要求1～17中的任一项所述的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器；以及所述纵向耦合谐振器型弹性波滤波器以外的至少一个以上的谐振器。

技术总结
本发明提供一种能够在通带的低频侧附近的频带中抑制衰减量的偏差的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。本发明的纵向耦合谐振器型弹性波滤波器具备：压电性基板；多个IDT电极，设置在压电性基板上，并沿着弹性波传播方向配置；以及一对反射器，在压电性基板上设置在多个IDT电极的弹性波传播方向两侧。反射器(8B)具有相互对应的第1反射器汇流条(14)、第2反射器汇流条(16)和与第1反射器汇流条(14)以及第2反射器汇流条(16)中的至少一者连接的多个第1反射电极指(13)。反射器(8B)具有多个第1反射电极指(13)的长度在弹性波传播方向上变化的第1部分(9a)。第1部分(9a)。第1部分(9a)。


技术研发人员：小笹茂生 照田千寻
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：2020.02.28
技术公布日：2021/11/9