一种探针结构的制作方法

技术特征：
1.一种探针结构，其特征在于，包括限位板（1
‑
1），贯穿限位板（1
‑
1）并成阵列分布的探针（1
‑
2），所述探针（1
‑
2）能够绕自身旋转，探针（1
‑
2）在限位板（1
‑
1）上方设置有齿轮（1
‑
3），在与齿轮（1
‑
3）同平面上，设置有齿条框架（1
‑
4），所述齿条框架（1
‑
4）由多个平行的齿条（1
‑4‑
1）构成，所述齿条（1
‑4‑
1）与齿轮（1
‑
3）啮合，所述探针（1
‑
2）的下方设置有弯曲结构，所有探针（1
‑
2）的弯曲结构向同一方向弯曲。2.根据权利要求1所述的一种探针结构，其特征在于，所述探针（1
‑
2）与限位板（1
‑
1）之间设置有轴承（1
‑
5），所述轴承（1
‑
5）的外圈与限位板（1
‑
1）过盈配合，所述轴承（1
‑
5）的内圈与探针（1
‑
2）过盈配合。3.根据权利要求1所述的一种探针结构，其特征在于，所述齿条框架（1
‑
4）中，多个平行的齿条（1
‑4‑
1）的两端均设置有同步板（1
‑4‑
2），其中一个同步板（1
‑4‑
2）的外端部设置有丝杠（1
‑4‑
3），所述丝杠（1
‑4‑
3）上设置有能够绕自身旋转的螺母（1
‑4‑
4），所述螺母（1
‑4‑
4）安装在空心轴电机（1
‑4‑
5）的内部，所述空心轴电机（1
‑4‑
5）运行，带动螺母（1
‑4‑
4）转到，进而带动同步板（1
‑4‑
2）平移，最终带动探针（1
‑
2）转动。

技术总结
本发明一种探针结构属于半导体测试技术领域；该探针结构包括限位板，贯穿限位板并成阵列分布的探针，所述探针能够绕自身旋转，探针在限位板上方设置有齿轮，在与齿轮同平面上，设置有齿条框架，所述齿条框架由多个平行的齿条构成，所述齿条与齿轮啮合，所述探针的下方设置有弯曲结构，所有探针的弯曲结构向同一方向弯曲；本发明探针结构，配合插座结构，降低了探针与插座的对准难度，不容易损坏探针，实现了拆装过程可逆，有利于进行重复性测试，同时还能够解决大电流下探针之间放电而造成短路的问题。短路的问题。短路的问题。


技术研发人员：金永斌 贺涛 朱伟
受保护的技术使用者：法特迪精密科技（苏州）有限公司
技术研发日：2020.11.29
技术公布日：2021/11/9