一种用于红外探测器小孔腐蚀的腐蚀液及方法与流程

技术特征：
1.一种用于红外探测器小孔腐蚀的腐蚀液，其特征在于，包括作为溶剂的水，以及溶于水中的溶质，所述溶质包括盐酸、醋酸和氯化锌。2.如权利要求1所述的用于红外探测器小孔腐蚀的腐蚀液，其特征在于，所述盐酸的质量浓度为36～38%，醋酸的质量浓度不小于99.8%。3.如权利要求2所述的用于红外探测器小孔腐蚀的腐蚀液，其特征在于，所述盐酸、水、醋酸的体积比为5:4:1～5:5:1。4.如权利要求1所述的用于红外探测器小孔腐蚀的腐蚀液，其特征在于，所述氯化锌的浓度为24.0～27.0mol/l。5.一种红外探测器小孔腐蚀方法，其特征在于，包括如下步骤：s1，在含有待加工器件结构的衬底上涂覆衬底牺牲层；s2，在衬底牺牲层上沉积硫化锌层，作为增透膜；s3，在硫化锌层上沉积非晶硅层，作为红外透过层和硫化锌层腐蚀的硬掩模版；s4，对非晶硅层进行光刻、干法刻蚀和去胶，得到释放孔前驱体；s5，用权利要求1～4任一项所述的腐蚀液对硫化锌层进行湿法腐蚀，得到所需要的小孔。6.如权利要求5所述的红外探测器小孔腐蚀方法，其特征在于，所述衬底牺牲层为聚酰亚胺牺牲层，其厚度为2.0～2.2μm。7.如权利要求5所述的红外探测器小孔腐蚀方法，其特征在于，所述硫化锌层厚度为1.0～1.2μm。8.如权利要求5所述的红外探测器小孔腐蚀方法，其特征在于，所述非晶硅层厚度为100～150nm。9.如权利要求5所述的红外探测器小孔腐蚀方法，其特征在于，所述释放孔前驱体的直径为0.8～1.0μm。10.如权利要求5所述的红外探测器小孔腐蚀方法，其特征在于，所述步骤s5中湿法腐蚀采用单片式湿法腐蚀，且腐蚀液的温度为30
±
2℃。

技术总结
本发明提供了一种用于红外探测器小孔腐蚀的腐蚀液，包括作为溶剂的水，以及溶于水中的溶质，所述溶质包括盐酸、醋酸和氯化锌。另外，本发明还提供了红外探测器小孔腐蚀方法，包括在衬底牺牲层上沉积硫化锌层，作为增透膜；在硫化锌层上沉积非晶硅层，作为红外透过层和硫化锌湿法腐蚀的硬掩模版；对非晶硅层进行光刻、干法刻蚀和去胶，得到释放孔前驱体；用上述腐蚀液对硫化锌层进行单片式湿法腐蚀，得到所需要的小孔。该发明以盐酸作为腐蚀剂，并在盐酸中引入水、醋酸和氯化锌分别作为稀释剂、缓冲剂和保护剂，有效避免了硫化锌湿法腐蚀过程中的浮胶现象，显著改善了硫化锌侧向钻蚀严重的问题，解决了微尺寸孔湿法腐蚀的难题。题。题。


技术研发人员：黄立 李胜利 马占锋 高健飞 黄晟 罗学强
受保护的技术使用者：武汉高芯科技有限公司
技术研发日：2021.06.22
技术公布日：2021/11/8