一种外延膜生长设备的基座支撑装置及其使用方法与流程

技术特征：
1.一种外延膜生长设备的基座支撑装置，包括外延膜生长机体(1)，其特征在于：所述外延膜生长机体(1)的内部安装有下石英钟罩(2)且顶部水平设置有上石英圆盘(3)，所述外延膜生长机体(1)与上石英圆盘(3)之间对称设置有两组加紧机构，所述上石英圆盘(3)与下石英钟罩(2)之间形成有加工内腔(4)，所述加工内腔(4)的内部设置有基座支撑机构，所述基座支撑机构包括安装于外延膜生长机体(1)底部的旋转电机(5)和安装于旋转电机(5)动力输出端的基座支撑架，所述基座支撑架由支撑杆(6)和支撑手臂(7)组成，所述支撑手臂(7)分设有三组且均匀加工成型于支撑杆(6)的顶部，所述支撑手臂(7)的头部加工成型有分割槽口(8)，所述分割槽口(8)的两侧分别形成有托杆(9)和插杆(10)，所述基座支撑架的顶部还水平设置有基座本体(11)，所述基座本体(11)的外围均匀开设有三组配合插杆(10)使用的支撑孔(12)，所述插杆(10)的上端穿插于内，所述托杆(9)的上端与基座本体(11)的背面相接触。2.根据权利要求1所述的一种外延膜生长设备的基座支撑装置，其特征在于：所述加紧机构从上到下依次设置有上金属夹环(13)、基板(14)和下金属夹环(15)，所述上金属夹环(13)与上石英圆盘(3)相连接，所述下金属夹环(15)与下石英钟罩(2)相连接。3.根据权利要求2所述的一种外延膜生长设备的基座支撑装置，其特征在于：位于左侧的所述基板(14)上连接有进气管道(16)，位于右侧的所述基板(14)上连接有排气管道(17)，所述排气管道(17)上安装有气动阀门(18)。4.根据权利要求1所述的一种外延膜生长设备的基座支撑装置，其特征在于：所述支撑手臂(7)为两段式结构且包括与支撑杆(6)相连接的斜杆(19)和一体成型于斜杆(19)上端的立杆(20)，所述分隔槽口开设于立杆(20)的顶部。5.根据权利要求4所述的一种外延膜生长设备的基座支撑装置，其特征在于：所述支撑杆(6)至立杆(20)端部的水平间距为3.817cm。6.根据权利要求1所述的一种外延膜生长设备的基座支撑装置，其特征在于：所述托杆(9)的顶部呈水平状结构，所述插杆(10)的上端呈弧形结构，所述插杆(10)的高度大于托杆(9)的高度且高度差为0.96cm。7.根据权利要求6所述的一种外延膜生长设备的基座支撑装置，其特征在于：所述插杆(10)的外侧开设有收纳槽口(21)，所述收纳槽口(21)内置有弧面压板(22)，所述弧面压板(22)的下端与收纳槽口(21)的内壁转动连接，所述弧面压板(22)的上端加工成型有挂钩(23)且背面与收纳槽口(21)之间设置有复位垫片(24)。8.根据权利要求1
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7所述的一种外延膜生长设备的基座支撑装置的使用方法，其特征在于：具体使用方法如下：首先，将基座支撑架安装旋转电机(5)动力输出端上，并固定好位置，把基座本体(11)放置于支撑架之上，并将支撑手臂(7)上的头部并与基座的支撑孔(12)对接插入固定，工作人员通过将弧面压板(22)向收纳槽口(21)内压并将插杆(10)对应插入支撑孔(12)内，然后放弃施压在复位垫片(24)的弹力作用下将挂钩(23)外弹并与支撑孔(12)的内壁相抵触，最后将晶圆放置在基座本体(11)的中心位置，打开旋转开关，观察基座旋转状况。

技术总结
本发明公开了一种外延膜生长设备的基座支撑装置及其使用方法，包括外延膜生长机体，外延膜生长机体的内部安装有下石英钟罩且顶部水平设置有上石英圆盘，外延膜生长机体与上石英圆盘之间对称设置有两组加紧机构，上石英圆盘与下石英钟罩之间形成有加工内腔，加工内腔的内部设置有基座支撑机构，基座支撑机构包括安装于外延膜生长机体底部的旋转电机和安装于旋转电机动力输出端的基座支撑架，基座支撑架由支撑杆和支撑手臂组成，支撑手臂分设有三组且均匀加工成型于支撑杆的顶部。本发明对支撑手臂的头部形状进行了改进，弃用了三个支撑销，使得支撑架手臂直接与基座连接，节省了材料，节约了成本，改善了手臂与基座间的固定性能，提高了产品良率。提高了产品良率。提高了产品良率。


技术研发人员：王会会 金補哲 高东铉 李斗成 林保璋
受保护的技术使用者：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
技术研发日：2021.08.18
技术公布日：2021/11/8