一种硅片干燥装置及硅片干燥箱的制作方法

1.本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种硅片干燥装置及硅片干燥箱。


背景技术：

2.目前，在生产过程中，硅片经过抛光工序完成双面抛光后，下片至水盒内，基于制程控制，需按批次抽取硅片进行吹干工序以将硅片表面吹干后，进行平坦度检测。现有技术中在对硅片进行吹干工序时，先将单片抛光后的硅片从水盒取出，放入吹测专用盒，再使用气枪将硅片表面的水滴吹干，最后将吹干后的硅片放入量测盒中，投入量测设备进行检测。而当检测完毕后，需要将硅片重新放回水盒中。
3.然而，操作人员在使用气枪吹干硅片时，需要不断移动变换吹气方向，作业难度大且硅片在盒内晃动，易造成硅片损伤甚至破裂；同时，硅片吹干效果不可控，容易干扰量测结果；在硅片进行吹干检测的工序中，硅片需要转移多次，且手取硅片的方式转移易导致不可控污染。此外，在用气枪吹干硅片时，硅片表面的水和气枪喷出的压缩空气形成水汽，从而污染到无尘室洁净环境。
4.因此，有必要发明一种操作简单且具有良好吹干效果的硅片干燥装置。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种硅片干燥装置，以解决现有技术中存在的硅片吹干方法难以保证硅片的吹干效果，容易干扰量测结果，且作业难度大，硅片容易发生晃动而造成损伤甚至破裂以及周围环境容易受到污染等问题中的一个或多个。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种硅片干燥装置，包括基座、夹爪台、夹爪和吹气管路，所述夹爪台和所述吹气管路均设于所述基座上；
7.所述夹爪台能够靠近和远离所述吹气管路；
8.所述夹爪用于夹持硅片，且所述夹爪可拆卸式安装于所述夹爪台上；
9.所述吹气管路用于与气源相连，以对所述硅片进行吹气。
10.可选的，所述吹气管路上设有多个朝向所述夹爪台设置的出气孔。
11.可选的，所述夹爪台与所述基座滑动连接，所述基座上设有与所述夹爪台相配合的滑轨。
12.可选的，所述硅片干燥装置还包括固定于所述基座上的驱动件，所述驱动件用于驱动所述夹爪台靠近和远离所述吹气管路。
13.可选的，所述夹爪包括相连的支撑部和夹持部，所述支撑部与所述夹持部之间形成一用于存放硅片的容置空间。
14.可选的，所述夹持部包括第一夹持部和至少两个第二夹持部，所述第一夹持部能够靠近和远离所述第二夹持部。
15.可选的，所述第一夹持部通过一弹性件与所述支撑部相连。
16.可选的，所述支撑部靠近所述第一夹持部的一端设有一紧固件，所述夹爪台上设有与所述第一夹持部对应设置的第一固定板，所述第一固定板上设有与所述紧固件相配的凹口。
17.可选的，所述夹爪台上还设有与所述第二夹持部一一对应设置的第二固定板，所述第二固定板用于与所述第二夹持部相抵接。
18.本实用新型还提供一种硅片干燥箱，包括箱体和如上任一项所述的硅片干燥装置，所述硅片干燥装置位于所述箱体内部，且所述基座设于所述箱体的内壁上。
19.与现有技术相比，本实用新型提供的硅片干燥装置及硅片干燥箱具有以下优点：
20.(1)本实用新型提供的硅片干燥装置包括基座、夹爪台、夹爪和吹气管路，所述夹爪台和所述吹气管路均设于所述基座上；所述夹爪台能够靠近和远离所述吹气管路；所述夹爪用于夹持硅片，且所述夹爪可拆卸式安装于所述夹爪台上；所述吹气管路用于与气源相连，以对所述硅片进行吹气，由此，可拆卸式安装于所述夹爪台上的夹爪能够拆卸下来以从水盒中夹取硅片，减少了硅片与操作人员之间的直接接触；所述夹爪台承载着夹持了硅片的所述夹爪能够靠近和远离所述吹气管路，在所述夹爪台靠近和远离所述吹气管路的往复移动过程中，使得硅片不断经过与所述气源相连的所述吹气管路，以实现对硅片进行吹干的目的；在对硅片进行吹干后，通过将夹持了硅片的所述夹爪拆卸下来，然后通过所述夹爪将硅片移入量测盒准备测试。可见，本实用新型提供的硅片干燥装置操作方便，不仅能够实现硅片自动吹干功能，且具有极佳的吹干效果，还能够在吹干过程中使得硅片被所述夹爪稳固夹紧，从而能够平稳地随着所述夹爪台运动，不会发生晃动，避免了硅片损伤的风险。此外，在采用本实用新型提供的硅片干燥装置实施硅片吹干工艺的全过程中，还能够避免硅片与操作人员的直接接触，从而减少手取接触硅片的污染风险。
21.(2)由于所述吹气管路上设有多个朝向所述夹爪台设置的出气孔，由此，气源提供的气流通过所述吹气管路沿所述出气孔排出，能够有效对往复经过的硅片进行吹干。
22.(3)由于所述硅片干燥装置还包括固定于所述基座上的驱动件，所述驱动件用于驱动所述夹爪台靠近和远离所述吹气管路，由此，在所述驱动件的作用下，夹爪夹持的硅片能够随着所述夹爪台往复经过所述吹气管路，实现硅片的自动吹干过程。
23.(4)由于所述夹爪台与所述基座滑动连接，所述基座上设有与所述夹爪台相配合的滑轨，由此，通过所述滑轨能够有效减少所述夹爪台之间的相对摩擦力，使得仅通过一所述驱动件就能实现驱动所述夹爪台，不需要动力强劲的所述驱动件，既节省了装置成本，又减少了能耗。
24.(5)由于所述夹爪包括相连的支撑部和夹持部，所述支撑部与所述夹持部之间形成一用于存放硅片的容置空间，由此，通过所述夹持部能够有效夹紧位于所述容置空间内的硅片，使得所述硅片能够平稳地随着夹爪台运动进行吹干，而不会发生晃动，避免了硅片造成损伤甚至破裂的风险。由于所述夹持部包括第一夹持部和至少两个第二夹持部，所述第一夹持部能够靠近和远离所述第二夹持部，由此，通过所述第一夹持部靠近和远离所述第二夹持部使得所述容置空间的范围发生改变以适应硅片的大小，同时，可活动的所述第一夹持部能够更有利于取放硅片。此外，由于所述第一夹持部通过一弹性件与所述支撑部相连，由此，通过所述弹性件能够有效保证所述夹爪夹持硅片的夹紧度，更有利于硅片在随着夹爪台进行吹干的过程中的稳固性。
25.(6)由于所述支撑部靠近所述第一夹持部的一端设有一紧固件，所述夹爪台上设有与所述第一夹持部对应设置的第一固定板，所述第一固定板上设有与所述紧固件相配的凹口，由此，通过所述凹口能够卡入所述紧固件以使得所述夹爪固定于所述夹爪台上。此外，由于所述夹爪台上还设有与所述第二夹持部一一对应设置的第二固定板，所述第二固定板用于与所述第二夹持部相抵接，由此，通过设置所述第二固定板能够更有效地将所述夹爪固定于所述夹爪台上。
26.(7)由于本实用新型提供的硅片干燥箱包括箱体和如上所述的硅片干燥装置，所述硅片干燥装置位于所述箱体内部，且所述基座设于所述箱体的内壁上，因此，本实用新型提供的硅片干燥箱不但包括如上所述的硅片干燥装置的所有优点，还能够使得硅片的吹干工序在箱体内部的封闭的空间内进行，而在所述箱体内部产生的水汽可集中处理，不影响正常的无尘室洁净环境。此外，由于所述箱体设有一与所述硅片干燥装置对应设置的窗口，且所述窗口上盖设有一与其相配合的门板，所述门板与所述箱体相连，由此，通过所述窗口便于取放夹持了硅片的所述夹爪；通过所述门板使得在进行硅片吹干工艺时，水汽不会弥漫至无尘室环境中造成污染。
附图说明
27.图1为本实用新型一实施例提供的硅片干燥装置的正视图；
28.图2为本实用新型一实施例提供的硅片干燥装置的侧视图；
29.图3为本实用新型一实施例提供的夹爪的结构示意图；
30.图4为本实用新型一实施例提供的硅片干燥箱的正面结构示意图；
31.图5为本实用新型一实施例提供的硅片干燥箱的侧面结构示意图。
32.其中，附图标记如下：
33.200
‑
基座，210
‑
夹爪台，211
‑
第一固定板，212
‑
第二固定板，213
‑
支脚， 214
‑
滑块，220
‑
吹气管路，220a
‑
第一吹气管路，220b
‑
第二吹气管路，221
‑ꢀ
出气孔，222
‑
第一控制开关，223
‑
第三固定板，230
‑
夹爪，231
‑
夹持部，231a
‑ꢀ
第一夹持部，231b
‑
第二夹持部，232
‑
支撑部，233
‑
弹性件，234
‑
紧固件， 240
‑
驱动件，241
‑
隔板，242
‑
第二控制开关，250
‑
滑轨，251
‑
第一限位件， 252
‑
第二限位件，300
‑
箱体，310
‑
门板，320
‑
排水孔，330
‑
支架，340
‑
挡板， 400
‑
硅片。
具体实施方式
34.为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合图1至图5 对本实用新型提出的硅片干燥装置作进一步详细说明。需要说明的是，附图采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的，并非用以限定本实用新型实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容能涵盖的范围内。
35.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖
非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
36.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以视具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
37.本实用新型的核心思想在于提供一种硅片干燥装置及硅片干燥箱，以实现硅片自动吹干功能，在保证硅片具有极佳的吹干效果的情况下，减小吹干工序的操作难度，不仅能够使得硅片在吹干过程中不会发生晃动，从而避免硅片造成损伤甚至破裂的风险，还能够减少硅片吹干过程对无尘室洁净环境的影响。
38.为实现上述思想，本实用新型提供了一种硅片干燥装置，请参考图1 和图2，其中，图1示意性地给出了本实用新型提供的硅片干燥装置的正视图；图2示意性地给出了本实用新型提供的硅片干燥装置的侧视图。如图1和图2所示，所述硅片干燥装置包括基座200、夹爪台210、夹爪230 和吹气管路220，所述夹爪台210和所述吹气管路220均设于所述基座200 上；所述夹爪台210能够靠近和远离所述吹气管路220；所述夹爪230用于夹持硅片400，且所述夹爪230可拆卸式安装于所述夹爪台210上；所述吹气管路220用于与气源相连，以对所述硅片400进行吹气。由此，可拆卸式安装于所述夹爪台210上的夹爪230能够拆卸下来从水盒中夹取硅片400，减少了硅片400与操作人员之间的直接接触；所述夹爪台210承载着夹持了硅片400的所述夹爪230能够靠近和远离所述吹气管路220，在所述夹爪台210靠近和远离所述吹气管路220的往复移动过程中，使得硅片400不断经过与所述气源相连的所述吹气管路220，以实现对硅片400 进行吹干的目的；在对硅片400进行吹干后，通过将夹持了硅片400的所述夹爪230拆卸下来，然后通过所述夹爪230将硅片400移入量测盒准备测试。可见，本实用新型提供的硅片干燥装置操作方便，不仅能够实现硅片400自动吹干功能，且具有极佳的吹干效果，还能够在吹干过程中使得硅片400被所述夹爪230稳固夹紧，从而能够平稳地随着所述夹爪台210 运动，不会发生晃动，避免了硅片400损伤的风险。此外，在采用本实用新型提供的硅片干燥装置实施硅片400吹干工艺的全过程中，还能够避免硅片400与操作人员的直接接触，从而减少手取接触硅片400的污染风险。
39.优选地，所述硅片干燥装置还包括固定于所述基座200上的驱动件 240，所述驱动件240用于驱动所述夹爪台210靠近和远离所述吹气管路 220。由此，在所述驱动件240的作用下，夹爪230夹持的硅片400能够随着所述夹爪台210往复经过所述吹气管路220，实现硅片400的自动吹干过程。
40.具体地，所述气源为氮气源，且所述气源与第一控制开关222相连，所述驱动件240与第二控制开关242相连，所述驱动件240为一气缸，所述气缸通过一隔板241固定于所述基座200上，且所述气缸靠近所述夹爪台210的一端固定于所述隔板241上，所述气缸内设有一穿过所述隔板241 与所述夹爪台210相连的活塞，从而在所述活塞的作用下，所述夹爪台 210能够靠近和远离所述吹气管路220。在进行硅片400的吹干工艺的过程中，先打开所述第
一控制开关222，使得所述气源为所述吹气管路220提供氮气流，再打开所述第二控制开关242，使得气缸驱动所述夹爪台210 靠近和远离所述吹气管路220。需要说明的是，所述气缸的动力来源优选为压缩气体；所述第一控制开关222与所述第二控制开关242优选为旋钮开关。
41.优选地，所述夹爪台210与所述基座200滑动连接，所述基座200上设有与所述夹爪台210相配合的滑轨250。由此，通过所述滑轨250能够有效减少所述夹爪台210之间的相对摩擦力，使得仅通过一所述驱动件，例如一气缸就能实现驱动所述夹爪台210，不需要动力强劲的所述驱动件 240，既节省了装置成本，又减少了能耗。
42.具体地，所述夹爪台210包括至少一滑块214，并通过所述至少一滑块214固定在所述滑轨250上，且所述滑块214与所述滑轨250之间为可拆卸式连接。更进一步地，所述滑轨250为两道，所述夹爪台210上设有四个支脚213，每个支脚213均通过一所述滑块214与所述滑轨250相连，所述吹气管路220所在位置位于所述滑轨250远离所述驱动件240的一端。
43.优选地，所述基座200上还设有第一限位件251和第二限位件252，所述第一限位件251与所述第二限位件252分别位于所述滑轨250的两端，其中，所述第一限位件251位于所述滑轨250靠近所述吹气管路220的一端。而当本实用新型提供的硅片干燥装置包括驱动件240，且将气缸作为驱动件240时，所述第二限位件252位于所述滑轨250靠近所述气缸的一端，所述第二限位件252与所述隔板241相连接，使得所述活塞在穿过所述隔板241的同时穿过所述第二限位件252以与所述夹爪台210相连。
44.下面结合图1至图3对本实用新型提供的夹爪230进行详细说明，其中，图3示意性的给出了本实用新型提供的夹爪230的结构示意图：
45.如图1至图3所示，所述夹爪230包括相连的支撑部232和夹持部231，所述支撑部232与所述夹持部231之间形成一用于存放硅片400的容置空间。由此，通过所述夹持部231能够有效夹紧位于所述容置空间内的硅片 400，使得所述硅片400能够平稳地随着夹爪台210运动进行吹干，而不会发生晃动，避免了硅片400造成损伤甚至破裂的风险。
46.优选地，所述夹持部231包括第一夹持部231a和至少两个第二夹持部231b，所述第一夹持部231a能够靠近和远离所述第二夹持部231b。由此，通过所述第一夹持部231a靠近和远离所述第二夹持部231b使得所述容置空间的范围发生改变以适应硅片400的大小，同时，可活动的所述第一夹持部231a能够更有利于取放硅片400。需要说明的是，所述容置空间的大小优选能够适应300mm的硅片400，而在一些其他实施例中，由于所述容置空间的大小可以发生改变，因此可以适应不同尺寸的硅片400。
47.优选地，所述第一夹持部231a通过一弹性件233与所述支撑部232相连。由此，通过所述弹性件233能够有效保证所述夹爪230夹持硅片400 的夹紧度，更有利于硅片400在随着夹爪台210进行吹干的过程中的稳固性。
48.优选地，所述支撑部232靠近所述第一夹持部231a的一端设有一紧固件234，所述夹爪台210上设有与所述第一夹持部231a对应设置的第一固定板211，所述第一固定板211上设有与所述紧固件234相配的凹口。由此，通过所述凹口能够卡入所述紧固件234以使得所述夹爪230固定于所述夹爪台210上。更进一步地，所述凹口上设有可拆卸的挡板340，当所述紧固件234卡入所述凹口中后，通过所述挡板340能够将所述凹口封闭，从而使得所述夹爪230稳固的安装在所述夹爪台210上，所述挡板340与所述第一固定板211之间可以通过
螺接、特定粘接或焊接等方式相连。
49.优选地，所述夹爪台210上还设有与所述第二夹持部231b一一对应设置的第二固定板212，所述第二固定板212用于与所述第二夹持部231b相抵接。由此，通过设置所述第二固定板212能够更有效地将夹爪230固定于夹爪台210上。
50.需要说明的是，所述第一固定板211和所述第二固定板212均通过螺钉固定在所述夹爪台210上，在一些其他实施例中，所述第一固定板211 与所述夹爪台210之间的连接方式以及所述第二固定板212与所述夹爪台 210之间的连接方式还可以是焊接、特定粘接或一体成型等。
51.具体地，所述紧固件234为一调节旋钮，所述调节旋钮包括相连的旋钮和旋杆，所述旋钮的直径大于所述旋杆的直径，所述旋钮与所述支撑部 232之间形成一间隙，其中所述旋杆与所述支撑部232相连，且所述旋杆用于卡入所述凹口中，在一些其他实施例中，可以通过旋动所述调节旋钮使得所间隙变窄，从而使得所述夹爪230与所述夹爪台210之间卡接更为紧密。
52.优选地，所述第二夹持部231b的数量为两个，此时，所述支撑部232 呈“y”形结构，即所述夹爪230呈现为具有两爪的爪形结构。由此，此种设置既能够有效节省材料，又能够保证所述夹爪230的可靠性。
53.优选地，如图1和图2所示，所述吹气管路220上设有多个朝向所述夹爪台210设置的出气孔221。由此，气源提供的气流通过所述吹气管路 220沿所述出气孔221排出，能够有效对往复经过的硅片400进行吹干。
54.具体地，所述吹气管路220包括第一吹气管路220a和第二吹气管路 220b，所述第一吹气管路220a和所述第二吹气管路220b均与所述气源相连，所述第一吹气管路220a和所述第二吹气管路220b分别位于安装在所述夹爪台210上的所述夹爪230所在平面的两侧，所述第一吹气管路220a 与所述第二吹气管路220b上均设有所述吹气孔，更进一步地，所述出气孔 221朝向所述夹爪230所在平面。需要说明的是，在一些其他实施例中，可以是所述第一吹气管路220a与所述第二吹气管路220b分别与一气源相连；也可以是所述第一吹气管路220a与所述第二吹气管路220b相连通，共同与一气源相连，此时所述第一吹气管路220a与所述第二吹气管路220b 优选弯折相连，以使得所述第一吹气管路220a和所述第二吹气管路220b 分别位于所述夹爪230所在平面的两侧。
55.优选地，如图1和图2所示，所述基座200还包括设于所述基座200 上的第三固定板223，所述第一吹气管路220a和所述第二吹气管路220b 均穿过所述第三固定板223以固定在所述第三固定板223上，此时，所述第一吹气管路220a与所述第二吹气管路220b之间留有一定的间隙，所述间隙大于所述夹爪230的的厚度。
56.为实现上述思想，本实用新型还提供一种硅片干燥箱，请参考图4和图5，其中，图4示意性的给出了本实用新型提供的硅片干燥箱的正面结构示意图；图5示意性的给出了本实用新型提供的硅片干燥箱的侧面结构示意图。如图4和图5所示，所述硅片干燥箱包括箱体300和如上所述的硅片干燥装置，所述硅片干燥装置位于所述箱体300内部，且所述基座200 设于所述箱体300的内壁上。由于本实用新型提供的硅片干燥箱包括箱体300和如上所述的硅片干燥装置，所述硅片干燥装置位于所述箱体300内部，且所述基座200设于所述箱体300的内壁上，因此，本实用新型提供的硅片干燥箱不但包括如上所述的硅片干燥装置的
所有优点，还能够使得硅片400的吹干工序在箱体300内部的封闭的空间里进行，而在所述箱体 300内部产生的水汽可集中处理，不影响正常的无尘室洁净环境。
57.需要说明的是，所述基座200与所述箱体300内壁之间为一体式结构，换言之，所述基座200优选为所述箱体300的内壁。
58.优选地，如图4所示，所述箱体300设有一与所述硅片干燥装置对应设置的窗口，且所述窗口上盖设有一与其相配合的门板310，所述门板310 与所述箱体300相连。由此，通过所述窗口便于取放夹持了硅片400的所述夹爪230；通过所述门板310使得在进行硅片400吹干工艺时，水汽不会弥漫至无尘室环境中造成污染。具体地，所述门板310能够沿其与所述箱体300相连的一端转动，优选所述门板310通过铰链与所述箱体300进行连接，且所述门板310远离所述铰链的一端设有把手。
59.具体地，所述隔板241将所述箱体300的内腔分隔成第一空间和第二空间，所述驱动件240位于所述第一空间中，所述滑轨250、所述夹爪230、所述夹爪台210和所述吹气管路220均位于所述第二空间内，且所述窗口设于所述箱体300与所述第二空间对应的侧壁上。
60.优选地，如图4所示，所述基座200上还设有一贯穿所述基座200和箱体300内壁的排水孔320。由此，通过所述排水孔320有利于对箱体300 内的积水流出。
61.优选地，如图4和图5所示，所述箱体300远离所述驱动件240的一端还设有支架330。由此，可以通过所述支架330支撑所述硅片干燥箱竖直放置，能够有效减少所述硅片干燥箱闲置时的占地空间。需要说明的是，所述硅片干燥箱在使用时，平躺放置所述硅片干燥箱并使得所述箱体300 上设有所述窗口的一端向上，便于箱体300内的积水能够通过设于所述基座200上的所述排水孔320流出。
62.优选地，如图4所示，所述第一控制开关222与所述第二控制开关242 均设于所述箱体300的外部。
63.优选地，如图5所示，所述箱体300上还设有一检修口，所述检修口处设有一与其相配的挡板340，所述挡板340与所述箱体300之间可拆卸式连接。具体地，所述挡板340能够沿其与所述箱体300相连的一端转动，优选所述挡板340通过铰链与所述箱体300进行连接，且所述挡板340远离所述铰链的一端设有把手，通过所述检修口便于在箱体300内部的硅片干燥装置损坏的情况下打开所述箱体300进行维修。
64.综上所述，与现有技术相比，本实用新型提供的硅片干燥装置具有以下优点：
65.(1)本实用新型提供的硅片干燥装置包括基座、夹爪台、夹爪和吹气管路，所述夹爪台和所述吹气管路均设于所述基座上；所述夹爪台能够靠近和远离所述吹气管路；所述夹爪用于夹持硅片，且所述夹爪可拆卸式安装于所述夹爪台上；所述吹气管路用于与气源相连，以对所述硅片进行吹气，由此，可拆卸式安装于所述夹爪台上的夹爪能够拆卸下来以从水盒中夹取硅片，减少了硅片与操作人员之间的直接接触；所述夹爪台承载着夹持了硅片的所述夹爪能够靠近和远离所述吹气管路，在所述夹爪台靠近和远离所述吹气管路的往复移动过程中，使得硅片不断经过与所述气源相连的所述吹气管路，以实现对硅片进行吹干的目的；在对硅片进行吹干后，通过将夹持了硅片的所述夹爪拆卸下来，然后通过所述夹爪将硅片移入量测盒准备测试。可见，本实用新型提供的硅片干燥装置操作方便，不仅能够实现硅片自动吹干功能，且具有极佳的吹干效果，还能够在吹干过程中使得硅片被所述夹爪稳固夹紧，从而能够平稳地随着所述夹爪台运动，不会发生晃动，避免了硅片损伤的风
险。此外，在采用本实用新型提供的硅片干燥装置实施硅片吹干工艺的全过程中，还能够避免硅片与操作人员的直接接触，从而减少手取接触硅片的污染风险。
66.(2)由于所述吹气管路上设有多个朝向所述夹爪台设置的出气孔，由此，气源提供的气流通过所述吹气管路沿所述出气孔排出，能够有效对往复经过的硅片进行吹干。
67.(3)由于所述硅片干燥装置还包括固定于所述基座上的驱动件，所述驱动件用于驱动所述夹爪台靠近和远离所述吹气管路，由此，在所述驱动件的作用下，夹爪夹持的硅片能够随着所述夹爪台往复经过所述吹气管路，实现硅片的自动吹干过程。
68.(4)由于所述夹爪台与所述基座滑动连接，所述基座上设有与所述夹爪台相配合的滑轨，由此，通过所述滑轨能够有效减少所述夹爪台之间的相对摩擦力，使得仅通过一所述驱动件就能实现驱动所述夹爪台，不需要动力强劲的所述驱动件，既节省了装置成本，又减少了能耗。
69.(5)由于所述夹爪包括相连的支撑部和夹持部，所述支撑部与所述夹持部之间形成一用于存放硅片的容置空间，由此，通过所述夹持部能够有效夹紧位于所述容置空间内的硅片，使得所述硅片能够平稳地随着夹爪台运动进行吹干，而不会发生晃动，避免了硅片造成损伤甚至破裂的风险。由于所述夹持部包括第一夹持部和至少两个第二夹持部，所述第一夹持部能够靠近和远离所述第二夹持部，由此，通过所述第一夹持部靠近和远离所述第二夹持部使得所述容置空间的范围发生改变以适应硅片的大小，同时，可活动的所述第一夹持部能够更有利于取放硅片。此外，由于所述第一夹持部通过一弹性件与所述支撑部相连，由此，通过所述弹性件能够有效保证所述夹爪夹持硅片的夹紧度，更有利于硅片在随着夹爪台进行吹干的过程中的稳固性。
70.(6)由于所述支撑部靠近所述第一夹持部的一端设有一紧固件，所述夹爪台上设有与所述第一夹持部对应设置的第一固定板，所述第一固定板上设有与所述紧固件相配的凹口，由此，通过所述凹口能够卡入所述紧固件以使得所述夹爪固定于所述夹爪台上。此外，由于所述夹爪台上还设有与所述第二夹持部一一对应设置的第二固定板，所述第二固定板用于与所述第二夹持部相抵接，由此，通过设置所述第二固定板能够更有效地将所述夹爪固定于所述夹爪台上。
71.(7)由于本实用新型提供的硅片干燥箱包括箱体和如上所述的硅片干燥装置，所述硅片干燥装置位于所述箱体内部，且所述基座设于所述箱体的内壁上，因此，本实用新型提供的硅片干燥箱不但包括如上所述的硅片干燥装置的所有优点，还能够使得硅片的吹干工序在箱体内部的封闭的空间内进行，而在所述箱体内部产生的水汽可集中处理，不影响正常的无尘室洁净环境。此外，由于所述箱体设有一与所述硅片干燥装置对应设置的窗口，且所述窗口上盖设有一与其相配合的门板，所述门板与所述箱体相连，由此，通过所述窗口便于取放夹持了硅片的所述夹爪；通过所述门板使得在进行硅片吹干工艺时，水汽不会弥漫至无尘室环境中造成污染。
72.最后所应说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围。