方阻测试仪自动化平台的制作方法

技术特征：
1.方阻测试仪自动化平台，包括检测仪外壳(1)、机械安装舱(2)、放置舱(3)、托盘移动机构和机械手移动机构，其特征在于，所述机械安装舱(2)和放置舱(3)均位于所述检测仪外壳(1)的内部，所述放置舱(3)固定安装在机械安装舱(2)的顶部壳体外壁上，所述托盘移动机构安装在机械安装舱(2)的内部，所述机械手移动机构安装在放置舱(3)的顶部壳体上，且放置舱(3)的底部壳体内壁设有放置架(10)，所述放置架(10)与托盘移动机构连接，且放置架(10)与机械手移动机构位于同一个经线上，所述检测仪外壳(1)的顶部壳体外壁从左到右分别安装有机械手臂(19)、晶圆放置托盘(20)和检测舱(21)。2.根据权利要求1所述的方阻测试仪自动化平台，其特征在于，所述托盘移动机构包括伺服电机(4)，所述伺服电机(4)的底部壳体通过螺栓连接在机械安装舱(2)的底部壳体内壁上，且伺服电机(4)的输出轴固定连接有转轴一(5)，所述转轴一(5)的左端通过支撑板一(6)安装在机械安装舱(2)的底部壳体上，且转轴一(5)的中部外圈固定套设有直齿轮(7)。3.根据权利要求2所述的方阻测试仪自动化平台，其特征在于，所述直齿轮(7)的顶部上方设有齿板(8)，所述齿板(8)的顶部壳体固定连接有连接件(9)，所述连接件(9)的外圈活动贯穿出机械安装舱(2)和放置舱(3)的一侧壳体，且连接件(9)与放置架(10)固定连接，所述齿板(8)与直齿轮(7)相互啮合，所述放置架(10)的底部壳体固定连接有滑轮，所述放置舱(3)的底部壳体内壁安装有滑轨，所述滑轮与滑轨相配合。4.根据权利要求2所述的方阻测试仪自动化平台，其特征在于，所述机械手移动机构包括转轴二(12)，所述转轴二(12)的中部外圈转动套设有两个支撑板二(11)，所述支撑板二(11)的底部壳体固定连接在放置舱(3)的顶部壳体上，且转轴二(12)的左端外圈和转轴一(5)的外圈均固定套设有皮带轮，两个所述皮带轮通过皮带传动。5.根据权利要求4所述的方阻测试仪自动化平台，其特征在于，所述放置舱(3)的顶部壳体内圈转动套设有螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)的顶端和转轴二(12)的右端均固定连接有锥齿轮(14)，两个所述锥齿轮(14)相互啮合。6.根据权利要求5所述的方阻测试仪自动化平台，其特征在于，所述螺纹杆(13)的底端外圈转动套设有螺纹筒(15)，所述螺纹筒(15)的底部壳体固定连接有安装板(16)，所述安装板(16)的底部壳体通过螺栓连接有清洁臂(18)，且安装板(16)的顶部右侧壳体固定连接有限位轴(17)，所述限位轴(17)的外圈活动贯穿出放置舱(3)的顶部壳体。7.根据权利要求3所述的方阻测试仪自动化平台，其特征在于，所述连接件(9)包括套杆和套筒，所述套筒活动套设在套杆的外圈上，所述套杆的底端固定连接在齿板(8)的壳体上，所述套筒的顶端与放置架(10)固定连接，且套杆和套筒的一侧壳体均固定连接有横板，一个所述横板的一侧壳体固定连接有推杆电机，所述推杆电机的输出轴固定连接在另一个所述横板的壳体上。

技术总结
本实用新型公开了方阻测试仪自动化平台，包括检测仪外壳、机械安装舱、放置舱、托盘移动机构和机械手移动机构，所述机械安装舱和放置舱均位于所述检测仪外壳的内部，所述放置舱固定安装在机械安装舱的顶部壳体外壁上，所述托盘移动机构安装在机械安装舱的内部，所述机械手移动机构安装在放置舱的顶部壳体上，且放置舱的底部壳体内壁设有放置架，所述放置架与托盘移动机构连接，且放置架与机械手移动机构位于同一个经线上。本实用新型方便存储晶圆，使得测试人员有一个安全的地方对晶圆进行放置，同时在对晶圆进行移动时，可以有效的防止方阻测试仪内部的清洁装置刮伤晶圆，从而提高了半导体生产的良品率。导体生产的良品率。导体生产的良品率。


技术研发人员：冯若
受保护的技术使用者：上海茂那电子科技有限公司
技术研发日：2021.04.20
技术公布日：2021/11/5