一种简易测量超声波用超声波探头定位工具的制作方法

1.本发明涉及半导体制造技术领域，具体是一种简易测量超声波用超声波探头定位工具。


背景技术：

2.硅片在加工过程中，洗净机设备非常重要，尤其是洗净机中的超声波对颗粒的去除效果显著，定期测试超声功率，有助于判断超声波是否出现异常，避免影响洗净机的清洗能力。
3.因为测试洗净机槽内超声波功率时，槽内部是有水存在的，且槽体底部的超声波振子是多排并列，使整个槽内都能产生超声作用，所以测试超声功率时不能够只对一个点进行测试，需要取多个测试点，全方位监控槽体内不同位置的超声功率，而现有的超声波探头夹持工具大多是定点夹持检测的，在进行对点检测时需要重新拆卸和安装定位工具，较为不便，且重新安装定位工具的过程中易产生误差，进而影响后续检测结果。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种简易测量超声波用超声波探头定位工具，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
6.一种简易测量超声波用超声波探头定位工具，包括：
7.横臂，横臂的一端设有安装板，横臂上设有第一滑块；
8.第一移动机构，设置在横臂上，用于驱动第一滑块在横臂上移动；
9.竖臂，连接设置在第一滑块上，竖臂上设有第二滑块，所述第二滑块的两侧分别设有连接杆和连接件，所述连接杆和连接件上分别设有位移检测器和探头本体；
10.及第二移动机构，设置在竖臂上，用于驱动第二滑块在竖臂上移动。
11.作为本发明进一步的方案：所述第一移动机构包括第一活动槽、第一电机和第一丝杆，所述第一活动槽设置在横臂上，所述第一电机和第一丝杆均设置在第一活动槽内，所述第一滑块内设有第一螺纹套，所述第一滑块通过第一螺纹套与第一丝杆相连。
12.作为本发明再进一步的方案：所述第二移动机构包括第二活动槽、第二电机和第二丝杆，所述第二机构采用和第一移动机构同样的设置方式设置在竖臂上，所述第二滑块通过其内部设置的第二螺纹套与第二丝杆相连。
13.作为本发明再进一步的方案：所述安装架还包括连接横板、连接竖板、弧形夹持板和夹持直板，所述连接横板的一端与第二滑块侧壁，连接横板的另一端与连接竖板一侧相连，所述连接竖板另一侧固定连接有弧形夹持板，所述弧形夹持板一侧通过弹簧连接有夹持直板，所述夹持直板靠近弧形夹持板的一侧设有夹持件。
14.作为本发明再进一步的方案：所述弧形夹持板和夹持直板通过螺栓螺母实现连接固定。
15.作为本发明再进一步的方案：所述弧形夹持板内围设有防滑软垫。
16.作为本发明再进一步的方案：所述安装板与横臂共同连接设置有加强板。
17.与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过设置横臂与竖臂配合来带动连接件进而带动探头本体移动来实现声波检测功能，在利用探头本体进行声波检测的过程中，通过位移检测器来实时检测探头本体的位移状况，并对探头本体的位移数据进行收集，进而提高多点检测的准确性，探头本体的位置移动通过第一移动机构和第二移动机构配合完成，自动化程度高，且移动精确度高，在进行多点检测时，无需重新拆装探头，十分方便。
附图说明
18.图1为本发明的整体结构示意图。
19.图2为本发明中第一运动机构的结构示意图。
20.图3为本发明中第二移动机构的结构示意图。
21.图4为本发明中第一滑块的结构侧视图。
22.图5为本发明中安装架的正视图。
23.图6为本发明中安装架的俯视图。
24.其中：安装板
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1，横臂
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2，第一滑块
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3，竖臂
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4，连接杆
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5，位移检测器
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6，连接件
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7，探头本体
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8，第二滑块
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9，第一活动槽
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10，第一丝杆
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11，第一电机
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12，第二活动槽
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13，第二电机
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14，第二丝杆
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15，第一螺纹套
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16，第二螺纹套
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17，连接横板
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18，连接竖板
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19，弧形夹持板
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20，螺栓
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21，螺母22，夹持直板
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23，夹持件
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24，弹簧
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25，防滑软垫
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26，加强板
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27。
具体实施方式
25.需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
26.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
27.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
28.下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
29.请参阅图1，一种简易测量超声波用超声波探头定位工具，包括横臂2，所述横臂2
的一端设有安装板1，横臂2上设有第一移动机构和第一滑块3，所述第一移动机构用于驱动第一滑块3在横臂2上移动，所述第一滑块3的底端连接设置有竖臂4，所述竖臂4上设有第二移动机构和第二滑块9，所述第二移动机构用于驱动第二滑块9在竖臂4上移动，所述第二滑块9的左右两侧端分别设有连接杆5和连接件7，所述连接杆5和连接件7上分别设有位移检测器6和探头本体8；
30.请参阅图2，所述第一移动机构包括第一活动槽10、第一电机12和第一丝杆11，所述第一活动槽10设置在横臂2上，所述第一电机12和第一丝杆11均设置在第一活动槽10内，所述第一滑块3内设有第一螺纹套16，所述第一滑块3通过第一螺纹套16与第一丝杆11相连。
31.请参阅图3，所述第二移动机构包括第二活动槽13、第二电机14和第二丝杆15，所述第二机构采用和第一移动机构同样的设置方式设置在竖臂4上，所述第二滑块9通过其内部设置的第二螺纹套17与第二丝杆15相连。
32.在本实施例中，所述第一滑块3的结构如图4所示，所述第二滑块9结构与第一滑块3结构一致，第一滑块3和第二滑块9的中部分别设有第一螺纹套16和第二螺纹套17。
33.请参阅图5、6，所述安装架还包括连接横板18、连接竖板19、弧形夹持板20和夹持直板23，所述连接横板18的一端与第二滑块9侧壁，连接横板18的另一端与连接竖板19一侧相连，所述连接竖板19另一侧固定连接有弧形夹持板20，所述弧形夹持板20一侧通过弹簧25连接有夹持直板23，所述夹持直板23靠近弧形夹持板20的一侧设有夹持件24。
34.在本实施例中，所述弧形夹持板20和夹持直板23通过螺栓21螺母22实现连接固定，所述弧形夹持板20内围设有防滑软垫26，通过此设置可放置在对探头本体8进行夹持时对探头本体8产生损伤。
35.优选的，所述安装板1与横臂2共同连接设置有加强板27，通过此设置来增强安装板1和横臂2的连接稳定性，进而提高整体夹具的工作稳定性。
36.该定位工具在使用时，将探头本体8放置在弧形夹持板20与夹持直板23之间，再通过螺栓21螺母22来进行固定以对探头本体8进行夹持，之后通过安装板1将整体工具安装到合适位置并使探头本体8的探测头朝向下方，之后即可通过第一移动机构和第二移动机构来配合间接带动探头本体8移动以进行多点检测，第一移动机构与第二移动机构的工作原理相同，均是通过电机带动丝杆转动，丝杆再带动其上的滑块移动来实现位置调节功能，再多点检测的过程中，探头本体8的位移数据将会被位移检测器6检测到，通过分析位移变化量和声波检测数据即可得到多点检测的各项数值，以便后续整理分析。
37.上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下做出各种变化。