制备功率芯片待分析样品的方法和功率芯片待分析样品与流程

技术特征：
1.一种制备功率芯片待分析样品的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：(1)提供用于承载功率芯片的载体，所述载体存在至少一个倾斜角度α为30
‑
60
°
的载体平面；(2)将功率芯片固定于所述载体平面上，且所述功率芯片的衬底朝向所述载体平面，得到功率芯片样品；(3)沿水平方向将功率芯片样品进行研磨，得到功率芯片截面；(4)将功率芯片截面进行染色，得到功率芯片待分析样品。2.根据权利要求1所述的方法，其中，步骤(2)中，采用固化剂将功率芯片固定于所述载体平面上；优选地，所述固化剂将功率芯片和载体完全包裹。3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述固化剂选自环氧树脂、有机硅树脂、聚酰亚胺树脂、酚醛树脂、聚酯树脂、聚氨酯树脂和丙烯酸树脂中的至少一种，优选为环氧树脂。4.根据权利要求1
‑
3中任意一项所述的方法，其中，制备所述载体的材料可以选自环氧树脂、有机硅树脂、聚酰亚胺树脂、酚醛树脂、聚酯树脂、聚氨酯树脂和丙烯酸树脂中的至少一种，优选为环氧树脂。5.根据权利要求1
‑
4中任意一项所述的方法，其中，制备所述载体的材料与所述固化剂相同。6.根据权利要求1
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5中任意一项所述的方法，其中，步骤(3)中，所述研磨的条件包括：转速为50
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60转/分钟，时间为1
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2分钟。7.根据权利要求1
‑
6中任意一项所述的方法，其中，所述方法还包括将功率芯片样品进行研磨之后进行抛光的步骤；优选地，所述抛光的条件包括：转速为50
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55转/分钟，时间为1
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2分钟。8.根据权利要求1
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7中任意一项所述的方法，其中，步骤(4)中，采用染色液将所述功率芯片截面进行染色；优选地，所述染色液为氢氟酸和饱和硫酸铜溶液的混合溶液；优选地，所述染色液中，氢氟酸、饱和硫酸铜溶液和水的体积比为1：10
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60：50
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300；更优选为1：30
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50：60
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200；优选地，所述染色液的温度为40
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60℃。9.根据权利要求1
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8中任意一项所述的方法，其中，步骤(4)中，将所述功率芯片截面浸泡于所述染色液中进行染色；优选地，所述浸泡的时间为30
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60秒/次，所述浸泡的次数为1
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3次；10.一种由权利要求1
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9中任意一项所述的方法制备得到的功率芯片待分析样品。

技术总结
本发明涉及半导体芯片制造技术领域，公开了制备功率芯片待分析样品的方法和功率芯片待分析样品。该方法包括如下步骤：(1)提供用于承载功率芯片的载体，所述载体存在至少一个倾斜角度α为30


技术研发人员：单书珊 刘春颖 陈燕宁 董广智 钟明琛 刘波 鹿祥宾 吴峰霞
受保护的技术使用者：北京智芯微电子科技有限公司 国网信息通信产业集团有限公司
技术研发日：2021.06.23
技术公布日：2021/11/4