一种真空chamber干燥机的制作方法

1.本发明涉及lcd/oled/半导体加工技术领域，具体涉及到一种真空 chamber干燥机。


背景技术：

2.随着lcd等液晶显示元件的大型化，在glass上形成涂布膜的涂布液内的溶剂含量也将增加。由此，近来随着真空环境的形成，通过诱导溶剂顺畅地挥发，使涂抹膜的硬化根据vcd(vaccum chamber dry)工艺和加热工艺，从而引导溶剂挥发，即涂抹膜的硬化综合采用高温干燥工艺来进行glass干燥及硬化处理。
3.图4是现有技术在真空干燥工序上使用的glass真空干燥装置的 图形。参照4，根据传统技术的glass真空干燥装置(100)，上部 chamber(102a)及下部chamber(102b)通过紧密连接形成一个密 封的真空chamber(102)，上部chamber(102a)及下部chamber(102b) 相互紧密贴合时，为方便连接，沿着下部chamber(102b)或上部 chamber(102a)周围，安装密封圈(120)；上述真空chamber(102) 密封空间的内外部安装有多个数目的可升降的升降插销(130)以及使 上述多个升降插销(130)升降的升降装置(150)，图4注意为了方便 说明，仅表示有一个升降插销(130)。
4.为安装升降插销(130)，在上述真空chamber(102)中的下部chamber (102b)的底部形成一个升降针孔(110)，并且为了对真空chamber(102) 内的封闭空间形成真空环境，下部chamber(102b)的底部中形成了多个真空排气通道(112)。如上所述，在传统技术中，上chamber(102a)和下chamber (102b)相互远离时，从而使真空chamber(102)的封闭空间开放，且在多个升降插销(130)向上移动以支撑glass(114)的情况下，再下降到下chamber (102b)的底部使glass(114)安放在正位置后，使上chamber(102a)与下chamber(102b)接触，形成封闭空间，以及通过设置密封圈(120)与外界气密隔绝的状态，再通过多个真空排气通道(112)在真空chamber(102) 内形成真空环境。通过密封圈(120)对真空chamber(102)的内部与外部之间进行气密隔绝使真空chamber(102)内部形成真空压时，真空度和洁净度会上升以及形成一定模式的气流。
5.此外，在上述传统技术中，在对glass(114)执行真空干燥处理时，用于实现真空chamber(102)的上部chamber(102a)和下chamber(102b) 的反复接触或交错等原因造成的密封圈(120)的磨损以及由此引起的异物是必然发生的。该异物在对glass(114)进行真空干燥时的真空排气过程中通过真空排气通道(112)向外排放，但某些异物受不规则气流模式的影响，可能会在glass(114)上方的空间飞散，从而对glass真空干燥造成不良影响。
6.图5至图7是分别为传统技术中具备排异构件的glass真空干燥装置的第1至第3实施例的把主要部分放大的图示截面图。参照图5至图7，根据传统技术的glass真空干燥装置(100)在真空chamber(102)的封闭空间中形成真空时设置了引导由密封圈(120)磨损产生的异物排出的异物排出构件(140)。通过设置异物排出构件(140)，当上chamber(102a)与下chamber (102b)的交错或频繁接触导致异物发生时，在对真空chamber(102)的真空排气过
程中，让上述异物在不飞散的情况下流动至下部腔室(102b)底部形成的真空排气通道(112)的入口侧，为了引导其流动，形成人为路径，上述的排放异物构件(140)在密封圈(120)和真空chamber(102)内侧移动位置的下部腔(100b)上面形成上下延伸、中间形成排放孔(142)的隔板，(参见图7)，在下部chamber(102b)上面和上部chamber(102a)下面上留有一定间隔，上下各延长，形成带有排放孔(142)的隔板，或是上部chamber (102a)的边缘向真空chamber(102)内部横向延伸，构成隔板(参见图6)。
7.在上述传统技术中，沿密封圈(120)周围向真空chamber(102)内设置排出异物的排放异物构件(140)。使用此排放异物构件((140)，使得密封圈(120)破损产生的异物在真空chamber(102)的真空排气过程中不飞散到放置在真空chamber(102)内的glass(114)上的空间，通过气流从排放孔(142)引导到真空排气通道(112)的入口侧，减小glass的不良率。
8.然而，上述传统技术的glass真空干燥装置(100)具有以下问题：在现有技术中，根据升降装置(150)，多个升降插销(130)通过下部chamber(102b) 底部形成的升降针孔(110)上升或下降。在这种情况下，升降针孔(110) 必须具备一定的间隙，以使升降插销(130)上升或下降。因此，在底部chamber (102b)底部，即使用多个真空排气通道(112)在真空chamber(102)内的密闭空间形成真空氛围，也会因升降插销(130)和升降针孔(110)之间的间隙产生真空压漏气现象。
9.另外，因升降插销(130)与升降销孔(110)之间的间隙，外来异物可能会通过升降销孔(110)流入真空chamber(102)内，相应地会发生glass (114)的损坏。因此，在不妨碍升降插销(130)的同时，也需要解决因升降插销(130)和升降针孔(110)之间的间隙而产生的上述问题的新方案，因此，存在待改进之处。


技术实现要素：

10.针对现有技术所存在的不足，本发明目的在于提出一种真空chamber干燥机，具体方案如下：
11.一种真空chamber干燥机，所述干燥机包括由上部室体和下部室体贴合形成的密封设置的真空chamber、设于所述上部室体和下部室体之间的密封圈、多个设于所述下部室体上的真空排气通道、用于将所述真空chamber的密封空间形成真空状态的真空抽气装置、多个可升降的升降插销、用于带动所有的所述升降插销同时进行升降运动的升降装置，所述下部室体对应每个所述升降插销设有升降针孔，所述升降插销可相对所述升降针孔往复运动，所述升降装置包括框架以及驱动所述框架上下移动的驱动装置，所有的所述升降插销均安装在所述框架上，每个所述升降针孔对应设置有用于将所述升降插销保持在气密状态的真空压防漏气装置，所述真空压防漏气装置的两端分别与所述下部室体、框架连接。
12.进一步的，所述真空压防漏气装置包括弹性波纹管、上连接部以及下连接部，所述上连接部、下连接部分别固定安装在所述弹性波纹管的上、下端，所述上连接部与所述下部室体以气密状态连接，所述下连接部与所述框架以气密状态连接。
13.进一步的，所述弹性波纹管采用树脂材料或者金属材料制成。
14.进一步的，所述框架与所述下部室体之间设有用于对所述升降运动起到导向作用的导向构件。
15.进一步的，所述导向构件包括导向套筒以及插设于所述导向套筒中的导向柱，所述导向套筒安装于所述框架上，所述导向柱固定安装在所述下部室体的底部。
16.进一步的,所述升降插销沿所述框架的长度、宽度方向上依次间隔设置。
17.与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
18.(1)干燥机用于半导体或者平板显示器等行业，工作时，将玻璃放置在升降插销上进行加工，驱动装置工作，带动框架上移，升降插销穿过升降针孔后将玻璃顶起，且真空抽气装置配合真空排气通道使得真空chamber处于真空状态，实现对玻璃的真空干燥，通过设置真空压防漏气装置，弹性波纹管在升降插销上移时被压缩，且由于上连接部、下连接部的设置，三者配合使得升降插销在进行升降运动时保持气密状态，防止发生真空压漏气现象，另外，还能防止外部的异物从升降插销与升降针孔之间间隙进入真空 chamber中，从而显著减小产品不良率发生的可能性；
19.(2)通过设置导向构件，升降插销进行升降运动时导向柱在导向套筒中往复运动，从而实现导向作用，使得升降作用能够顺畅地进行；
20.(3)通过设置框架，真空干燥作业时多个玻璃可同时进行加工，从而达到一次干燥工程实现多个玻璃的优点，提供工作效率。
附图说明
21.图1为本发明的实施例的整体示意图；
22.图2为本发明展示真空排气通道、升降针孔的位置的结构示意图；
23.图3为本发明展示真空压防漏气装置结构的示意图；
24.图4为背景技术中进行真空干燥工艺所使用的glass真空干燥装置的示意图；
25.图5至图7分别为背景技术中具有异物排出构件的glass真空干燥装置的第1至第3实施例放大后的剖面图。
26.附图标记：200、真空chamber；201、上部室体；202、下部室体；210、升降针孔；220、真空排气通道；230、玻璃；240、密封圈；250、升降插销； 260、真空压防漏气装置；261、弹性波纹管；262、上连接部；263、下连接部；270、导向构件；271、导向套筒；272、导向柱；280、升降装置；281、框架；282、驱动装置。
具体实施方式
27.下面结合实施例及附图对本发明作进一步的详细说明，但本发明的实施方式不仅限于此。
28.结合图1和图2，一种真空chamber干燥机，干燥机整体为大型机器，其主要用于实现对玻璃230进行真空干燥的部分为真空chamber200，由上部室体201和下部室体202贴合形成，上部室体201与下部室体202相当于上模、下模，二者可相对进行往复运动，且对玻璃230进行加工时，真空 chamber200还需密封设置，形成真空状态，满足加工条件。
29.为提高上部室体201和下部室体202之间的密封性，干燥机还包括设于上部室体201和下部室体202之间的密封圈240。为实现真空chamber200形成真空状态的密封空间，干燥机还包括多个设于下部室体202上的真空排气通道220、用于将真空chamber200的密封空间形成真空状态的真空抽气装置，真空抽气装置为现有技术，当其运作时，通过真空排气通
道220将真空 chamber200中的气体抽出，形成负压，直至处于真空状态。
30.为方便工作人员放置待加工的玻璃230，干燥机还包括多个可升降的升降插销250、用于带动所有的升降插销250同时进行升降运动的升降装置280。详述的，下部室体202对应每个升降插销250设有升降针孔210，升降插销 250可相对升降针孔210往复运动。干燥机未开始进行加工时，工作人员将玻璃230放置在升降插销250的顶端，使得多个以上的升降插销250共同将玻璃230支撑，当升降装置280工作时，升降插销250相对升降针孔210上移，从而将放置在升降插销250上的玻璃230顶起，与上部室体201配合工作。
31.由于干燥机中升降插销250的数量很多，若每个升降插销250独立工作，就会需要多个用于驱动其升降的装置，成本较高，且若每个升降插销250的运动过程不同，被支撑的玻璃230容易发生歪斜，造成不良。本实施例中，升降装置280包括框架281以及驱动框架281上下移动的驱动装置282，所有的升降插销250均安装在框架281上，其一端与框架281固定连接，且升降插销250沿框架281的长度、宽度方向上依次间隔设置，相邻两个升降插销250之间间距根据需加工的玻璃230的尺寸进行设置，尺寸很大的玻璃230 可放置在所有的升降插销250上，尺寸较小的玻璃230同时在升降茶销上摆放多个。
32.本实施例中，框架281整体为口字形，内部通过设置多个交错设置的横梁进行加固，驱动装置282需要进行线性运动，可以通过马达、气缸驱动装置282等传动装置来实现。
33.由于多个升降插销250需要同时进行升降运动，为进一步提高升降运功的顺畅程度，框架281与下部室体202之间设有用于对升降运动起到导向作用的导向构件270。导向构件270包括导向套筒271以及插设于导向套筒271 中的导向柱272，导向套筒271安装于框架281上，导向柱272固定安装在下部室体202的底部，升降插销250进行升降运动时导向柱272在导向套筒 271中往复运动，从而实现导向作用。
34.如图3所示，现有技术中，为保证升降插销250顺畅运动，升降针孔210 的孔径会稍大于升降插销250的直径，导致升降针孔210与升降插销250之间存在间隙。每个升降针孔210对应设置有用于将升降插销250保持在气密状态的真空压防漏气装置260，真空压防漏气装置260的两端分别与下部室体202、框架281连接。真空压防漏气装置260包括弹性波纹管261、上连接部262以及下连接部263，弹性波纹管261采用树脂材料或者金属材料制成，比如聚四氟乙烯、不锈钢，当压缩时，弹性波纹管261的总长度缩短。上连接部262、下连接部263可设置为密封型法兰，上连接部262、下连接部263 分别固定安装在弹性波纹管261的上、下端，上连接部262与下部室体202 以气密状态连接，下连接部263与框架281以气密状态连接。为保证气密状态，缝隙中可设置有膨胀型密封圈。
35.通过设置真空压防漏气装置260，弹性波纹管261在升降插销250上移时被压缩，在高度方向升降插销250上升高度为h时，弹性波纹管261的压缩长度也为h，升降插销250下降时同理设置。且由于上连接部262、下连接部263的设置，三者配合使得升降插销250在进行升降运动时保持气密状态，防止发生真空压漏气现象，另外，还能防止外部的异物从升降插销250与升降针孔210之间间隙进入真空chamber200中。
36.以上所述仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。