一种真空chamber干燥机的制作方法

技术特征：
1.一种真空chamber干燥机，所述干燥机包括由上部室体(201)和下部室体(202)贴合形成的密封设置的真空chamber(200)、设于所述上部室体(201)和下部室体(202)之间的密封圈(240)、多个设于所述下部室体(202)上的真空排气通道(220)、用于将所述真空chamber(200)的密封空间形成真空状态的真空抽气装置、多个可升降的升降插销(250)、用于带动所有的所述升降插销(250)同时进行升降运动的升降装置(280)，所述下部室体(202)对应每个所述升降插销(250)设有升降针孔(210)，所述升降插销(250)可相对所述升降针孔(210)往复运动，其特征在于，所述升降装置(280)包括框架(281)以及驱动所述框架(281)上下移动的驱动装置(282)，所有的所述升降插销(250)均安装在所述框架(281)上，每个所述升降针孔(210)对应设置有用于将所述升降插销(250)保持在气密状态的真空压防漏气装置(260)，所述真空压防漏气装置(260)的两端分别与所述下部室体(202)、框架(281)连接。2.根据权利要求1所述的真空chamber干燥机，其特征在于，所述真空压防漏气装置(260)包括弹性波纹管(261)、上连接部(262)以及下连接部(263)，所述上连接部(262)、下连接部(263)分别固定安装在所述弹性波纹管(261)的上、下端，所述上连接部(262)与所述下部室体(202)以气密状态连接，所述下连接部(263)与所述框架(281)以气密状态连接。3.根据权利要求2所述的真空chamber干燥机，其特征在于，所述弹性波纹管(261)采用树脂材料或者金属材料制成。4.根据权利要求1所述的真空chamber干燥机，其特征在于，所述框架(281)与所述下部室体(202)之间设有用于对所述升降运动起到导向作用的导向构件(270)。5.根据权利要求4所述的真空chamber干燥机，其特征在于，所述导向构件(270)包括导向套筒(271)以及插设于所述导向套筒(271)中的导向柱(272)，所述导向套筒(271)安装于所述框架(281)上，所述导向柱(272)固定安装在所述下部室体(202)的底部。6.根据权利要求1所述的真空chamber干燥机，其特征在于,所述升降插销(250)沿所述框架(281)的长度、宽度方向上依次间隔设置。

技术总结
一种真空chamber干燥机，涉及LCD/OLED/半导体加工技术领域，包括干燥机包括由上部室体和下部室体贴合形成的密封设置的真空chamber、密封圈、多个设于下部室体上的真空排气通道、真空抽气装置、多个可升降的升降插销、用于带动所有的升降插销同时进行升降运动的升降装置，下部室体对应每个升降插销设有升降针孔，升降插销可相对升降针孔往复运动，升降装置包括框架以及驱动装置，所有的升降插销均安装在框架上，每个升降针孔对应设置有用于将升降插销保持在气密状态的真空压防漏气装置，真空压防漏气装置的两端分别与下部室体、框架连接，通过设置真空压防漏气装置，防止发生真空漏气现象，同时阻挡外部异物进入真空chamber中，从而减小加工玻璃不良的可能性。从而减小加工玻璃不良的可能性。从而减小加工玻璃不良的可能性。


技术研发人员：万堃鋆
受保护的技术使用者：江苏美客鼎嵘智能装备制造有限公司
技术研发日：2021.03.17
技术公布日：2021/11/4