1.本实用新型属于化学气相沉积技术领域，特别涉及一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置。
背景技术：
2.三甲基硅烷是半导体器件生产中重要的硅源气体，常用于外延化学气相沉积中ge
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c层的生成，是半导体芯片制造中的关键原材料。化学气相沉积(简称cvd)是一种用来产生纯度高、性能好的固态材料的化学技术。半导体产业使用此技术来成长薄膜，典型的cvd工艺是将三甲基硅烷作为气态反应剂，氢气作为载气，氮气作为保护气体，以合理的流速通入反应室，在晶圆(基底)表面发生化学反应产生沉积薄膜。cvd反应过程中通常难以避免地会有反应气体的流失，随之被气流带走的还有一定量的二氧化硅、氮化硅等副产品粉尘及氨气、一氧化二氮等尾气成分，无论是出于安全考虑还是环保要求，都需要对其尾气进行科学处理。当然，实验室cvd尾气也需要进行除尘、吸收等合理的净化处理，然而，目前三甲基硅烷现有的实验室尾气处理设施，除尘效果不太理想，尾气净化也不彻底，亟需寻找一种更加高效的尾气除尘净化装置。
技术实现要素：
3.针对上述情况，本实用新型设计了一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置。
4.为了实现以上目的，本实用新型采用如下技术方案：
5.一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置，包括旋风除尘器、滤筒除尘器、集灰罐、活性炭毡过滤器、光催化反应器、引风机、喷淋吸收塔、储水池、循环泵和排空管，旋风除尘器的进气口连接实验室尾气管，旋风除尘器的出气口连接至滤筒除尘器的进气口，旋风除尘器和滤筒除尘器的出灰口连接至集灰罐的进灰口，滤筒除尘器的出气口连接至活性炭毡过滤器的进气口，活性炭毡过滤器的出气口连接至光催化反应器的进气口，光催化反应器的进气口还连接有氯气进气管，光催化反应器的出气口连接至引风机的进气口，引风机的出气口伸至喷淋吸收塔底部集水槽的液面下方，喷淋吸收塔的出液口连接至储水池的进液口，喷淋吸收塔上部设置有喷淋器，喷淋器的进水端通过循环泵连接至储水池，喷淋吸收塔顶部出气口连接至排空管底部进气口，排空管内部设置有生石灰填料层，排空管顶部设置有防雨帽。
6.进一步地，所述活性炭毡过滤器内设置有多层活性炭毡过滤层，对尾气起到吸附过滤的净化作用。
7.进一步地，所述滤筒除尘器为具有自清洁功能的脉冲反吹式滤筒除尘器，保证滤筒的过滤效果。
8.进一步地，所述储水池上设置有补水管，补水管上设置有补水阀，用于给储水池补给喷淋水。
9.进一步地，所述储水池底部设置有排液管，排液管上设置有排液阀用于定期进行
排液。
10.进一步地，所述循环泵的进水口上设置有过滤网，保护循环泵，同时防止喷淋器堵塞。
11.进一步地，所述储水池顶部还设置有ph计，用于检测储水池内储液的酸碱度。
12.本实用新型还包括能够使其正常使用的其它组件，均为本领域的常规手段，另外，本实用新型中未加限定的装置或组件，如：旋风除尘器、滤筒除尘器、光催化反应器、引风机、喷淋吸收塔、ph计等，均采用本领域的现有技术。
13.本实用新型的有益效果如下：
14.本实用新型提供的用于三甲基硅烷实验室的除尘装置，除尘效果好，尾气净化更彻底，能够有效地对实验室尾气进行无害化排放，避免造成大气污染，保证符合安全环保要求，具有重要的环保价值和社会意义。
附图说明
15.图1为实施例中用于三甲基硅烷实验室的除尘装置的结构示意图。
具体实施方式
16.下面将结合具体的实施例，对本实用新型的技术方案进行清晰完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的部分实施例，而不是全部的实施例。
17.实施例
18.如图1所示，一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置，包括旋风除尘器1、滤筒除尘器2、集灰罐3、活性炭毡过滤器4、光催化反应器5、引风机6、喷淋吸收塔7、储水池8、循环泵9和排空管10，旋风除尘器的进气口连接实验室尾气管，旋风除尘器的出气口连接至滤筒除尘器的进气口，旋风除尘器和滤筒除尘器的出灰口连接至集灰罐的进灰口，滤筒除尘器的出气口连接至活性炭毡过滤器的进气口，活性炭毡过滤器的出气口连接至光催化反应器的进气口，光催化反应器的进气口还连接有氯气进气管，光催化反应器的出气口连接至引风机的进气口，引风机的出气口伸至喷淋吸收塔底部集水槽的液面下方，喷淋吸收塔的出液口连接至储水池的进液口，喷淋吸收塔上部设置有喷淋器11，喷淋器的进水端通过循环泵连接至储水池，喷淋吸收塔顶部出气口连接至排空管底部进气口，排空管内部设置有生石灰填料层12，排空管顶部设置有防雨帽13。
19.所述活性炭毡过滤器内设置有多层活性炭毡过滤层，对尾气起到吸附过滤的净化作用。
20.所述滤筒除尘器为具有自清洁功能的脉冲反吹式滤筒除尘器，保证滤筒的过滤效果。
21.所述储水池上设置有补水管，补水管上设置有补水阀14，用于给储水池补给喷淋水。
22.所述储水池底部设置有排液管，排液管上设置有排液阀15，喷淋吸收塔吸收氢气和氯气在光催化反应器生产的氯化氢气体生成盐酸，同时吸收尾气中的氨气生成氨水，盐酸和氨水反应生产氯化铵，需定期进行排液。
23.所述循环泵的进水口上设置有过滤网16，防止循环泵进杂质，保护循环泵，同时防
止喷淋器堵塞。
24.所述储水池顶部还设置有ph计17，用于检测储水池内储液的酸碱度，为储水池的排液补水提供参考依据。
25.所述旋风除尘器和滤筒除尘器对尾气进行除尘处理，沉降下来的二氧化硅、氮化硅等灰尘收集到集灰罐，定期排放清理。
26.所述生石灰填料层中的氧化钙作对尾气中残留的一氧化二氮起到催化分解的作用，分解生产氮气和氧气，同时干燥吸收尾气水分，至此，实现了实验室尾气完全无害化处理排放。
27.本实用新型的技术方案并不限于上述具体实施例的限制，在不偏离所说明实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何技术变形，均落入本实用新型的保护范围之内。
技术特征：
1.一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置，其特征在于：包括旋风除尘器、滤筒除尘器、集灰罐、活性炭毡过滤器、光催化反应器、引风机、喷淋吸收塔、储水池、循环泵和排空管，旋风除尘器的进气口连接实验室尾气管，旋风除尘器的出气口连接至滤筒除尘器的进气口，旋风除尘器和滤筒除尘器的出灰口连接至集灰罐的进灰口，滤筒除尘器的出气口连接至活性炭毡过滤器的进气口，活性炭毡过滤器的出气口连接至光催化反应器的进气口，光催化反应器的进气口还连接有氯气进气管，光催化反应器的出气口连接至引风机的进气口，引风机的出气口伸至喷淋吸收塔底部集水槽的液面下方，喷淋吸收塔的出液口连接至储水池的进液口，喷淋吸收塔上部设置有喷淋器，喷淋器的进水端通过循环泵连接至储水池，喷淋吸收塔顶部出气口连接至排空管底部进气口，排空管内部设置有生石灰填料层，排空管顶部设置有防雨帽。2.根据权利要求1所述的一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置，其特征在于：所述活性炭毡过滤器内设置有多层活性炭毡过滤层。3.根据权利要求1所述的一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置，其特征在于：所述滤筒除尘器为具有自清洁功能的脉冲反吹式滤筒除尘器。4.根据权利要求1所述的一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置，其特征在于：所述储水池上设置有补水管，补水管上设置有补水阀。5.根据权利要求1所述的一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置，其特征在于：所述储水池底部设置有排液管，排液管上设置有排液阀。6.根据权利要求1所述的一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置，其特征在于：所述循环泵的进水口上设置有过滤网。7.根据权利要求1所述的一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置，其特征在于：所述储水池顶部还设置有ph计。
技术总结
本实用新型属于化学气相沉积技术领域，特别涉及一种用于三甲基硅烷实验室的除尘装置，旋风除尘器进气口连接实验室尾气管，旋风除尘器连接至滤筒除尘器，旋风除尘器和滤筒除尘器出灰口连接至集灰罐进灰口，滤筒除尘器出气口连接至活性炭毡过滤器，活性炭毡过滤器出气口连接至光催化反应器，光催化反应器进气口还连接有氯气进气管，光催化反应器出气口连接至引风机，引风机出气口伸至喷淋吸收塔底部集水槽液面下，喷淋吸收塔出液口连接至储水池，喷淋吸收塔设有喷淋器，喷淋器进水端通过循环泵连接至储水池，喷淋吸收塔出气口连接至排空管，排空管内还设有生石灰填料层。该除尘装置的除尘效果好，尾气净化更彻底，实现无害化排放，避免大气污染。免大气污染。免大气污染。
技术研发人员：史隽涛
受保护的技术使用者：沁阳国顺硅源光电气体有限公司
技术研发日：2021.02.26
技术公布日：2021/11/2
再多了解一些
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