化学品混合装置的制作方法

技术特征：
1.一种化学品混合装置，应用于半导体制程，其特征在于，所述化学品混合装置包括：混合腔室(11)；加热保温箱(12)，安装在所述混合腔室(11)上；化学瓶(13)，设置在所述加热保温箱(12)的内部，所述化学瓶(13)用于盛放化学品；气体输送管(14)，设置在所述加热保温箱(12)的内部，所述气体输送管(14)的一端与所述化学瓶(13)连通，所述气体输送管(14)的另一端与所述混合腔室(11)连通。2.根据权利要求1所述的化学品混合装置，其特征在于，所述加热保温箱(12)安装在所述混合腔室(11)的顶部。3.根据权利要求2所述的化学品混合装置，其特征在于，所述气体输送管(14)呈竖直方向延伸，所述气体输送管(14)的一端连接到所述化学瓶(13)的底部，所述气体输送管(14)的另一端连接到所述混合腔室(11)的顶部。4.根据权利要求1所述的化学品混合装置，其特征在于，所述加热保温箱(12)安装在所述混合腔室(11)的一侧。5.根据权利要求4所述的化学品混合装置，其特征在于，所述气体输送管(14)呈水平方向延伸，所述气体输送管(14)的一端连接到所述化学瓶(13)的一侧，所述气体输送管(14)的另一端连接到所述混合腔室(11)的一侧。6.根据权利要求1所述的化学品混合装置，其特征在于，所述加热保温箱(12)包括：保温箱体，采用保温材料制成；加热丝，布置在所述保温箱体的侧壁上；控制器，与所述加热丝电连接，所述控制器用于控制所述加热丝对所述保温箱体进行加热。7.根据权利要求6所述的化学品混合装置，其特征在于，所述加热保温箱(12)还包括：冷却管，布置在所述保温箱体的侧壁上；冷却泵，安装在所述冷却管上、且与所述控制器电连接，所述控制器用于控制所述冷却泵运作，以使所述冷却管对所述保温箱体进行冷却。8.根据权利要求1所述的化学品混合装置，其特征在于，所述化学品混合装置还包括节流阀(15)和真空泵(16)，所述混合腔室(11)、所述节流阀(15)和所述真空泵(16)依次通过连接管(18)连通。9.根据权利要求8所述的化学品混合装置，其特征在于，所述化学品混合装置还包括涡轮增压器(17)，所述涡轮增压器(17)通过连接管(18)与所述节流阀(15)并联。10.根据权利要求1所述的化学品混合装置，其特征在于，所述化学品混合装置还包括流量控制泵，所述流量控制泵安装在所述气体输送管(14)上，所述流量控制泵用于控制所述化学品进入所述混合腔室(11)的流量。

技术总结
本实用新型提供一种化学品混合装置，涉及半导体制程技术领域。化学品混合装置包括混合腔室、加热保温箱、化学瓶和气体输送管，其中，加热保温箱安装在混合腔室上；化学瓶设置在加热保温箱的内部，化学瓶用于盛放化学品；气体输送管设置在加热保温箱的内部，气体输送管的一端与化学瓶连通，气体输送管的另一端与混合腔室连通。该装置不仅可以隔绝大气环境对化学瓶和气体输送管的温度影响，还能够改善温度控制效果，而且，气体输送管的长度可以大大减短，减少了对化学瓶中化学品可能产生影响的不安定因素，也不会因为气体输送管的材质以及使用年限过久对工艺造成影响。年限过久对工艺造成影响。年限过久对工艺造成影响。


技术研发人员：林钧翔
受保护的技术使用者：泉芯集成电路制造(济南)有限公司
技术研发日：2021.02.26
技术公布日：2021/11/2