一种半导体膜状扩散源原料防凝装置的制作方法

1.本实用新型属于生产成型设备技术领域，具体是一种半导体膜状扩散源原料防凝装置。


背景技术：

2.半导体材料是微电子和光电子器件的主要材料，特别是大规模集成电路芯片上元件的集成度越来越高，元件的尺寸越来越小，半导体薄膜是构成这类器件的基本材料。半导体膜状扩散源在行业内也俗称纸源。
3.但是这种膜状扩散源的生产较为困难，在成膜前，混合物料都是乳状物，配合好的物料在存储过程中容易凝结固化。现有技术中，大部分防凝均采用搅拌的方式，如专利申请号为cn201811588885.6的中国专利申请，公开了一种用于水泥抗裂砂浆防凝结的存储装置结构，但是持续的搅拌，会产生大量的热量，使得浆料的温度升高，影响浆料的特性，使得半导体膜状扩散源成膜困难。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术中混合物料在存储过程中容易凝结固化的缺陷，本实用新型提供一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，从而防止浆料凝结。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，包括机架、偏心轮，在所述机架上设有旋转电机，所述旋转电机输出端连接转轴，偏心轮固定设置在转轴上，在所述偏心轮上部设有两个对称的挡板，在所述两个对称的挡板的相对侧顶部和底部分别设有上支撑杆、下支撑杆，在所述上支撑杆、下支撑杆端部分别设有张力弹簧、限位块，上支撑杆、下支撑杆上位于张力弹簧、限位块，的一段外侧套装有套筒组件，两个对称的挡板上的上支撑杆、下支撑杆之间分别固连有轴承座，两个轴承座转动连接有料桶。
6.作为本实用新型的进一步改进，在所述偏心轮底部设有以转轴为轴心的上凹槽，在机架上部设有以转轴为轴心的下凹槽，相互对应的上凹槽、下凹槽内安装滚珠
7.作为本实用新型的进一步改进，所述上凹槽开口向下，下凹槽开口向上，上凹槽、下凹槽均为为弧形槽且位置相互对应。
8.作为本实用新型的进一步改进，在所述轴承座上设有自动转动轴承，料桶两端分别置于相对应的自动转动轴承上。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述料桶底部通过弹力绳连接偏心轮上部固定设置的固定环。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述固定环固定在偏心轮中心，弹力绳上部连接料桶底部中心。
11.作为本实用新型的进一步改进，在所述套筒组件端部设有限位肩。
12.与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果为：在本实用新型中，旋转电机输出
端连接转轴，转轴带动偏心轮转动，一方面，料桶两端分别置于轴承座上，能够在轴承座内自转，另一方面，偏心轮转动，在离心力的作用下，料桶两端连接的套筒组件在上支撑杆、下支撑杆滑动，挤压或拉伸张力弹簧，形成摆动，通过摆动和自转防止料桶浆料凝结。
附图说明
13.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的说明：
14.图1为本实用新型一种半导体膜状扩散源原料防凝装置的结构示意图；
15.图中：1机架、2偏心轮、3转轴、4旋转电机、5上凹槽、6下凹槽、7滚珠、8挡板、9上支撑杆、10套筒组件、11张力弹簧、12限位块、13下支撑杆、14轴承座、15料桶、16弹力绳、17固定环、18限位肩。
具体实施方式
16.为了本实用新型的技术方案和有益效果更加清楚明白，下面结合具体实施例对本实用新型进行进一步的详细说明。
17.本实用新型公开了一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，参照图1，其，包括机架1、偏心轮2，在所述机架1上设有旋转电机4，所述旋转电机4输出端连接转轴3，偏心轮2固定设置在转轴3上，在所述偏心轮2上部设有两个对称的挡板8，在所述两个对称的挡板8的相对侧顶部和底部分别设有上支撑杆9、下支撑杆13，在所述上支撑杆9、下支撑杆13端部分别设有张力弹簧11、限位块12，上支撑杆9、下支撑杆13上位于张力弹簧11、限位块12，的一段外侧套装有套筒组件10，两个对称的挡板8上的上支撑杆9、下支撑杆13之间分别设有轴承座14，在所述轴承座14上设有自动转动轴承，料桶15两端分别置于相对应的自动转动轴承上。
18.在本实用新型中，旋转电机4输出端连接转轴3，转轴3带动偏心轮2转动，料桶15两端分别置于轴承座14上，在自动转动轴承的作用下，料桶15能够在轴承座14上转动，偏心轮2转动，在离心力的作用下，料桶15两端连接的套筒组件10在上支撑杆9、下支撑杆13滑动，挤压或拉伸张力弹簧11，形成摆动，通过摆动和自转防止料桶15浆料凝结。
19.在所述偏心轮2底部设有以转轴3为轴心的上凹槽5，在机架1上部设有以转轴3为轴心的下凹槽6，所述上凹槽5开口向下，下凹槽6开口向上，上凹槽5、下凹槽6均为为弧形槽且位置相互对应，相互对应的上凹槽5、下凹槽6内安装滚珠7，在机架1上部设有以转轴3为轴心的下凹槽6，滚珠7置于上凹槽5、下凹槽6内，使得偏心轮更加稳定，防止料桶过重使得偏心轮偏移，在不影响偏心轮2转动的情况下，还可以提高偏心轮2的稳定性。
20.所述料桶15底部通过弹力绳16连接偏心轮2上部固定设置的固定环17，所述固定环17固定在偏心轮2中心，弹力绳16上部连接料桶15底部中心。在料桶15旋转时，固定环17拉伸弹性绳16，使弹性绳16在料桶15旋转时增大料桶15与偏心轮2上拉力，使得料桶15快速回位，更加稳定。
21.在所述套筒组件10端部设有限位肩18，限位肩18连接张力弹簧11，防止张力弹簧11串位置，使得装置摇摆更加顺畅。
22.应当理解，此处所描述的具体实施方式仅用于理解本实用新型，并不用于限定本实用新型，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，
都属于本实用新型保护的范围。


技术特征：
1.一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：包括机架(1)、偏心轮(2)，在所述机架(1)上设有旋转电机(4)，所述旋转电机(4)输出端连接转轴(3)，偏心轮(2)固定设置在转轴(3)上，在所述偏心轮(2)上部设有两个对称的挡板(8)，在所述两个对称的挡板(8)的相对侧顶部和底部分别设有上支撑杆(9)、下支撑杆(13)，在所述上支撑杆(9)、下支撑杆(13)端部分别设有张力弹簧(11)、限位块(12)，上支撑杆(9)、下支撑杆(13)上位于张力弹簧(11)、限位块(12)，的一段外侧套装有套筒组件(10)，两个对称的挡板(8)上的上支撑杆(9)、下支撑杆(13)之间分别固连有轴承座(14)，两个轴承座(14)转动连接有料桶(15)。2.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：在所述偏心轮(2)底部设有以转轴(3)为轴心的上凹槽(5)，在机架(1)上部设有以转轴(3)为轴心的下凹槽(6)，相互对应的上凹槽(5)、下凹槽(6)内安装滚珠(7) 。3.根据权利要求2所述的一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：所述上凹槽(5)开口向下，下凹槽(6)开口向上，上凹槽(5)、下凹槽(6)均为为弧形槽且位置相互对应。4.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：在所述轴承座(14)上设有自动转动轴承，料桶(15)两端分别置于相对应的自动转动轴承上。5.根据权利要求1或4所述的一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：所述料桶(15)底部通过弹力绳(16)连接偏心轮(2)上部固定设置的固定环(17)。6.根据权利要求5所述的一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：所述固定环(17)固定在偏心轮(2)中心，弹力绳(16)上部连接料桶(15)底部中心。7.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，其特征在于：在所述套筒组件(10)端部设有限位肩(18)。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体膜状扩散源原料防凝装置，属于生产成型设备技术领域，包括机架、偏心轮，在所述偏心轮上部设有对称的挡板，在所述挡板侧面上下分别设有上支撑杆、下支撑杆，在所述上支撑杆、下支撑杆端部分别设有张力弹簧、限位块，套筒组件套接在上支撑杆、下支撑杆上的张力弹簧、限位块的中间位置，在所述套筒组件侧面设有轴承座，料桶两端分别置于轴承座上。旋转电机输出端连接转轴，转轴带动偏心轮转动，一方面，料桶两端分别置于轴承座上，能够在轴承座内自转，另一方面，偏心轮转动，在离心力的作用下，料桶两端连接的套筒组件在上支撑杆、下支撑杆滑动，挤压或拉伸张力弹簧，形成摆动，通过摆动和自转防止料桶浆料凝结。料凝结。料凝结。


技术研发人员：汪良恩 王锡康 姜兰虎 王桂枝
受保护的技术使用者：山东芯源微电子有限公司
技术研发日：2021.03.02
技术公布日：2021/11/2