1.本实用新型属于尾气处理技术领域，具体地，涉及一种三甲基硅烷生产用尾气处理装置。
背景技术：
2.三甲基硅烷是半导体器件生产中重要的硅源气体，常用于外延化学气相沉积中ge
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c层的生成。同时三甲基硅烷也可在高温条件下分解生成sic，因此也可以用作sic涂层的前驱体材料。三甲基硅烷在电子工业和国防工业中都有极其重要而独特的用途。
3.作为三甲基硅烷的制造法，通常为使用适当的氢化剂(如氢化铝锂、氢化锂等)在溶剂(如芳香族烃系有机溶剂)中将三甲基氯硅烷还原的方法。制造三甲基硅烷所排放的尾气中含有氯化氢和三甲基硅烷，直接排放会污染环境且造成资源浪费，因此，亟需一种三甲基硅烷生产用尾气处理装置以净化尾气，并回收三甲基硅烷，实现节能和环保生产。
技术实现要素：
4.为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种三甲基硅烷生产用尾气处理装置，包括冷凝器、气液旋风分离器、三甲基硅烷储罐、喷淋塔和储液罐，所述冷凝器的一端设有尾气进口，另一端设有尾气出口，所述尾气出口与气液旋风分离器的进气口相连通，所述气液旋风分离器的排气口与喷淋塔的进气口相连通，所述冷凝器的排液口和气液旋风分离器的排液口均与三甲基硅烷储罐相连通，所述喷淋塔顶部设有集气罩、上部设有除雾层，中部设有多层喷淋管、底部设有集液斗，所述集气罩顶部设有抽气管，所述抽气管上设有活性炭过滤器和抽风机，所述集液斗的底部通过出液管与储液罐相连通，所述出液管上设有出液阀，所述储液罐的侧上端设有补液口，底侧部设有排液阀，且储液罐顶部设有抽液泵，所述抽液泵通过喷淋母管与喷淋管相连通，所述三甲基硅烷储罐的底侧部设有出料阀。
5.优选的，所述喷淋管上均布有多个雾化喷头，有助于提高气液混合的均匀性，从而提高氯化氢的脱除效率。
6.优选的，所述喷淋塔的进气口上方设有多孔均流板，所述多孔均流板设于喷淋管的下方，有助于改善喷淋塔内气流分布的均匀性，便于提高氯化氢的脱除效率。
7.优选的，所述除雾层选用屋脊式除雾器，可减少废气中液滴的含量。
8.优选的，通过所述补液口可向储液罐内补充naoh溶液或水，用于对尾气中的氯化氢进行中和或吸收。
9.本实用新型还包括能够使该三甲基硅烷生产用尾气处理装置正常使用的其它装置或组件，均为本领域的常规技术手段；另外，本实用新型中未加限定的装置和组件均采用本领域中的常规技术手段。
10.本实用新型的工作原理是，通过冷凝器对三甲基硅烷生产中产生的尾气进行冷凝，降低烟气温度，并回收尾气中的部分三甲基硅烷，通过气液旋风分离器进一步对尾气中残余的三甲基硅烷液滴进行回收，回收后的三甲基硅烷转存至三甲基硅烷储罐中待用，通
过喷淋塔使naoh溶液或水雾化后对尾气中的氯化氢进行中和或吸收，通过活性炭过滤器进一步对喷淋塔出口废气中残留的三甲基硅烷进行脱除，从而保证尾气的清洁排放，通过抽风机对尾气进行抽排，保证尾气有序流动。
11.本实用新型的有益效果是，本装置能够对三甲基硅烷生产尾气内的三甲基硅烷进行高效回收，且可脱除尾气中的氯化氢，实现三甲基硅烷的节能和环保生产。
附图说明
12.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
13.图1是实施例中本实用新型的整体结构示意图。
具体实施方式
14.下面结合本实用新型实施例中的附图以及具体实施例对本实用新型进行清楚地描述，在此处的描述仅仅用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
15.实施例
16.如图1所示，本实用新型提供了一种三甲基硅烷生产用尾气处理装置，包括冷凝器1、气液旋风分离器2、三甲基硅烷储罐3、喷淋塔4和储液罐5，所述冷凝器1的一端设有尾气进口，另一端设有尾气出口，所述尾气出口与气液旋风分离器2的进气口相连通，所述气液旋风分离器2的排气口与喷淋塔4的进气口相连通，所述冷凝器1的排液口和气液旋风分离器2的排液口均与三甲基硅烷储罐3相连通，所述喷淋塔4顶部设有集气罩4
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1、上部设有除雾层4
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2，中部设有多层喷淋管4
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3、底部设有集液斗4
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4，所述集气罩4
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1顶部设有抽气管4
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5，所述抽气管4
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5上设有活性炭过滤器4
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6和抽风机4
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7，所述集液斗4
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4的底部通过出液管与储液罐5相连通，所述出液管上设有出液阀，所述储液罐5的侧上端设有补液口6，底侧部设有排液阀7，且储液罐5的顶部设有抽液泵8，所述抽液泵8通过喷淋母管9与喷淋管4
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3相连通，所述三甲基硅烷储罐3的底侧部设有出料阀10。
17.所述喷淋管4
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3上均布有多个雾化喷头，有助于提高气液混合的均匀性，从而提高氯化氢的脱除效率。所述喷淋塔4的进气口上方设有多孔均流板11，所述多孔均流板11设于喷淋管4
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3的下方，有助于改善喷淋塔4内气流分布的均匀性，便于提高氯化氢的脱除效率。所述除雾层4
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2选用屋脊式除雾器，可减少废气中液滴的含量。通过所述补液口6可向储液罐5内补充naoh溶液或水，用于对尾气中的氯化氢进行中和或吸收。
18.本实用新型的工作原理是，通过冷凝器1对三甲基硅烷生产中产生的尾气进行冷凝，降低烟气温度，并回收尾气中的部分三甲基硅烷，通过气液旋风分离器2进一步对尾气中残余的三甲基硅烷液滴进行回收，回收后的三甲基硅烷转存至三甲基硅烷储罐3中待用，通过喷淋塔4使naoh溶液或水雾化后对尾气中的氯化氢进行中和或吸收，通过活性炭过滤器4
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6步对喷淋塔4出口废气中残留的三甲基硅烷进行脱除，从而保证尾气的清洁排放，通过抽风机4
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7对尾气进行抽排，保证尾气有序流动。
19.以上已经描述了本实用新型的实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的实施例。在不偏离所说明实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领
域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。
技术特征：
1.一种三甲基硅烷生产用尾气处理装置，其特征在于：包括冷凝器、气液旋风分离器、三甲基硅烷储罐、喷淋塔和储液罐，所述冷凝器的一端设有尾气进口，另一端设有尾气出口，所述尾气出口与气液旋风分离器的进气口相连通，所述气液旋风分离器的排气口与喷淋塔的进气口相连通，所述冷凝器的排液口和气液旋风分离器的排液口均与三甲基硅烷储罐相连通，所述喷淋塔顶部设有集气罩、上部设有除雾层，中部设有多层喷淋管、底部设有集液斗，所述集气罩顶部设有抽气管，所述抽气管上设有活性炭过滤器和抽风机，所述集液斗的底部通过出液管与储液罐相连通，所述出液管上设有出液阀，所述储液罐的侧上端设有补液口，底侧部设有排液阀，且储液罐顶部设有抽液泵，所述抽液泵通过喷淋母管与喷淋管相连通，所述三甲基硅烷储罐的底侧部设有出料阀。2.根据权利要求1所述的三甲基硅烷生产用尾气处理装置，其特征在于：所述喷淋管上均布有多个雾化喷头。3.根据权利要求2所述的三甲基硅烷生产用尾气处理装置，其特征在于：所述喷淋塔的进气口上方设有多孔均流板，所述多孔均流板设于喷淋管的下方。4.根据权利要求1所述的三甲基硅烷生产用尾气处理装置，其特征在于：所述除雾层选用屋脊式除雾器。5.根据权利要求1～4中任一项所述的三甲基硅烷生产用尾气处理装置，其特征在于：通过所述补液口可向储液罐内补充naoh溶液或水。
技术总结
本实用新型涉及尾气处理技术领域的一种三甲基硅烷生产用尾气处理装置，包括冷凝器、气液旋风分离器、三甲基硅烷储罐、喷淋塔和储液罐，冷凝器的尾气出口与气液旋风分离器的进气口相连通，气液旋风分离器的排气口与喷淋塔的进气口相连通，冷凝器的排液口和气液旋风分离器的排液口均与三甲基硅烷储罐相连通，喷淋塔顶部设有集气罩、上部设有除雾层，中部设有多层喷淋管、底部设有集液斗，集气罩顶部设有抽气管，抽气管上设有活性炭过滤器和抽风机，集液斗通过出液管与储液罐相连通，储液罐顶部设有抽液泵，抽液泵通过喷淋母管与喷淋管相连通。本装置能够对三甲基硅烷生产尾气内的三甲基硅烷进行高效回收，且可脱除尾气中的氯化氢。氢。氢。
技术研发人员：史隽涛
受保护的技术使用者：沁阳国顺硅源光电气体有限公司
技术研发日：2021.02.25
技术公布日：2021/11/2
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